基于微电子机械技术的灭弧电接触器件制造技术

本发明专利技术公开了一种基于微电子机械技术的灭弧电接触器件，属于微电子机械技术领域。本发明专利技术包括：上、下两个部分，上下两部分结构通过集成制造的通孔连接柱结合成为一体，构成电接触器件本体。上部结构包括支撑体和上电极及其触点；下部结构包括一衬底结构，在衬底上设有与上电极相对应的下电极和辅助触点，下电极用做主触点，所有辅助触点与主触点并联，辅助触点由悬臂梁结构来实现，每个辅助触点串联一个限流电阻，选择阻值和并联电阻数目以防止辅助触点起弧。通过让辅助触点承担分断或闭合时的能量，使主触点在最小起弧电压下工作，避免主触点起弧，实现电路的无弧通断。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种微电子机械系统
的器件，特别涉及一种基于微电子 机械技术的灭弧电接触器件。技术背景随着科学技术的进步，接触器、断路器、接触器-断路器等电接触元件微型 化趋势越来越明显，这一趋势一方面遇到传统机械加工技术极限瓶颈，另一方面 给灭弧技术带来前所未有的挑战。研制可靠的微型电接触元件成为产业界的一大 课题。近十几年来，以大规模集成电路制造技术和微机械加工技术独有的特殊工 艺为基础，实现微型机械结构、微型执行器、微电子器件和电路系统的多功能集 成，形成所谓的微电子机械系统(简称MEMS)，或微系统。MEMS器件具有体积小 、重量轻、可靠性高，可在无尘室大批量、低成本生产，使性价比相对于传统机 械制造技术大幅度地提高。由于具有上述诸多优点，MEMS技术成为解决小尺 寸和灭弧两大矛盾的最佳方法之一 。经对现有技术的文献检索发现，美国专利(US7053739-B2)公开了一种基于 微加工技术的灭弧接触器设计。该设计采用体硅微加工技术分别制备上下两个分 立电极结构，然后通过键合把上下两个结构连接起来，通过硅掺杂形成的并联电 阻来转移电弧能量，避免起弧。其封闭的上电极结构不本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种基于微电子机械技术的灭弧电接触器件，由上、下两个联体部分构成电接触器件本体，其特征在于：所述上部结构包括支撑体（２）和上电极（１）及其触点（３），上电极（１）与支撑体（２）相连，下部结构包括一衬底结构（１０），衬底（１０）上设有与上电极（１）对应的下电极（９）和辅助触点（５），下电极（９）上设主触点（８），辅助触点（５）由悬臂梁（６）来实现，每个辅助触点（５）串联一个电阻，所有辅助触点（５）与主触点（８）并联。

【技术特征摘要】
1、一种基于微电子机械技术的灭弧电接触器件，由上、下两个联体部分构成电接触器件本体，其特征在于所述上部结构包括支撑体(2)和上电极(1)及其触点(3)，上电极(1)与支撑体(2)相连，下部结构包括一衬底结构(10)，衬底(10)上设有与上电极(1)对应的下电极(9)和辅助触点(5)，下电极(9)上设主触点(8)，辅助触点(5)由悬臂梁(6)来实现，每个辅助触点(5)串联一个电阻，所有辅助触点(5)与主触点(8)并联。2、 根据权利要求1所述的基于微电子机械技术的灭弧电接触器件，其特征 是所述上下两部分结构通过通孔连接柱(4)结合成为一体。3、 根据权利要求1所述的基于微电子机械技术的灭弧电接触器件，其特征 是所述上电极(l)通过与之相连的弹簧支撑体(2)来实现移动，下电极(9)固定 在衬底(10)上。4、 根据权利要求...

【专利技术属性】
技术研发人员：丁桂甫，周建胜，杨卓青，刘瑞，
申请(专利权)人：上海交通大学，
类型：发明
国别省市：31[中国|上海]