一种蒸镀装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供了一种蒸镀装置，蒸镀装置包括加热腔、加热电极和电极连接结构。加热腔包括加热筒和设于所述加热筒底部的加热底壳；加热电极用于为加热腔提供热源；电极连接结构用于将所述加热腔和所述加热底壳连接。本发明专利技术实施例中，加热电极设置于加热腔的加热底壳上，设置于加热底壳上不与加热腔的外围设备存在位置干涉，实现从蒸镀设备的上部开口处安装及取出，有利于加热器的维护以及更换。有利于加热器的维护以及更换。有利于加热器的维护以及更换。

【技术实现步骤摘要】
一种蒸镀装置


[0001]本专利技术涉及蒸镀
，特别涉及一种蒸镀装置。

技术介绍

[0002]蒸镀装置包括加热器和与加热器连接的加热电极，加热器用于加热蒸镀物，加热电极用于为加热器提供热源。
[0003]但是，蒸镀装置在使用过程中，由于加热电极设于加热器侧壁的原因，导致加热器的拆卸非常的不方便，且易损坏加热器。
[0004]因此，如何改善蒸镀设备的上述问题，成为本领域技术人员亟待解决的技术问题。

技术实现思路

[0005](一)专利技术目的
[0006]本专利技术的目的是提供一种蒸镀装置，能够解决蒸镀装置拆卸不便的问题。
[0007](二)技术方案
[0008]为解决上述问题，根据本专利技术的一个方面,本专利技术提供了一种蒸镀装置，蒸镀装置包括加热腔、加热电极和电极连接结构。加热腔，所述加热腔包括加热筒和设于所述加热筒底部的加热底壳；
[0009]加热电极，所述加热电极用于为加热腔提供电源；
[0010]电极连接结构，用于将所述加热腔和所述加热底壳连接。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种蒸镀装置，其特征在于，包括：加热腔(20)，所述加热腔(20)包括加热筒(21)和设于所述加热筒(21)底部的加热底壳(22)；加热电极(160)，所述加热电极(160)用于为加热腔(20)提供电源；电极连接结构(140)，用于将所述加热腔(20)和所述加热底壳(22)连接。2.如权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于，沿垂直于所述加热底壳(22)的方向上，所述加热电极(160)和所述电极连接结构(140)形成的投影位于所述加热底壳(22)的投影内。3.如权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于，所述加热筒(21)与所述加热底壳(22)的连接部位形成为圆弧过渡。4.如权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于，所述加热底壳(22)呈环形；所述加热电极(160)的数量为多个，多个所述加热电极(160)阵列布置于所述加热底壳(22)。5.如权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于，所述电极连接结构(140)与所述加热筒(21)和所述加热底壳(22)的连接部位间距布置。6.如权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于，所述电极连接结构(140)包括：...

【专利技术属性】
技术研发人员：何军舫，王军勇，
申请(专利权)人：博宇天津半导体材料有限公司博宇朝阳半导体科技有限公司，
类型：发明
国别省市：