一种耐高温多弧离子真空镀膜机制造技术

本实用新型专利技术公开了一种耐高温多弧离子真空镀膜机，包括底板和底框，所述底板顶部的后侧固定安装有后镀膜舱，所述后镀膜舱的顶部固定连接有驱动电机，所述驱动电机的输出端贯穿至后镀膜舱的内腔并固定连接有连接组件，所述连接组件底部的中心处固定连接有旋转主轴。本实用新型专利技术通过设置悬挂组件、旋转主轴、旋转支轴、连接组件、驱动电机、后镀膜舱、耐热涂层、前镀膜舱、伺服电机、底框、操作面板、连接块、固定块和丝杆配合使用，具有耐高温和使用便捷的优点，解决了现有的真空镀膜机耐高温性能一般，存在一定的使用限制性，且无法灵活调整操作高度，不能满足不同身高的操作人员，降低了真空镀膜机实用性的问题。镀膜机实用性的问题。镀膜机实用性的问题。

【技术实现步骤摘要】
一种耐高温多弧离子真空镀膜机


[0001]本技术涉及真空镀膜机
，具体为一种耐高温多弧离子真空镀膜机。

技术介绍

[0002]真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空电阻加热蒸发，电子枪加热蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积，离子束溅射等很多种，主要思路是分成蒸发和溅射两种，需要镀膜的被称为基片，镀的材料被称为靶材，基片与靶材同在真空腔中，蒸发镀膜一般是加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来，并且沉降在基片表面，通过成膜过程（散点－岛状结构
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迷走结构
‑
层状生长）形成薄膜；对于溅射类镀膜，可以简单理解为利用电子或高能激光轰击靶材，并使表面组分以原子团或离子形式被溅射出来，并且最终沉积在基片表面，经历成膜过程，最终形成薄膜。
[0003]随着科技的进步和社会的发展，逐渐衍生出一种多弧离子真空镀膜机，而现有的真空镀膜机耐高温性能一般，存在一定的使用限制性，且无法灵活调整操作高度，不能满足不同身高的操作人员，降低了真空镀膜机的实用性。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种耐高温多弧离子真空镀膜机，具备耐高温和使用便捷的优点，解决了现有的真空镀膜机耐高温性能一般，存在一定的使用限制性，且无法灵活调整操作高度，不能满足不同身高的操作人员，降低了真空镀膜机实用性的问题。
[0005]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种耐高温多弧离子真空镀膜机，包括底板和底框，所述底板顶部的后侧固定安装有后镀膜舱，所述后镀膜舱的顶部固定连接有驱动电机，所述驱动电机的输出端贯穿至后镀膜舱的内腔并固定连接有连接组件，所述连接组件底部的中心处固定连接有旋转主轴，所述连接组件底部的外圈固定连接有旋转支轴，所述旋转主轴和旋转支轴的表面均固定安装有悬挂组件，所述后镀膜舱的左侧通过铰链活动连接有前镀膜舱，所述前镀膜舱和后镀膜舱的内壁均固定连接有耐热涂层，所述底框内腔的顶部贯穿设置有操作面板，所述操作面板背表面的顶部固定连接有连接块，所述连接块的顶部固定安装有伺服电机，所述伺服电机的输出端固定连接有丝杆，所述底框内腔后侧的顶部固定连接有固定块。
[0006]优选的，所述底板和底框两侧的底部均固定连接有凸块，凸块的顶部贯穿设置有安装螺栓。
[0007]优选的，所述后镀膜舱和前镀膜舱表面的前侧均固定连接有安装块，所述后镀膜舱和前镀膜舱的正表面均镶嵌安装有密封条。
[0008]优选的，所述悬挂组件的数量为若干个，位于旋转支轴上悬挂组件与位于旋转主轴上悬挂组件为交错设置，所述耐热涂层的材质为石英砂涂料。
[0009]优选的，所述操作面板的两侧均固定连接有导向板，所述底框内腔的两侧均竖向
开设有与导向板配合使用的导向槽。
[0010]优选的，所述固定块的表面开设有与丝杆配合使用的螺孔，所述后镀膜舱内腔底部的中心处镶嵌安装有与旋转主轴配合使用的密封轴承座。
[0011]优选的，所述悬挂组件包括固定套和悬挂杆，固定套的外圈与悬挂杆的表面固定连接，固定套的内圈分别与旋转主轴和旋转支轴的表面固定连接。
[0012]与现有技术相比，本技术的有益效果如下：
[0013]1、本技术通过设置悬挂组件、旋转主轴、旋转支轴、连接组件、驱动电机、后镀膜舱、耐热涂层、前镀膜舱、伺服电机、底框、操作面板、连接块、固定块和丝杆配合使用，具有耐高温和使用便捷的优点，解决了现有的真空镀膜机耐高温性能一般，存在一定的使用限制性，且无法灵活调整操作高度，不能满足不同身高的操作人员，降低了真空镀膜机实用性的问题。
