【技术实现步骤摘要】
本申请涉及晶圆检测，具体涉及一种机械臂组件及晶圆检测台。
技术介绍
1、在晶圆检测台中，通过机械臂将晶圆托起并转运至检测平台，以实现对晶圆的转运。常见的机械臂上常设置有吸盘，并通过粘胶将吸盘粘于机械臂面向晶圆的表面，并对吸盘进行抽真空以实现对晶圆的吸附。但是，粘胶工艺的效果不太稳定，在经过一段时间的使用后，吸盘可能从机械臂上脱落，吸盘设置于机械臂的结构稳定性较差。
技术实现思路
1、鉴于此，本申请提供一种机械臂组件及晶圆检测台，所述吸盘稳固设置于所述机械臂。
2、本申请提供了一种机械臂组件，所述机械臂组件包括：机械臂、多个吸盘以及支撑件，所述机械臂具有多个通孔及真空通道，所述多个通孔间隔设置且分别与所述真空通道连通；所述多个吸盘与所述多个通孔一一对应设置，所述吸盘包括相连的夹持部及吸嘴，所述夹持部穿设于所述通孔，所述吸嘴设置于所述机械臂的一侧，所述夹持部具有第一外周侧壁，所述夹持部具有第一通道及穿设孔，所述第一通道贯穿所述第一外周侧壁，所述穿设孔贯穿所述夹持部面向所述吸嘴的表面，所述吸嘴与所述穿设孔连通，所述穿设孔与所述第一通道连通；所述支撑件卡设于所述夹持部的穿设孔，以将所述夹持部安装于所述机械臂；所述支撑件具有第二外周侧壁，所述支撑件具有第二通道及第三通道，所述第二通道贯穿所述第二外周侧壁，所述第三通道贯穿所述支撑件面向所述吸嘴的表面，所述吸嘴、所述第三通道、所述第二通道、所述第一通道及所述真空通道依次连通。
3、进一步地，所述支撑件包括本体部及支撑部，
4、进一步地，所述通孔的径向尺寸为d1，所述夹持部的外周的径向尺寸为d2，则满足关系式：0mm＜d2-d1≤1mm。
5、进一步地，所述吸盘还包括连接部，所述连接部的位于所述夹持部与所述吸嘴之间且分别连接所述夹持部及所述吸嘴，当所述夹持部穿设于所述通孔且所述吸嘴设置于所述机械臂的一侧时，所述连接部面向所述机械臂的表面抵持所述机械臂面向所述吸嘴的表面。
6、进一步地，所述穿设孔的径向尺寸为d3，所述支撑部的外径的尺寸为d4，则满足关系式：0.5mm≤d4-d3≤2mm。
7、进一步地，所述穿设孔还贯穿所述夹持部背离所述吸嘴的表面；所述本体部背离所述吸嘴的表面与所述夹持部背离所述吸嘴的表面平齐。
8、进一步地，所述第三通道的数量为一个或多个，所述第三通道还贯穿所述本体部的外周侧壁，当所述第三通道的数量为多个时，多个所述第三通道环绕所述本体部的外周间隔设置；所述第二通道的数量为一个或多个，所述第二通道的数量与所述第三通道的数量相等，每个所述第二通道分别连通一个所述第三通道。
9、进一步地，所述穿设孔为盲孔，所述本体部背离所述吸嘴的表面抵持所述穿设孔的底壁，所述第三通道还贯穿所述本体部背离所述吸嘴的表面。
10、进一步地，所述第三通道的数量为四个，四个所述第三通道环绕所述本体部的外周间隔设置，每个所述第三通道还贯穿所述本体部背离所述吸嘴的表面及所述本体部的外周侧壁；所述第二通道的数量为四个，每个所述第二通道分别连通一个所述第三通道。
11、本申请还提供了一种晶圆检测台，所述晶圆检测台包括：物料盒本申请实施例提供的机械臂组件以及检测平台，所述物料盒用于收容待检测样品，所述物料盒具有沿预设方向依次间隔排布的多个卡槽，单个卡槽用于收容单个待检测样品；所述机械臂组件用于取放所述待检测样品；所述检测平台用于放置并检测所述待检测样品。
12、在本申请中，所述机械臂组件应用于晶圆检测台且所述机械臂用于取放待检测样品，所述机械臂具有相互连通的多个通孔及真空通道，且多个吸盘与多个通孔一一对应，所述吸盘与所述真空通道连通，则实现了所述吸盘、所述通孔与所述真空通道连通，当对所述真空通道进行抽真空时，可实现对所述吸盘进行抽真空，以使得吸嘴靠近所述机械臂的一侧的气压小于外界的气压，从而实现对待检测样品的吸附，继而实现对待检测样品进行搬运。当将待检测样品转运至特定位置时，通过向所述真空通道通入气体，气体将进入到吸嘴的内部，从而使得所述吸嘴停止对所述待检测样品的吸附。进一步地，所述吸盘具有第一通道及穿设孔，所述第一通道分别连通所述穿设孔及所述真空通道，以实现对所述吸盘内部的空间与真空通道实现连通。进一步地，所述机械臂组件还包括支撑件，在所述机械臂组件的装配过程中，先将所述吸盘的夹持部设置于所述通孔，所述吸嘴设置于所述机械臂的一侧，以实现将所述吸盘与所述机械臂的相对位置进行初步定位；再将所述支撑件卡设于所述夹持部的穿设孔，以使所述支撑件的第二外周侧壁抵持所述夹持部的内周侧壁，进一步使得所述夹持部的第一外周侧壁抵持所述通孔的内壁，所述支撑件有利于加强所述吸盘安装于机械臂的结构稳定性，以避免所述吸盘从所述通孔掉落。