一种蒸镀装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供了一种蒸镀装置，蒸镀装置包括加热腔、加热电极和电极连接结构。加热腔包括加热筒和设于所述加热筒底部的加热底壳；加热电极用于为加热腔提供热源；电极连接结构用于将所述加热腔和所述加热底壳连接。本发明专利技术实施例中，加热电极设置于加热腔的加热底壳上，设置于加热底壳上不与加热腔的外围设备存在位置干涉，实现从蒸镀设备的上部开口处安装及取出，有利于加热器的维护以及更换。有利于加热器的维护以及更换。有利于加热器的维护以及更换。

【技术实现步骤摘要】
一种蒸镀装置


[0001]本专利技术涉及蒸镀
，特别涉及一种蒸镀装置。

技术介绍

[0002]蒸镀装置包括加热器和与加热器连接的加热电极，加热器用于加热蒸镀物，加热电极用于为加热器提供热源。
[0003]但是，蒸镀装置在使用过程中，由于加热电极设于加热器侧壁的原因，导致加热器的拆卸非常的不方便，且易损坏加热器。
[0004]因此，如何改善蒸镀设备的上述问题，成为本领域技术人员亟待解决的技术问题。

技术实现思路

[0005](一)专利技术目的
[0006]本专利技术的目的是提供一种蒸镀装置，能够解决蒸镀装置拆卸不便的问题。
[0007](二)技术方案
[0008]为解决上述问题，根据本专利技术的一个方面,本专利技术提供了一种蒸镀装置，蒸镀装置包括加热腔、加热电极和电极连接结构。加热腔，所述加热腔包括加热筒和设于所述加热筒底部的加热底壳；
[0009]加热电极，所述加热电极用于为加热腔提供电源；
[0010]电极连接结构，用于将所述加热腔和所述加热底壳连接。
[0011]本专利技术实施例中，加热电极设置于加热腔的加热底壳上，设置于加热底壳上不与加热腔的外围设备存在位置干涉，实现从蒸镀设备的上部开口处安装及取出，有利于加热器的维护以及更换。
[0012]进一步地，沿垂直于所述加热底壳的方向上，所述加热电极和所述电极连接结构形成的投影位于所述加热底壳的投影内。
[0013]进一步地，所述加热筒与所述加热底壳的连接部位形成为圆弧过渡。
[0014]进一步地，所述加热底壳呈环形；
[0015]所述加热电极的数量为多个，多个所述加热电极阵列布置于所述加热底壳。
[0016]进一步地，所述电极连接结构与所述加热筒和所述加热底壳的连接部位间距布置。
[0017]进一步地，所述电极连接结构包括：
[0018]电极连接柱，与所述加热腔连接，所述电极连接柱上形成有调整孔；其中，所述加热电极的一端形成为伸入所述调整孔内；
[0019]调整件，用于与所述调整孔适配连接，所述调整件用于将所述加热电极固定于所述调整孔内。
[0020]进一步地，所述电极连接柱包括柱体，所述柱体上形成有螺纹；
[0021]其中，所述柱体配置为贯穿所述加热底壳伸入加热腔内，并利用至少一个螺纹连
接件与所述柱体螺纹连接，将所述电极连接柱固定于所述加热腔。
[0022]优选地，还包括：
[0023]垫片，设置于所述电极连接结构和所述加热腔之间。
[0024]进一步地，所述垫片的材质为难熔金属。
[0025]优选地，还包括：
[0026]电极绝缘杆套，套设于所述加热电极外周。
[0027](三)有益效果
[0028]本专利技术的上述技术方案具有如下有益的技术效果：
[0029]1、本专利技术提供了一种蒸镀装置，蒸镀装置包括加热腔、加热电极和电极连接结构。加热腔包括加热筒和设于所述加热筒底部的加热底壳；加热电极用于为加热腔提供电源；电极连接结构用于将所述加热腔和所述加热底壳连接。本专利技术实施例中，加热电极设置于加热腔的加热底壳上，设置于加热底壳上不与加热腔的外围设备存在位置干涉，实现从蒸镀设备的上部开口处安装及取出，有利于加热器的维护以及更换。
附图说明
[0030]图1是本专利技术提供的蒸镀装置的剖面图；
[0031]图2是本专利技术提供的蒸镀装置的剖面图，其中，图中示意出加热电极；
[0032]图3是图2的部分放大示意图；
[0033]图4是本专利技术提供的用于显示电极连接结构与垫片相对位置关系的结构示意图；
[0034]图5是本专利技术提供的蒸镀装置的第一反射件的结构图；
[0035]图6是图5的第一反射件的剖视图；
[0036]图7是本专利技术提供的蒸镀装置的部分结构图；
[0037]图8是图7的蒸镀装置的部分结构图；
[0038]图9是本专利技术提供的定位件的结构图；
[0039]图10是本专利技术提供的定位件的剖面图；
[0040]图11是图10的定位件的部分结构放大示意图；
