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本发明提供了一种蒸镀装置，蒸镀装置包括加热腔、加热电极和电极连接结构。加热腔包括加热筒和设于所述加热筒底部的加热底壳；加热电极用于为加热腔提供热源；电极连接结构用于将所述加热腔和所述加热底壳连接。本发明实施例中，加热电极设置于加热腔的加热底...该专利属于博宇（天津）半导体材料有限公司博宇（朝阳）半导体科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过博宇（天津）半导体材料有限公司博宇（朝阳）半导体科技有限公司授权不得商用。