此外，所述支撑件卡设于所述夹持部的穿设孔，所述夹持部穿设于所述通孔，所述支撑件有利于实现所述夹持部与所述机械臂之间的过盈配合，从而实现对所述吸盘与所述机械臂之间的连接的密封性的提升，以避免因所述吸盘与机械臂之间的密封性能较差而降低对所述吸嘴进行抽真空的效率。所述支撑件具有第二通道及第三通道，所述吸盘、所述第三通道、所述第二通道、所述第一通道及所述真空通道依次连通，可避免因在所述夹持部的内部穿设所述支撑件而堵塞对所述吸嘴进行抽真空的气路，本申请的机械臂组件在加强所述吸盘与所述机械臂的连接稳定性的同时，保证了所述吸盘与所述机械臂之间气路的畅通性，使得通过所述真空通道对所述吸嘴进行抽真空有较高的效率。
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1.一种机械臂组件，其特征在于，所述机械臂组件包括：
2.根据权利要求1所述的机械臂组件，其特征在于，所述支撑件包括本体部及支撑部，所述支撑部环绕所述本体部的外周设置且凸设于所述本体部的外周；所述本体部具有所述第三通道，所述第二通道贯穿所述本体部及所述支撑部，所述支撑部至少部分嵌设于所述第一通道，且所述本体部的外周侧壁抵持所述夹持部的内周侧壁。
3.根据权利要求2所述的机械臂组件，其特征在于，所述通孔的径向尺寸为D1，所述夹持部的外周的径向尺寸为D2，则满足关系式：0mm＜D2-D1≤1mm。
4.根据权利要求2所述的机械臂组件，其特征在于，所述吸盘还包括连接部，所述连接部的位于所述夹持部与所述吸嘴之间且分别连接所述夹持部及所述吸嘴，当所述夹持部穿设于所述通孔且所述吸嘴设置于所述机械臂的一侧时，所述连接部面向所述机械臂的表面抵持所述机械臂面向所述吸嘴的表面。
5.根据权利要求2所述的机械臂组件，其特征在于，所述穿设孔的径向尺寸为D3，所述支撑部的外径的尺寸为D4，则满足关系式：0.5mm≤D4-D3≤2mm。
6.根据权
7.根据权利要求6所述的机械臂组件，其特征在于，所述第三通道的数量为一个或多个，所述第三通道还贯穿所述本体部的外周侧壁，当所述第三通道的数量为多个时，多个所述第三通道环绕所述本体部的外周间隔设置；所述第二通道的数量为一个或多个，所述第二通道的数量与所述第三通道的数量相等，每个所述第二通道分别连通一个所述第三通道。
8.根据权利要求2至5任一项所述的机械臂组件，其特征在于，所述穿设孔为盲孔，所述本体部背离所述吸嘴的表面抵持所述穿设孔的底壁，所述第三通道还贯穿所述本体部背离所述吸嘴的表面。
9.根据权利要求8所述的机械臂组件，其特征在于，所述第三通道的数量为四个，四个所述第三通道环绕所述本体部的外周间隔设置，每个所述第三通道还贯穿所述本体部背离所述吸嘴的表面及所述本体部的外周侧壁；所述第二通道的数量为四个，每个所述第二通道分别连通一个所述第三通道。
10.一种晶圆检测台，其特征在于，所述晶圆检测台包括：
...【技术特征摘要】
1.一种机械臂组件，其特征在于，所述机械臂组件包括：
2.根据权利要求1所述的机械臂组件，其特征在于，所述支撑件包括本体部及支撑部，所述支撑部环绕所述本体部的外周设置且凸设于所述本体部的外周；所述本体部具有所述第三通道，所述第二通道贯穿所述本体部及所述支撑部，所述支撑部至少部分嵌设于所述第一通道，且所述本体部的外周侧壁抵持所述夹持部的内周侧壁。
3.根据权利要求2所述的机械臂组件，其特征在于，所述通孔的径向尺寸为d1，所述夹持部的外周的径向尺寸为d2，则满足关系式：0mm＜d2-d1≤1mm。
4.根据权利要求2所述的机械臂组件，其特征在于，所述吸盘还包括连接部，所述连接部的位于所述夹持部与所述吸嘴之间且分别连接所述夹持部及所述吸嘴，当所述夹持部穿设于所述通孔且所述吸嘴设置于所述机械臂的一侧时，所述连接部面向所述机械臂的表面抵持所述机械臂面向所述吸嘴的表面。
5.根据权利要求2所述的机械臂组件，其特征在于，所述穿设孔的径向尺寸为d3，所述支撑部的外径的尺寸为d4，则满足关系式：0.5mm≤d4-d3≤2mm。
6.根据权利要求2至5...
【专利技术属性】
技术研发人员：欧晓永，
申请(专利权)人：深圳市森美协尔科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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