晶圆探针测试台及其升降机构制造技术

本实用新型专利技术实施例公开了一种晶圆探针测试台及其升降机构，升降机构包括：底座；两个立柱，间隔装设在底座的顶部；工作面板，置于两个立柱的上方；两个传动组件；两个同步轮；动力轮，与同步轮间隔设置；同步带，套设于动力轮和同步轮；及驱动组件，包括转动轴、手柄和摇杆，转动轴的一端穿过底座插接在动力轮的内圈中，另一端与手柄固定连接，摇杆固定连接在转动轴的中部；手柄被转动，带动转动轴转动，以带动动力轮和同步轮转动，同步轮通过传动组件驱动工作面板以第一速度升降；摇杆被转动，带动转动轴转动，以带动动力轮和同步轮转动，同步轮通过传动组件驱动工作面板以第二速度升降；第一速度小于第二速度。速度小于第二速度。速度小于第二速度。

【技术实现步骤摘要】
晶圆探针测试台及其升降机构


[0001]本技术涉及半导体测试设备领域，尤其涉及一种晶圆探针测试台及其升降机构。

技术介绍

[0002]晶圆探针测试台是半导体工艺线上的中间测试设备，与测试仪连接后，能自动完成对集成电路及各种晶体管芯电参数和功能的测试。随着对高性能、多功能、高速度、低功耗、小型化、低价格的电子产品的需求日益增长，这就要求在一个芯片中集成更多的功能并进一步缩小尺寸，从而高精度和高效率测试将是今后晶圆探针测试台发展的主要方向。
[0003]目前现有传统的手动探针测试台，调试效率低、调节功能与精度差，不能满足现需求。

