一种多弧离子镀膜设备中模具镀膜用双层公转架制造技术

技术编号:31283002 阅读:13 留言:0更新日期:2021-12-08 21:40
本实用新型专利技术公开了一种多弧离子镀膜设备中模具镀膜用双层公转架,包括底层公转盘和顶层公转盘,所述底层公转盘顶部固定安装有第二轴套,所述顶层公转盘底部固定安装有第一轴套,所述第一轴套内开设有圆槽,所述第二轴套顶部固定安装有插入圆槽的固定轴,所述固定轴内开设有多个定位孔。本实用新型专利技术中,拆下定位销,使定位销离开限位孔和定位孔,向上移动第一轴套,固定轴在圆槽内滑动,待下一个定位孔运动至限位孔处时,安装定位销使其插入限位孔和定位孔,将第一轴套固定安装,增加了双层公转架的高度,同理,可以减少双层公转架的高度,可以根据需要调节双层公转架的高度,适用于不同高度的镀膜设备,便于装置的使用。便于装置的使用。便于装置的使用。

【技术实现步骤摘要】
一种多弧离子镀膜设备中模具镀膜用双层公转架


[0001]本技术涉及公转架
,尤其涉及一种多弧离子镀膜设备中模具镀膜用双层公转架。

技术介绍

[0002]多弧离子镀是采用电弧放电的方法,在固体的阴极靶材上直接蒸发金属,蒸发物是从阴极弧光辉点放出的阴极物质的离子,从而在基材表面沉积成为薄膜的方法,现有的多弧离子镀膜设备在使用时需要使用公转架。
[0003]现有授权公告号为CN209194039U,专利名称为:一种多弧离子镀膜设备中模具镀膜用双层公转架,包括底层公转盘、顶层公转盘和轴套,底层公转盘和顶层公转盘与轴套固定安装,然而,不同高度的镀膜设备所需要双层公转架高度不同,现有技术中的双层公转架是一体化结构,轴套的长度不可调节,不能根据需要调节双层公转架的高度,不便于装置的使用。

技术实现思路

[0004]为了解决不同高度的镀膜设备所需要双层公转架高度不同,现有技术中的双层公转架是一体化结构,轴套的长度不可调节,不能根据需要调节双层公转架的高度,不便于装置使用的问题,而提出的一种多弧离子镀膜设备中模具镀膜用双层公转架。
[0005]为了实现上述目的,本技术采用了如下技术方案:
[0006]一种多弧离子镀膜设备中模具镀膜用双层公转架,包括底层公转盘和顶层公转盘,所述底层公转盘顶部固定安装有第二轴套,所述顶层公转盘底部固定安装有第一轴套,所述第一轴套内开设有圆槽,所述第二轴套顶部固定安装有插入圆槽的固定轴,所述固定轴内开设有多个定位孔,所述第一轴套上开设有限位孔,所述第一轴套内设有穿过限位孔和定位孔的定位销,所述底层公转盘底部固定安装有运动块。
[0007]作为上述技术方案的进一步描述:
[0008]所述底层公转盘底部固定安装有多个固定柱,所述底层公转盘底部开设有多个凹台。
[0009]作为上述技术方案的进一步描述:
[0010]所述第一轴套上固定安装有多个第一加强筋,多个所述第一加强筋绕第一轴套的轴线在第一轴套上等角度设置,所述第一加强筋与顶层公转盘固定安装。
[0011]作为上述技术方案的进一步描述:
[0012]所述第二轴套上固定安装有多个第二加强筋,多个所述第二加强筋绕第二轴套的轴线在第二轴套上等角度设置,所述第二加强筋与底层公转盘固定安装。
[0013]作为上述技术方案的进一步描述:
[0014]所述第一轴套内开设有与圆槽连通的安装槽,所述安装槽内转动安装有多个与固定轴外表壁滚动接触的转动球。
[0015]作为上述技术方案的进一步描述:
[0016]多个所述转动球在安装槽内等间距设置。
[0017]作为上述技术方案的进一步描述:
[0018]所述第一加强筋焊接在第一轴套上,所述第二加强筋焊接在第二轴套上。
[0019]综上所述,由于采用了上述技术方案,本技术的有益效果是:
[0020]1、本技术中,拆下定位销,使定位销离开限位孔和定位孔,向上移动第一轴套,固定轴在圆槽内滑动,待下一个定位孔运动至限位孔处时,安装定位销使其插入限位孔和定位孔,将第一轴套固定安装,增加了双层公转架的高度,同理,可以减少双层公转架的高度,可以根据需要调节双层公转架的高度,适用于不同高度的镀膜设备,便于装置的使用。
[0021]2、本技术中,安装槽内转动安装有多个与固定轴外表壁滚动接触的转动球,转动球减少了固定轴与圆槽之间的摩擦力,便于固定轴在圆槽内滑动,提高装置运行的稳定性。
附图说明
[0022]图1示出了根据本技术实施例提供的一种多弧离子镀膜设备中模具镀膜用双层公转架的第一轴测示意图;
[0023]图2示出了根据本技术实施例提供的一种多弧离子镀膜设备中模具镀膜用双层公转架的第二轴测示意图;
[0024]图3示出了根据本技术实施例提供的一种多弧离子镀膜设备中模具镀膜用双层公转架的主视示意图;
[0025]图4示出了根据本技术实施例提供的一种多弧离子镀膜设备中模具镀膜用双层公转架的A处的放大示意图。
[0026]图例说明:
[0027]1、底层公转盘;2、顶层公转盘;3、第一轴套;301、圆槽;302、限位孔;303、安装槽;4、第二轴套;5、运动块;6、第一加强筋;7、第二加强筋;8、定位销;9、固定轴;901、定位孔;10、转动球;11、固定柱;12、凹台。
具体实施方式
[0028]下面将结合本技术实施例中的附图,对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例,本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例,都属于本技术保护的范围。
[0029]请参阅图1

