一种用于真空电镀槽的加药装置制造方法及图纸

技术编号:31423724 阅读:16 留言:0更新日期:2021-12-15 15:32
本实用新型专利技术属于真空电镀技术领域,公开了一种用于真空电镀槽的加药装置,真空电镀器上设置有主机,真空电镀器左侧设置有气压表,气压表下端的槽体上安装有进水管;真空电镀器通过连接管与溶药槽连接,溶药槽上端通过导管与安全阀连接;安全阀通过导管与脉冲阻尼器连接,脉冲阻尼器通过导管与阀门连接;溶药槽下端通过导管与过滤器连接,过滤器通过导管与计量泵连接。本实用新型专利技术使工件表面镀膜更均匀,大大提高装置镀膜性能,真空电镀装置和加药装置相连接,更有益于装置的联动性,节省材料在转移的消耗,降低生产成本。降低生产成本。降低生产成本。

【技术实现步骤摘要】
一种用于真空电镀槽的加药装置


[0001]本技术属于真空电镀
,主要为一种用于真空电镀槽的加药装置。

技术介绍

[0002]目前,真空离子镀,又称真空镀膜。真空电镀的做法现在是一种比较流行的做法,做出来的产品金属感强,亮度高.而相对其他的镀膜法来说,成本较低,对环境的污染小,现今为各行业广泛采用。真空电镀是一种物理沉积现象。即在真空状态下注入氩气,氩气撞击靶材,靶材分离成分子被导电的货品吸附形成一层均匀光滑的表面层。
[0003]通过上述分析,现有技术存在的问题及缺陷为:水电镀技术、离子镀膜技术。但水电镀与离子电镀其噪音较大、污染物较多,且其成本不低。
[0004]综上所述,现有技术存在的问题是:(1)可调范围小,膜厚不均匀。(2)装置隔离化,使用不便,成本高。
[0005]解决上述技术问题的意义:本技术采用真空镀膜技术将使得工件表面镀膜更均匀,大大提高装置镀膜性能,真空电镀装置和加药装置的相连接,更有益于装置的联动性,节省材料在转移的消耗,降低生产成本。

技术实现思路

[0006]为了解决现有技术存在的问题,本技术提供了一种用于真空电镀槽的加药装置。
[0007]本技术是这样实现的,一种用于真空电镀槽的加药装置,所述用于真空电镀槽的加药装置设置有真空电镀器;
[0008]真空电镀器上设置有主机,真空电镀器左侧设置有气压表,气压表下端的槽体上安装有进水管;
[0009]真空电镀器通过连接管与溶药槽连接,溶药槽上端通过导管与安全阀连接;
[0010]安全阀通过导管与脉冲阻尼器连接,脉冲阻尼器通过导管与阀门连接;
[0011]溶药槽下端通过导管与过滤器连接,过滤器通过导管与计量泵连接。
[0012]进一步,所述真空电镀器下端安装有底座,底座四角处安装有减震垫。
[0013]进一步,所述真空电镀器上侧安装有抽真空管,抽真空管与真空泵连接。
[0014]进一步,所述脉冲阻尼器与阀门之间的导管上安装有压力表。
[0015]进一步,所述真空电镀器设置有槽体,槽体上侧盖接有槽盖,槽盖下端设置有密封垫。
[0016]进一步,所述槽体内部安装有支撑架,支撑架上侧安装有阴极导电杆;
[0017]槽体底侧安装有阳极导电杆,槽体左右两侧设置有振荡器。
[0018]结合上述的所有技术方案,本技术所具备的优点及积极效果为:
[0019]本技术采用真空镀膜技术将使得工件表面镀膜更均匀,大大提高装置镀膜性能,真空电镀装置和加药装置的相连接,更有益于装置的联动性,节省材料在转移的消耗,
生产成本降低。
[0020]本技术中底座四角处安装有减震垫,可以提高整体的稳定性。
[0021]本技术中抽真空管与真空泵连接,便于槽体内部实现真空。
[0022]本技术中脉冲阻尼器,可通过改变脉冲阻尼器的容积下限进一步改变装置内部气压。
[0023]本技术中槽体上侧盖接有槽盖,槽盖下端设置有密封垫,提高整体的密封性。
[0024]本技术中槽体左右两侧设置有振荡器,提高电镀溶液的均匀度。
附图说明
[0025]为了更清楚地说明本申请实施例的技术方案,下面将对本申请实施例中所需要使用的附图做简单的介绍,显而易见地,下面所描述的附图仅仅是本申请的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0026]图1是本技术实施例提供的用于真空电镀槽的加药装置结构示意图。
[0027]图2是本技术实施例提供的真空电镀器结构示意图。
[0028]图3是本技术实施例提供的加药装置结构示意图。
[0029]图4是本技术实施例提供的真空电镀器内部结构示意图。
[0030]图中:1、真空电镀器;2、主机;3、气压表;4、进水管;5、底座;6、抽真空管;7、真空泵;8、连接管;9、溶药槽;10、过滤器;11、计量泵;12、安全阀;13、脉冲阻尼器;14、压力表;15、阀门;16、槽体;17、槽盖;18、支撑架;19、阳极导电杆;20、阴极导电杆;21、振荡器。
具体实施方式
[0031]为了使本技术的目的、技术方案及优点更加清楚明白,以下结合实施例,对本技术进行进一步详细说明。应当理解,此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本技术,并不用于限定本技术。
[0032]针对现有技术存在的问题,本技术提供了用于一种真空电镀槽的加药装置,下面结合附图对本技术作详细的描述。
[0033]如图1