[0041]图12是本专利技术提供的蒸镀装置的结构图；
[0042]图13是本专利技术提供的蒸镀装置的一爆炸图；
[0043]图14是本专利技术提供的蒸镀装置的另一爆炸图；
[0044]图15为图14蒸镀装置的部分放大示意图；
[0045]图16为图15蒸镀装置的剖视图；
[0046]图17是本专利技术提供的固定件的结构图。
[0047]附图标记：
[0048]10、保温筒；20、加热腔；30、固定部；40、保温部；50、支撑座；60、水冷套；70、支撑座固定件；80、电极
‑
热电偶连接底座；90、电极绝缘杆套；100、定位件；110、连接部；120、弹性部；130、紧固部；140、电极连接结构；150、垫片；160、加热电极；170、电源连接器；21、加热筒；22、加热底壳；141、电极连接柱；142、调整件；1411、调整孔；1412、柱体；11、内筒；12、外筒；31、固定件；32、支撑环；41、底壳；42、周壁；51、第一连接件；52、第一反射件；53、第二连接件；54、第二反射件；61、连接底环；62、管路；63、连接法兰；64、护罩；65、外接电极；66、真
空热电偶接头；67、热电偶；71、导板；72、紧固件；131、第一限位件；132、第二限位件；311、弧形部；312、卡接部；521、绝缘层；522、间隔件；523、反射层；3111、卡接孔。
具体实施方式
[0049]为使本专利技术的目的、技术方案和优点更加清楚明了，下面结合具体实施方式并参照附图，对本专利技术进一步详细说明。应该理解，这些描述只是示例性的，而并非要限制本专利技术的范围。此外，在以下说明中，省略了对公知结构和技术的描述，以避免不必要地混淆本专利技术的概念。
[0050]针对上述技术问题，本专利技术提出了如下技术方案。
[0051]下面结合附图和实施例对本专利技术进行详细说明。
[0052]在一实施例中，如图1
‑
17所示，本专利技术提供了一种蒸镀装置，蒸镀装置包括加热腔20、加热电极160和电极连接结构140。加热腔20包括加热筒21和设于加热筒21底部的加热底壳4122，加热电极160用于为加热腔20提供电源，电极连接结构140用于将加热腔20和加热底壳4122连接。
[0053]相关技术中，电极分布在加热器侧壁上，因为电极设置于加热器的侧壁上，导致加热器与其外围设备存在位置干涉，在安装加热器时，需要从蒸镀装置的下部进行安装，且后期设备的维护和更换难度大。
[0054]一些实施例中，加热底壳4122形成为沿加热筒21向加热腔20轴心延伸。沿垂直于加热底壳4122的方向上，加热电极160和电极连接结构140形成的投影位于加热底壳4122的投影内。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种蒸镀装置，其特征在于，包括：加热腔(20)，所述加热腔(20)包括加热筒(21)和设于所述加热筒(21)底部的加热底壳(22)；加热电极(160)，所述加热电极(160)用于为加热腔(20)提供电源；电极连接结构(140)，用于将所述加热腔(20)和所述加热底壳(22)连接。2.如权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于，沿垂直于所述加热底壳(22)的方向上，所述加热电极(160)和所述电极连接结构(140)形成的投影位于所述加热底壳(22)的投影内。3.如权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于，所述加热筒(21)与所述加热底壳(22)的连接部位形成为圆弧过渡。4.如权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于，所述加热底壳(22)呈环形；所述加热电极(160)的数量为多个，多个所述加热电极(160)阵列布置于所述加热底壳(22)。5.如权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于，所述电极连接结构(140)与所述加热筒(21)和所述加热底壳(22)的连接部位间距布置。6.如权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于，所述电极连接结构(140)包括：...

【专利技术属性】
技术研发人员：何军舫，王军勇，
申请(专利权)人：博宇天津半导体材料有限公司博宇朝阳半导体科技有限公司，
类型：发明
国别省市：