4,本技术提供一种技术方案:一种多弧离子镀膜设备中模具镀膜用双层公转架,包括底层公转盘1和顶层公转盘2,底层公转盘1顶部固定安装有第二轴套4,顶层公转盘2底部固定安装有第一轴套3,第一轴套3内开设有圆槽301,第二轴套4顶部固定安装有插入圆槽301的固定轴9,固定轴9内开设有多个定位孔901,第一轴套3上开设有限位孔302,第一轴套3内设有穿过限位孔302和定位孔901的定位销8,底层公转盘1底部固定安装有运动块5,底层公转盘1底部固定安装有多个固定柱11。
[0030]具体的,如图1

4所示,底层公转盘1底部开设有多个凹台12,第一轴套3上固定安装有多个第一加强筋6,多个第一加强筋6绕第一轴套3的轴线在第一轴套3上等角度设置,第一加强筋6与顶层公转盘2固定安装,第二轴套4上固定安装有多个第二加强筋7,多个第二加强筋7绕第二轴套4的轴线在第二轴套4上等角度设置,第二加强筋7与底层公转盘1固定安装,第一轴套3内开设有与圆槽301连通的安装槽303,安装槽303内转动安装有多个与固定轴9外表壁滚动接触的转动球10,转动球10减少了固定轴9与圆槽301之间的摩擦力,便于固定轴9在圆槽301内滑动,提高装置运行的稳定性,多个转动球10在安装槽303内等间距设置,第一加强筋6焊接在第一轴套3上,第二加强筋7焊接在第二轴套4上,拆下定位销8,使定位销8离开限位孔302和定位孔901,向上移动第一轴套3,固定轴9在圆槽301内滑动,待下一个定位孔901运动至限位孔302处时,安装定位销8使其插入限位孔302和定位孔901,将第一轴套3固定安装,增加了双层公转架的高度,同理,可以减少双层公转架的高度,可以根据需要调节双层公转架的高度,适用于不同高度的镀膜设备,便于装置的使用。
[0031]工作原理:使用时,拆下定位销8,使定位销8离开限位孔302和定位孔901,向上移动第一轴套3,固定轴9在圆槽301内滑动,待下一个定位孔901运动至限位孔302处时,安装定位销8使其插入限位孔302和定位孔901,将第一轴套3固定安装,增加了双层公转架的高度,同理,可以减少双层公本文档来自技高网
...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种多弧离子镀膜设备中模具镀膜用双层公转架,包括底层公转盘(1)和顶层公转盘(2),其特征在于,所述底层公转盘(1)顶部固定安装有第二轴套(4),所述顶层公转盘(2)底部固定安装有第一轴套(3),所述第一轴套(3)内开设有圆槽(301),所述第二轴套(4)顶部固定安装有插入圆槽(301)的固定轴(9),所述固定轴(9)内开设有多个定位孔(901),所述第一轴套(3)上开设有限位孔(302),所述第一轴套(3)内设有穿过限位孔(302)和定位孔(901)的定位销(8),所述底层公转盘(1)底部固定安装有运动块(5)。2.根据权利要求1所述的一种多弧离子镀膜设备中模具镀膜用双层公转架,其特征在于,所述底层公转盘(1)底部固定安装有多个固定柱(11),所述底层公转盘(1)底部开设有多个凹台(12)。3.根据权利要求2所述的一种多弧离子镀膜设备中模具镀膜用双层公转架,其特征在于,所述第一轴套(3)上固定安装有多个第一加强筋(6),多个所述第一加强筋(6)绕第一轴套(3)的...

【专利技术属性】
技术研发人员:李向周
申请(专利权)人:浙江摩鼎纳米科技有限公司
类型:新型
国别省市:

网友询问留言 已有0条评论
  • 还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。

1