技术实现思路

[0004]针对上述技术问题，本技术实施例提供了一种晶圆探针测试台及其升降机构。
[0005]本技术实施例的第一方面提供一种晶圆探针测试台的升降机构，所述升降机构包括：
[0006]底座；
[0007]两个立柱，间隔装设在所述底座的顶部；
[0008]工作面板，置于两个所述立柱的上方；
[0009]两个传动组件，与两个所述立柱对应，所述传动组件装设在对应的立柱内，并与所述工作面板底部的对应位置相连接；
[0010]两个同步轮，与两个传动组件对应，且设于对应的传动组件的下方，所述同步轮与对应的传动组件远离所述工作面板的一端连接；
[0011]动力轮，设于所述底座的底部，所述动力轮与所述同步轮间隔设置；
[0012]同步带，套设于所述动力轮和所述同步轮；及
[0013]驱动组件，固定在所述底座的顶部，所述驱动组件包括转动轴、手柄和摇杆，所述转动轴的一端穿过所述底座插接在所述动力轮的内圈中，另一端与所述手柄固定连接，所述摇杆固定连接在所述转动轴的中部；
[0014]其中，所述手柄被转动，带动所述转动轴转动，以带动所述动力轮和所述同步轮转动，所述同步轮通过所述传动组件驱动所述工作面板以第一速度升降；
[0015]所述摇杆被转动，带动所述转动轴转动，以带动所述动力轮和所述同步轮转动，所述同步轮通过所述传动组件驱动所述工作面板以第二速度升降；
[0016]所述第一速度小于所述第二速度。
[0017]可选地，所述驱动部件还包括固定件、上轴承、下轴承和轴承套；
[0018]其中，所述固定件位于所述手柄和所述底座之间，并固定在所述底座上，所述固定
件包括第一通孔和与所述第一通孔对准的第二通孔，所述第一通孔设于所述第二通孔的下方，所述转动轴插接在所述第一通孔和所述第二通孔中，并通过所述下轴承与所述第一通孔的侧壁连接；
[0019]所述轴承套位于所述手柄的下方，并套设于所述转动轴，并至少部分收容在所述第二通孔内，所述轴承套通过所述上轴承与所述第二通孔的内侧壁连接，所述摇杆固定在所述轴承套上。
[0020]可选地，所述驱动组件设于其中一个立柱的一侧，所述动力轮与所述驱动组件同轴设置。
[0021]可选地，还包括：
[0022]张紧轮，固定在所述底座的底部，所述张紧轮的外圈抵接在所述同步带上位于所述动力轮和同侧同步轮之间的部分的外侧；和
[0023]两个惰轮，固定在所述底座的底部，其中一个惰轮的外圈抵接在所述同步带上位于所述动力轮和对侧同步轮之间的部分的外侧，另一个惰轮的外圈抵接在所述同步带上位于两个同步轮之间的部分的外侧。
[0024]可选地，还包括：
[0025]两个从动立板，与两个所述立柱对应，并设于对应立柱的内侧，所述传动组件设于对应侧的立柱和从动立板之间，所述从动立板的一端与所述工作面板的对应位置连接，另一端与所述传动组件连接；
[0026]所述同步轮转动，通过所述传动组件带动所述从动立板上下移动，以带动所述工作面板升降。
[0027]可选地，所述传动组件包括丝杆、螺母、导轨组件和滑轨组件；
[0028]所述丝杆固定连接在所述底座的对应位置，且所述丝杆的底端穿设所述底座插接在所述动力轮的内圈中，所述螺母套设在所述丝杆的中部；
[0029]所述滑轨连接件固定在所述从动立板朝向对应侧的立柱的一侧，并与所述螺母的外侧壁固定连接，且所述滑轨连接件滑动连接在所述导轨组件上；
[0030]所述同步轮转动，带动所述丝杆转动，从而带动所述螺母在所述丝杆上下移动，所述导轨组件跟随所述螺母沿着所述导轨组件同步上下移动，从而带动所述工作面板上下移动。
[0031]可选地，所述传动组件还包括气缸和软连接件，其中，所述气缸包括缸筒和活塞杆，所述滑动组件的一端与所述缸筒固定连接，所述缸筒包括腔体，所述活塞杆活动连接在所述腔体内，并且所述活塞杆露出所述腔体的一端与所述软连接件的一端连接，所述软连接件的另一端与所述工作面板的对应位置连接；
[0032]所述工作面板上下移动，带动所述活塞在所述腔体内上下移动。
[0033]可选地，所述传动组件还包括固定结构和支持结构，所述固定结构固定在所述固定座上，所述丝杆转动插接在所述固定结构中，所述支持结构固定在对应侧的立柱上，所述丝杆远离所述动力轮的一端转动插接在所述支持结构上。
[0034]可选地，所述传动组件还包括螺母连接块和滑轨连接件，所述螺母连接块与所述螺母的外侧壁固定连接，所述滑轨连接件的底部与所述螺母连接块远离所述螺母的一侧固定连接，所述滑轨连接件的顶部与所述缸筒底部的外侧壁固定连接，所述滑轨连接件的侧
壁与所述滑轨组件远离所述导轨组件的一侧固定连接。