[0014]2、本技术通过设置连接组件，能够将旋转主轴和旋转支轴稳定安装，通过设置安装块，能够在安装工具的辅助下，将后镀膜舱和前镀膜舱对接并稳固安装，通过设置密封条，能够对后镀膜舱与前镀膜舱的连接处起到密封保护的作用，防止气体渗入渗出，通过设置导向板和导向槽配合使用，能够使得操作面板稳定上下移动。
附图说明
[0015]图1为本技术结构俯视立体图；
[0016]图2为本技术结构仰视立体图；
[0017]图3为本技术结构俯视示意图；
[0018]图4为本技术操作面板结构立体示意图；
[0019]图5为本技术底框结构左视剖视图。
[0020]图中：1底板、2悬挂组件、3旋转主轴、4旋转支轴、5连接组件、6安装块、7驱动电机、8后镀膜舱、9耐热涂层、10密封条、11前镀膜舱、12伺服电机、13导向板、14导向槽、15底框、16操作面板、17连接块、18固定块、19丝杆。
具体实施方式
[0021]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0022]请参阅图1
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5，一种耐高温多弧离子真空镀膜机，包括底板1和底框15，底板1顶部的后侧固定安装有后镀膜舱8，后镀膜舱8的顶部固定连接有驱动电机7，驱动电机7的输出端贯穿至后镀膜舱8的内腔并固定连接有连接组件5，连接组件5底部的中心处固定连接有旋转主轴3，连接组件5底部的外圈固定连接有旋转支轴4，通过设置连接组件5，能够将旋转主轴3和旋转支轴4稳定安装，旋转主轴3和旋转支轴4的表面均固定安装有悬挂组件2，后镀膜舱8的左侧通过铰链活动连接有前镀膜舱11，前镀膜舱11和后镀膜舱8的内壁均固定连接有耐热涂层9，底框15内腔的顶部贯穿设置有操作面板16，操作面板16背表面的顶部固定连接有连接块17，连接块17的顶部固定安装有伺服电机12，伺服电机12的输出端固定连接有
丝杆19，底框15内腔后侧的顶部固定连接有固定块18；
[0023]底板1和底框15两侧的底部均固定连接有凸块，凸块的顶部贯穿设置有安装螺栓；
[0024]后镀膜舱8和前镀膜舱11表面的前侧均固定连接有安装块6，通过设置安装块6，能够在安装工具的辅助下，将后镀膜舱8和前镀膜舱11对接并稳固安装，后镀膜舱8和前镀膜舱11的正表面均镶嵌安装有密封条10，通过设置密封条10，能够对后镀膜舱8与前镀膜舱11的连接处起到密封保护的作用，防止气体渗入渗出；
[0025]悬挂组件2的数量为若干个，位于旋转支轴4上悬挂组件2与位于旋转主轴3上悬挂组件2为交错设置，耐热涂层9的材质为石英砂涂料；
[0026]操作面板16的两侧均固定连接有导向板13，底框15内腔的两侧均竖向开设有与导向板13配合使用的导向槽14，通过设置导向板13和导向槽14配合使用，能够使得操作面板16稳定上下移动；
[0027]固定块18的表面开设有与丝杆19配合使用的螺孔，后镀膜舱8内腔底部的中心处镶嵌安装有与旋转主轴3本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种耐高温多弧离子真空镀膜机，包括底板（1）和底框（15），其特征在于：所述底板（1）顶部的后侧固定安装有后镀膜舱（8），所述后镀膜舱（8）的顶部固定连接有驱动电机（7），所述驱动电机（7）的输出端贯穿至后镀膜舱（8）的内腔并固定连接有连接组件（5），所述连接组件（5）底部的中心处固定连接有旋转主轴（3），所述连接组件（5）底部的外圈固定连接有旋转支轴（4），所述旋转主轴（3）和旋转支轴（4）的表面均固定安装有悬挂组件（2），所述后镀膜舱（8）的左侧通过铰链活动连接有前镀膜舱（11），所述前镀膜舱（11）和后镀膜舱（8）的内壁均固定连接有耐热涂层（9），所述底框（15）内腔的顶部贯穿设置有操作面板（16），所述操作面板（16）背表面的顶部固定连接有连接块（17），所述连接块（17）的顶部固定安装有伺服电机（12），所述伺服电机（12）的输出端固定连接有丝杆（19），所述底框（15）内腔后侧的顶部固定连接有固定块（18）。2.根据权利要求1所述的一种耐高温多弧离子真空镀膜机，其特征在于：所述底板（1）和底框（15）两侧的底部均固定连接有凸块，凸块的顶部贯穿设置有安装螺栓。3.根据权利要求1所述的一种耐高温...

【专利技术属性】
技术研发人员：马约布，
申请(专利权)人：成都兴南真科科技有限责任公司，
类型：新型
国别省市：