一种磁控溅射镀膜机的镀膜夹具制造技术

本实用新型专利技术公开了一种磁控溅射镀膜机的镀膜夹具，包括支架和基片，所述支架一侧转动安装有第一固定杆，所述第一固定杆底部固定连接有第二方杆，所述支架另一侧转动安装有转杆，且第二方杆的自由端与转杆固定连接，所述转杆上固定连接有气缸，所述气缸的输出端固定连接有第二固定杆，所述第二固定杆底部固定连接有套接在第二方杆外侧的第二套杆。本实用新型专利技术中，通过第一电机驱动第一固定杆转动至水平位置，对基片一侧进行镀膜，单面镀膜结束后，再次控制第一电机驱动第一固定杆转动180

【技术实现步骤摘要】
一种磁控溅射镀膜机的镀膜夹具


[0001]本技术涉及镀膜夹具
，尤其涉及一种磁控溅射镀膜机的镀膜夹具。

技术介绍

[0002]磁溅射镀膜机是一种普适镀膜机，用于各种单层膜、多层膜和掺杂膜系，可镀各种硬质膜、金属膜、合金、化合物、半导体、陶瓷膜、介质复合膜和其他化学反应膜，亦可镀铁磁材料，主要用于实验室制备有机光电器件的金属电极及介电层，以及制备用于生长纳米材料的催化剂薄膜层。
[0003]然而，现有部分磁控溅射镀膜机的镀膜夹具存在一些问题，首先，基片单面镀膜完成后需要人工拆卸翻面，人工翻面容易对镀膜完成面造成损伤，不能在单面镀膜完成后自动翻面，其次，夹具不适配于不同尺寸的基板进行适应性调节，实用性较低。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于：为了解决上述
技术介绍
中所提到的技术问题，而提出的一种磁控溅射镀膜机的镀膜夹具。
[0005]为了实现上述目的，本技术采用了如下技术方案：
[0006]一种磁控溅射镀膜机的镀膜夹具，包括支架和基片，所述支架一侧转动安装有第一固定杆，所述第一固定杆底部固定连接有第二方杆，所述支架另一侧转动安装有转杆，且第二方杆的自由端与转杆固定连接，所述转杆上固定连接有气缸，所述气缸的输出端固定连接有第二固定杆，所述第二固定杆底部固定连接有套接在第二方杆外侧的第二套杆，所述第一固定杆和第二固定杆之间设有相对第二套杆运动的夹杆组件，通过第二套杆和夹杆组件夹紧基片，所述支架上固定安装有第一电机，所述第一电机的输出轴与第一固定杆传动连接。
[0007]作为上述技术方案的进一步描述：
[0008]所述第一固定杆和第二固定杆上均安装有传动螺杆和第二电机，且第二电机的输出轴与传动螺杆传动连接，所述夹杆组件安装在两侧传动螺杆之间。
[0009]作为上述技术方案的进一步描述：
[0010]所述夹杆组件包括第一方杆和第一套杆，且第一套杆套设于第一方杆外侧，所述第一方杆和第一套杆分别套接在两侧传动螺杆外侧。
[0011]作为上述技术方案的进一步描述：
[0012]所述支架底部设有传送带，且传送带顶部粘接有海绵。
[0013]作为上述技术方案的进一步描述：
[0014]所述第一套杆底部和第二套杆顶部均粘接有橡胶垫。
[0015]作为上述技术方案的进一步描述：
[0016]所述第二方杆上开设有多个定位孔，所述第二套杆上具有与定位孔连接的定位销。
[0017]综上所述，由于采用了上述技术方案，本技术的有益效果是：
[0018]1、本技术中，通过第一电机驱动第一固定杆转动至水平位置，对基片一侧进行镀膜，单面镀膜结束后，再次控制第一电机驱动第一固定杆转动180
°
，对基片另一侧进行镀膜，完成基片的双面镀膜，无需人工拆卸翻面，且当基片镀膜结束后，基片与传送带平行，驱动夹杆组件远离第二套杆，基片失去限制，在重力作用下，掉落在海绵上，随传送带出料，实现基片的自动出料目的，提高工作效率，节省人工。
[0019]2、本技术中，根据基片的尺寸调节夹具大小，具体的，先控制气缸带动第二固定杆相对第一固定杆运动，并根据基片的长度，调整第一固定杆、第二固定杆之间的距离合适为止，再将定位销插入第二套杆和第二套杆上，提高第二固定杆相对第一固定杆的固定稳定性，然后，通过第一电机驱动第一固定杆转动至竖直位置，再将待镀膜的基片放置在第二套杆上，通过第二电机驱动传动螺杆转动，根据螺纹传动原理，调节第一方杆、第一套杆相对第二套杆运动，并通过第一套杆从基片顶部将基片压紧在第二套杆上，夹紧基片，适应于不同尺寸的基片进行夹持，提高装置实用性。
附图说明