[0035]本技术实施例的第二方面提供一种晶圆探针测试台，所述晶圆探针测试台包括：
[0036]第一方面任一项所述的晶圆探针测试台的升降机构；以及
[0037]探针测试组件，安装在所述升降机构的工作面板的上方。
[0038]本技术实施例提供的技术方案中，驱动组件包括手柄和摇杆，从而可以通过分别操作手柄和摇杆，实现不同速度的升降，实现双速行程的功能，精度高，解决了目前传统探针测试台调试效率低、调节功能与精度差问题，满足使用要求。
附图说明
[0039]图1为本技术一实施例中的晶圆探针测试台的升降机构的立体图；
[0040]图2为本技术一实施例中的晶圆探针测试台的升降机构的结构示意图；
[0041]图3为本技术一实施例中的晶圆探针测试台的升降机构在另一方向上的结构示意图；
[0042]图4为本技术一实施例中的晶圆探针测试台的升降机构在另一方向上的结构示意图；
[0043]图5为图4所示的晶圆探针测试台的升降机构在A
‑
A轴线上的剖面示意图；
[0044]图6为图5所示的晶圆探针测试台的升降机构的局部放大示意图；
[0045]图7为图4所示的晶圆探针测试台的升降机构在B
‑
B轴线上的剖面示意图。
[0046]附图标记：
[0047]1、底座；2、立柱；3、工作面板；4、传动组件；41、丝杆；42、螺母；43、本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶圆探针测试台的升降机构，其特征在于，所述升降机构包括：底座(1)；两个立柱(2)，间隔装设在所述底座(1)的顶部；工作面板(3)，置于两个所述立柱(2)的上方；两个传动组件(4)，与两个所述立柱(2)对应，所述传动组件(4)装设在对应的立柱(2)内，并与所述工作面板(3)底部的对应位置相连接；两个同步轮(5)，与两个传动组件(4)对应，且设于对应的传动组件(4)的下方，所述同步轮(5)与对应的传动组件(4)远离所述工作面板(3)的一端连接；动力轮(6)，设于所述底座(1)的底部，所述动力轮(6)与所述同步轮(5)间隔设置；同步带(7)，套设于所述动力轮(6)和所述同步轮(5)；及驱动组件(8)，固定在所述底座(1)的顶部，所述驱动组件(8)包括转动轴(81)、手柄(82)和摇杆(83)，所述转动轴(81)的一端穿过所述底座(1)插接在所述动力轮(6)的内圈中，另一端与所述手柄(82)固定连接，所述摇杆(83)固定连接在所述转动轴(81)的中部；其中，所述手柄(82)被转动，带动所述转动轴(81)转动，以带动所述动力轮(6)和所述同步轮(5)转动，所述同步轮(5)通过所述传动组件(4)驱动所述工作面板(3)以第一速度升降；所述摇杆(83)被转动，带动所述转动轴(81)转动，以带动所述动力轮(6)和所述同步轮(5)转动，所述同步轮(5)通过所述传动组件(4)驱动所述工作面板(3)以第二速度升降；所述第一速度小于所述第二速度。2.根据权利要求1所述的晶圆探针测试台的升降机构，其特征在于，所述驱动组件(8)还包括固定件(84)、上轴承(85)、下轴承(86)和轴承套(87)；其中，所述固定件(84)位于所述手柄(82)和所述底座(1)之间，并固定在所述底座(1)上，所述固定件(84)包括第一通孔和与所述第一通孔对准的第二通孔，所述第一通孔设于所述第二通孔的下方，所述转动轴插接在所述第一通孔和所述第二通孔中，并通过所述下轴承(86)与所述第一通孔的侧壁连接；所述轴承套(87)位于所述手柄(82)的下方，并套设于所述转动轴(81)，并至少部分收容在所述第二通孔内，所述轴承套(87)通过所述上轴承(85)与所述第二通孔的内侧壁连接，所述摇杆(83)固定在所述轴承套(87)上。3.根据权利要求1或2所述的晶圆探针测试台的升降机构，其特征在于，所述驱动组件(8)设于其中一个立柱(2)的一侧，所述动力轮(6)与所述驱动组件(8)同轴设置。4.根据权利要求3所述的晶圆探针测试台的升降机构，其特征在于，还包括：张紧轮(9)，固定在所述底座(1)的底部，所述张紧轮(9)的外圈抵接在所述同步带(7)上位于所述动力轮(6)和同侧同步轮(5)之间的部分的外侧；和两个惰轮(10)，固定在所述底座(1)的底部，其中一个惰轮(10)的外圈抵接在所述同步带(7)上位于所述动力轮(6)和对侧同步轮(5)之间的部分的外侧，另一个惰轮(10)的外圈抵接在所述同步带(7)上位于两个同步轮(5)之间的部分的外侧。5.根据权...

【专利技术属性】
技术研发人员：瞿高峰，邹海方，刘世文，
申请(专利权)人：深圳市森美协尔科技有限公司，
类型：新型
国别省市：