【技术实现步骤摘要】
本申请涉及晶圆检测的，尤其涉及一种机械手组件及探针台。
技术介绍
1、在半导体制造和测试中，超薄晶圆是一种常见的材料，其厚度通常只有几十微米。然而，由于超薄晶圆的脆弱性和易碎性，传统的机械手在抓取和运输超薄晶圆的过程中很容易对其造成损伤，且传统的机械手难以精确地抓取和放置超薄晶圆。
2、因此，在探针台中选择使用伯努利手臂来传输超薄晶圆。然而，常规伯努利手臂中的吸盘流出的气流是向四面发散的，其需要靠着较大的气流量才能实现对晶圆的良好吸附效果，导致伯努利手臂的气流量消耗大，且对晶圆的吸附力度较低。
技术实现思路
1、鉴于此，本申请提供一种机械手组件及探针台，使得所述机械手组件具有高效的气体利用效率，并有效地吸附超薄晶圆。
2、第一方面，本申请提供一种机械手组件，所述机械手组件包括：
3、手臂本体，所述手臂本体用于运输晶圆，所述手臂本体具有气路及第一收容槽，所述气路设置于所述手臂本体内部，所述第一收容槽连通于所述气路，且所述第一收容槽显露设置于所述手臂本体；及
4、旋风吸盘，所述旋风吸盘具有导气通道，所述导气通道收容于所述旋风吸盘内部，并连通至所述气路，所述旋风吸盘还包括底板及盖体，所述底板嵌设于所述第一收容槽内以固定至所述手臂本体，且所述底板凸出于所述第一收容槽设置，所述底板在背离所述手臂本体的一侧具有第二收容槽，所述盖体收容于所述第二收容槽内，所述盖体具有周侧面，所述底板具有形成所述第二收容槽的内周面，所述周侧面与所述内周面间隔设置并围
5、其中，所述盖体在邻近所述涡流通道的一侧还具有第二导流面及第二气孔，所述第二导流面沿背离所述内周面的方向凹陷于所述周侧面，且所述第二导流面与所述第一导流面设置于所述盖体相背的两侧，所述第二气孔显露设置于所述第二导流面，所述第二气孔连通于所述气路，并能够出射气体至所述涡流通道。
6、其中，所述第一导流面包括弯折相连的第一子面及第二子面，沿所述第一子面与所述第二子面的排布方向，所述第一子面的长度大于所述第二子面的长度，且所述第一气孔显露设置于所述第二子面；
7、所述第二导流面包括弯折相连的第三子面及第四子面，所述第三子面平行设置所述第一子面，所述第四子面平行设置于所述第二子面，沿所述第三子面与所述第四子面的排布方向，所述第三子面的长度大于所述第四子面的长度，且所述第二气孔显露设置于所述第四子面。
8、其中，所述手臂本体具有第一气槽及第一通孔，所述第一气槽的一端连通于所述气路，所述第一气槽的另一端连通于所述第一通孔，所述第一通孔设置于所述手臂本体邻近所述旋风吸盘的一侧；
9、所述底板具有第二通孔，所述盖体在邻近所述底板的一侧具有第二气槽，所述第二气槽通过所述第二通孔连通至所述第一通孔，且所述第二气槽包括第一子槽、第二子槽及第三子槽，所述第二子槽及所述第三子槽对称设置于所述第一子槽相背的两端；
10、所述盖体还具有第三气槽及第四气槽，所述第三气槽与所述第四气槽关于所述第一子槽对称设置，且所述第三气槽、所述第四气槽及所述第二气槽共同形成所述导气通道，所述第三气槽的一端连通至所述第二子槽，所述第三气槽的另一端连通至所述第一气孔，所述第四气槽的一端连通至所述第三子槽，所述第四气槽的另一端连通至所述第二气孔。
11、其中，所述第一通孔具有直径d1，所述第二通孔具有直径d2，其中，d1＞d2；
12、所述第一子槽具有最大宽度h1，所述第二子槽具有最大宽度h2，所述第三子槽具有最大宽度h3，所述第三气槽具有最大宽度h4，所述第四气槽具有最大宽度h5，其中，h1＞h2＞h4，且h1＞h3＞h5。
