一种多弧离子镀膜设备中模具镀膜用双层公转架制造技术

本实用新型专利技术公开了一种多弧离子镀膜设备中模具镀膜用双层公转架，包括底层公转盘和顶层公转盘，所述底层公转盘顶部固定安装有第二轴套，所述顶层公转盘底部固定安装有第一轴套，所述第一轴套内开设有圆槽，所述第二轴套顶部固定安装有插入圆槽的固定轴，所述固定轴内开设有多个定位孔。本实用新型专利技术中，拆下定位销，使定位销离开限位孔和定位孔，向上移动第一轴套，固定轴在圆槽内滑动，待下一个定位孔运动至限位孔处时，安装定位销使其插入限位孔和定位孔，将第一轴套固定安装，增加了双层公转架的高度，同理，可以减少双层公转架的高度，可以根据需要调节双层公转架的高度，适用于不同高度的镀膜设备，便于装置的使用。便于装置的使用。便于装置的使用。

【技术实现步骤摘要】
一种多弧离子镀膜设备中模具镀膜用双层公转架


[0001]本技术涉及公转架
，尤其涉及一种多弧离子镀膜设备中模具镀膜用双层公转架。

技术介绍

[0002]多弧离子镀是采用电弧放电的方法，在固体的阴极靶材上直接蒸发金属，蒸发物是从阴极弧光辉点放出的阴极物质的离子，从而在基材表面沉积成为薄膜的方法，现有的多弧离子镀膜设备在使用时需要使用公转架。
[0003]现有授权公告号为CN209194039U，专利名称为：一种多弧离子镀膜设备中模具镀膜用双层公转架，包括底层公转盘、顶层公转盘和轴套，底层公转盘和顶层公转盘与轴套固定安装，然而，不同高度的镀膜设备所需要双层公转架高度不同，现有技术中的双层公转架是一体化结构，轴套的长度不可调节，不能根据需要调节双层公转架的高度，不便于装置的使用。

技术实现思路

[0004]为了解决不同高度的镀膜设备所需要双层公转架高度不同，现有技术中的双层公转架是一体化结构，轴套的长度不可调节，不能根据需要调节双层公转架的高度，不便于装置使用的问题，而提出的一种多弧离子镀膜设备中模具镀膜用双层公转架。...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种多弧离子镀膜设备中模具镀膜用双层公转架，包括底层公转盘(1)和顶层公转盘(2)，其特征在于，所述底层公转盘(1)顶部固定安装有第二轴套(4)，所述顶层公转盘(2)底部固定安装有第一轴套(3)，所述第一轴套(3)内开设有圆槽(301)，所述第二轴套(4)顶部固定安装有插入圆槽(301)的固定轴(9)，所述固定轴(9)内开设有多个定位孔(901)，所述第一轴套(3)上开设有限位孔(302)，所述第一轴套(3)内设有穿过限位孔(302)和定位孔(901)的定位销(8)，所述底层公转盘(1)底部固定安装有运动块(5)。2.根据权利要求1所述的一种多弧离子镀膜设备中模具镀膜用双层公转架，其特征在于，所述底层公转盘(1)底部固定安装有多个固定柱(11)，所述底层公转盘(1)底部开设有多个凹台(12)。3.根据权利要求2所述的一种多弧离子镀膜设备中模具镀膜用双层公转架，其特征在于，所述第一轴套(3)上固定安装有多个第一加强筋(6)，多个所述第一加强筋(6)绕第一轴套(3)的...

【专利技术属性】
技术研发人员：李向周，
申请(专利权)人：浙江摩鼎纳米科技有限公司，
类型：新型
国别省市：