图3所示,本技术实施例提供的用于真空电镀槽的加药装置设置有真空电镀器,真空电镀器1上设置有主机2,真空电镀器1左侧设置有气压表3,气压表3下端的真空电镀器1上安装有进水管4;其中,真空电镀器1下端安装有底座5,底座5四角处安装有减震垫。真空电镀器1上侧安装有抽真空管6,抽真空管6与真空泵7连接。
[0034]真空电镀器1通过连接管8与溶药槽9连接;溶药槽9上端通过导管与安全阀12连接,安全阀12通过导管与脉冲阻尼器13连接,脉冲阻尼器13通过导管与阀门15连接,脉冲阻尼器13与阀门15之间的导管上安装有压力表14。溶药槽9下端通过导管与过滤器10连接,过滤器10通过导管与计量泵11连接。
[0035]如图4所示,本技术实施例提供的真空电镀器1设置有槽体16,槽体16上侧盖接有槽盖17,槽盖17下端设置有密封垫;槽体17内部安装有支撑架18,支撑架18上侧安装有阴极导电杆20;槽体17底侧安装有阳极导电杆19,槽体17左右两侧设置有振荡器21,提高电镀溶液的均匀度。
[0036]本技术的工作原理为:本技术中主机、气压表、进水管和槽体相配适,且主机、气压表、进水管与槽体外表面相连接,其中主机控制真空电镀器1的运转,气压表3检测槽体内部气压,便于使用人员随时监督。真空泵7通过抽真空管6与槽体16相连接。用于真空电镀中的真空加压,使槽体内部更好、更快地形成真空地带。
[0037]本技术中加药装置含括溶药槽、过滤器、计量泵、安全阀、脉冲阻尼器、压力表、阀门。其中计量泵11和安全阀12能更好地检测装置内部气压与控制装置的运行。脉冲阻尼器13可通过改变脉冲阻尼器的容积下限进一步改变装置内部气压。压力表14与阀门15相连接,便于更好地控制加药装置。加药装置一边连接真空电镀器,一边连接至加药点,形成一条完整的流程链,使得装置在材料、使用等方面更加节省、便易。本技术通过在真空条件下,采用低电压、高电流的方式将蒸源通电加热,靶材在通电受热的情况下分散到工件表面,冷却成膜。将真空电镀槽与加药装置分区化,且用连接管链接,以及加药装置连接至加药点,使得效率增加,降低其他因素带来的影响。
[0038]以上所述,仅为本技术的具体实施方式,但本技术的保护范围并不局限于此,本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于真空电镀槽的加药装置,其特征在于,所述用于真空电镀槽的加药装置设置有:真空电镀器;真空电镀器上设置有主机,真空电镀器左侧设置有气压表,气压表下端的槽体上安装有进水管;真空电镀器通过连接管与溶药槽连接,溶药槽上端通过导管与安全阀连接;安全阀通过导管与脉冲阻尼器连接,脉冲阻尼器通过导管与阀门连接;溶药槽下端通过导管与过滤器连接,过滤器通过导管与计量泵连接。2.如权利要求1所述用于真空电镀槽的加药装置,其特征在于,所述真空电镀器下端安装有底座,底座四角处安装有减震垫。3.如权利要求1所述用...

【专利技术属性】
技术研发人员:张忆霖甘美婷
申请(专利权)人:深圳立木表面处理科技有限公司
类型:新型
国别省市:

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