13、其中，所述机械手组件包括多个旋风吸盘，所述手臂本体具有多个第一收容槽，所述旋风吸盘与所述第一收容槽为一一对应设置，所述旋风吸盘出射的气体在所述涡流通道内能够具有第一转动方向或第二转动方向，所述多个旋风吸盘包括相邻的第一旋风吸盘及第二旋风吸盘，所述第一旋风吸盘出射的气体在涡流通道内具有第一转动方向，所述第二旋风吸盘出射的气体在涡流通道内具有第二转动方向，且所述第二转动方向与所述第一转动方向相反。
14、其中，所述手臂本体具有中心轴，所述多个旋风吸盘包括第一吸盘组及第二吸盘组，所述第一吸盘组包括所述第一旋风吸盘及所述第二旋风吸盘，所述第二吸盘组还包括第三旋风吸盘及第四旋风吸盘，所述第一旋风吸盘与所述第三旋风吸盘关于所述中心轴对称设置，且所述第三旋风吸盘出射的气体在涡流通道内具有第二转动方向，所述第四旋风吸盘与所述第二旋风吸盘关于所述中心轴对称设置，且所述第四旋风吸盘出射的气体在涡流通道内具有第一转动方向。
15、其中，所述机械手组件还包括定位组件，所述定位组件包括第一定位件及第二定位件，所述第一定位件及所述第二定位件沿所述手臂本体的延伸方向设置于所述手臂本体的相背两侧，当所述手臂本体用于运输晶圆时，所述第一定位件及所述第二定位件能够抵持所述晶圆的相背两侧，并对所述晶圆限位。
16、其中，所述第二定位件包括气缸组件及限位组件，所述气缸组件包括气缸及导杆，所述导杆的一端连接于所述气缸，并能够在所述气缸的驱动下进行伸缩，所述导杆的另一端连接于所述限位组件，并能够带动所述限位组件沿所述手臂本体的延伸方向往复移动；
17、所述限位组件包括活动板、固定板、第一限位柱及第二限位柱，所述活动板的一端连接于所述导杆，所述活动板的另一端活动连接于所述固定板，所述固定板的一端连接至所述第一限位柱，所述固定板的另一端连接至所述第二限位柱，所述第一限位柱及所述第二限位柱的排布方向垂直于所述手臂本体的延伸方向，且当所述手臂本体用于运输晶圆时，所述第一限位柱及所述第二限位柱能够抵持所述晶圆，并对所述晶圆限位。
18、第二方面，本申请还提供一种探针台，所述探针台包括检测台及所述机械手组件，所述机械手组件能够运输待检测的晶圆至所述检测台，并能够从所述检测台取走检测完毕的晶圆。
19、综上所述，本实施方式的机械手组件包括手臂本体及旋风吸盘，所述旋风吸盘包括底板及盖体，所述盖体的周侧面与所述底板的内周面围设形成涡流通道，所述第一气孔能够出射气体至所述涡流通道并形成涡流，使得所述旋风吸盘对晶圆具有更强的吸附作用力，避免因吸附作用力不足导致晶圆的位置偏移或滑落。所述盖体在邻近所述涡流通道的一侧还具有第一导流面，所述第一导流面沿着背离所述内周面的方向凹陷于所述周侧面，使得所述第一气孔出射的气体能够沿着所述第一导流面流动至所述涡流通道，而减少气体的外溢与损失，确保所述旋风吸盘的气体利用效率，及确保涡流通道内的气体充足和均匀。以及，所述旋风吸盘的底板还凸出于所述第一收容槽设置，本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种机械手组件，其特征在于，所述机械手组件包括：
2.如权利要求1所述的机械手组件，其特征在于，所述盖体在邻近所述涡流通道的一侧还具有第二导流面及第二气孔，所述第二导流面沿背离所述内周面的方向凹陷于所述周侧面，且所述第二导流面与所述第一导流面设置于所述盖体相背的两侧，所述第二气孔显露设置于所述第二导流面，所述第二气孔连通于所述气路，并能够出射气体至所述涡流通道。
3.如权利要求2所述的机械手组件，其特征在于，所述第一导流面包括弯折相连的第一子面及第二子面，沿所述第一子面与所述第二子面的排布方向，所述第一子面的长度大于所述第二子面的长度，且所述第一气孔显露设置于所述第二子面；