[0020]图1示出了根据本技术实施例提供的一种磁控溅射镀膜机的镀膜夹具的俯视示意图；
[0021]图2示出了根据本技术实施例提供的一种磁控溅射镀膜机的镀膜夹具的剖视示意图；
[0022]图3示出了根据本技术实施例提供的一种磁控溅射镀膜机的镀膜夹具的正视示意图；
[0023]图4示出了根据本技术实施例提供的一种磁控溅射镀膜机的镀膜夹具的A处的放大示意图；
[0024]图5示出了根据本技术实施例提供的一种磁控溅射镀膜机的镀膜夹具的B处的放大示意图。
[0025]图例说明：
[0026]1、支架；2、传动螺杆；31、第一方杆；32、第一套杆；4、第一电机；51、第一固定杆；52、第二固定杆；6、基片；7、气缸；8、转杆；91、第二套杆；92、第二方杆；921、定位孔；93、定位销；10、海绵；11、第二电机；12、橡胶垫；13、传送带。
具体实施方式
[0027]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本技术保护的范围。
[0028]请参阅图1
‑
5，本技术提供一种技术方案：一种磁控溅射镀膜机的镀膜夹具，包括支架1和基片6，支架1一侧转动安装有第一固定杆51，第一固定杆51底部固定连接有第二方杆92，支架1另一侧转动安装有转杆8，且第二方杆92的自由端与转杆8固定连接，转杆8上固定连接有气缸7，气缸7的输出端固定连接有第二固定杆52，第二固定杆52底部固定连
接有套接在第二方杆92外侧的第二套杆91，第二方杆92上开设有多个定位孔921，第二套杆91上具有与定位孔921连接的定位销93，第一固定杆51和第二固定杆52之间设有相对第二套杆91运动的夹杆组件，通过第二套杆91和夹杆组件夹紧基片6，支架1上固定安装有第一电机4，第一电机4的输出轴与第一固定杆51传动连接；
[0029]首先，根据基片6的尺寸调节夹具大小，具体的，先控制气缸7带动第二固定杆52相对第一固定杆51运动，并根据基片6的长度，调整第一固定杆51、第二固定杆52之间的距离合适为止，再将定位销93插入第二套杆91和第二套杆91上，提高第二固定杆52相对第一固定杆51的固定稳定性，然后，通过第一电机4驱动第一固定杆51转动至竖直位置，再将待镀膜的基片6放置在第二套杆91上，再驱动夹杆组件靠近第二套杆91移动，夹紧基片6，接着，通过第一电机4驱动第一固定杆51转动至水平位置，对基片6一侧进行镀膜，单面镀膜结束后，再次控制第一电机4驱动第一固定杆51转动180
°
，对基片6另一侧进行镀膜，完成基片6的双面镀膜，无需人工拆卸翻面，且适应于不同尺寸的基片6进行夹持，提高装置实用性。
[0030]具体的，如图1和图2所示，第一固定杆51和第二固定杆52上均安装有传动螺杆2和第二电机11，且第二电机11的输出轴与传动螺杆2传动连接，夹杆组件安装在两侧传动螺杆2之间，夹杆组件包括第一方杆31和第一套杆32，且第一套杆32本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种磁控溅射镀膜机的镀膜夹具，包括支架(1)和基片(6)，其特征在于，所述支架(1)一侧转动安装有第一固定杆(51)，所述第一固定杆(51)底部固定连接有第二方杆(92)，所述支架(1)另一侧转动安装有转杆(8)，且第二方杆(92)的自由端与转杆(8)固定连接，所述转杆(8)上固定连接有气缸(7)，所述气缸(7)的输出端固定连接有第二固定杆(52)，所述第二固定杆(52)底部固定连接有套接在第二方杆(92)外侧的第二套杆(91)，所述第一固定杆(51)和第二固定杆(52)之间设有相对第二套杆(91)运动的夹杆组件，通过第二套杆(91)和夹杆组件夹紧基片(6)，所述支架(1)上固定安装有第一电机(4)，所述第一电机(4)的输出轴与第一固定杆(51)传动连接。2.根据权利要求1所述的一种磁控溅射镀膜机的镀膜夹具，其特征在于，所述第一固定杆(51)和第二固定杆(52)上均安装有传动螺杆(2)和第二电机(...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈国龙，张碧云，
申请(专利权)人：浙江摩鼎纳米科技有限公司，
类型：新型
国别省市：