4.如权利要求2所述的机械手组件，其特征在于，所述手臂本体具有第一气槽及第一通孔，所述第一气槽的一端连通于所述气路，所述第一气槽的另一端连通于所述第一通孔，所述第一通孔设置于所述手臂本体邻近所述旋风吸盘的一侧；
5.如权利要求4所述的机械手组件，其特征在于，所述第一通孔具有直径D1，所述第二通孔具有直径D2，其中，D1＞D2；
6.如权利要求1所
7.如权利要求6所述的机械手组件，其特征在于，所述手臂本体具有中心轴，所述多个旋风吸盘包括第一吸盘组及第二吸盘组，所述第一吸盘组包括所述第一旋风吸盘及所述第二旋风吸盘，所述第二吸盘组还包括第三旋风吸盘及第四旋风吸盘，所述第一旋风吸盘与所述第三旋风吸盘关于所述中心轴对称设置，且所述第三旋风吸盘出射的气体在涡流通道内具有第二转动方向，所述第四旋风吸盘与所述第二旋风吸盘关于所述中心轴对称设置，且所述第四旋风吸盘出射的气体在涡流通道内具有第一转动方向。
8.如权利要求1所述的机械手组件，其特征在于，所述机械手组件还包括定位组件，所述定位组件包括第一定位件及第二定位件，所述第一定位件及所述第二定位件沿所述手臂本体的延伸方向设置于所述手臂本体的相背两侧，当所述手臂本体用于运输晶圆时，所述第一定位件及所述第二定位件能够抵持所述晶圆的相背两侧，并对所述晶圆限位。
9.如权利要求8所述的机械手组件，其特征在于，所述第二定位件包括气缸组件及限位组件，所述气缸组件包括气缸及导杆，所述导杆的一端连接于所述气缸，并能够在所述气缸的驱动下进行伸缩，所述导杆的另一端连接于所述限位组件，并能够带动所述限位组件沿所述手臂本体的延伸方向往复移动；
10.一种探针台，其特征在于，所述探针台包括检测台及如权利要求1~9任意一项所述的机械手组件，所述机械手组件能够运输待检测的晶圆至所述检测台，并能够从所述检测台取走检测完毕的晶圆。
...【技术特征摘要】
1.一种机械手组件，其特征在于，所述机械手组件包括：
2.如权利要求1所述的机械手组件，其特征在于，所述盖体在邻近所述涡流通道的一侧还具有第二导流面及第二气孔，所述第二导流面沿背离所述内周面的方向凹陷于所述周侧面，且所述第二导流面与所述第一导流面设置于所述盖体相背的两侧，所述第二气孔显露设置于所述第二导流面，所述第二气孔连通于所述气路，并能够出射气体至所述涡流通道。
3.如权利要求2所述的机械手组件，其特征在于，所述第一导流面包括弯折相连的第一子面及第二子面，沿所述第一子面与所述第二子面的排布方向，所述第一子面的长度大于所述第二子面的长度，且所述第一气孔显露设置于所述第二子面；
4.如权利要求2所述的机械手组件，其特征在于，所述手臂本体具有第一气槽及第一通孔，所述第一气槽的一端连通于所述气路，所述第一气槽的另一端连通于所述第一通孔，所述第一通孔设置于所述手臂本体邻近所述旋风吸盘的一侧；
5.如权利要求4所述的机械手组件，其特征在于，所述第一通孔具有直径d1，所述第二通孔具有直径d2，其中，d1＞d2；
6.如权利要求1所述的机械手组件，其特征在于，所述机械手组件包括多个旋风吸盘，所述手臂本体具有多个第一收容槽，所述旋风吸盘与所述第一收容槽为一一对应设置，所述旋风吸盘出射的气体在所述涡流通道内能够具有第一转动方向或第二转动方向，所述多个旋风吸盘包括相邻的第一旋风吸盘及第二旋风吸盘，所述第一旋风吸盘出射的气体在涡流通道内具有第一转动方向，所述第二旋风吸盘出射的...
【专利技术属性】
技术研发人员：刘世文，
申请(专利权)人：深圳市森美协尔科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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