【技术实现步骤摘要】
本申请涉及晶圆检测的，尤其涉及一种晶圆翻转机构及探针台。
技术介绍
1、探针台可以将电探针、光学探针或射频探针放置在晶圆上，从而可以与测试仪器及半导体测试系统配合来检测晶圆表面缺陷。当晶圆的双面都需测试时，探针台需要利用翻转机构对晶圆进行翻转。
2、然而，常规翻转机构对大尺寸晶圆的翻转过程很费劲，且在翻转过程中很容易出现不平稳的现象，并导致翻转机构的翻转精度降低。
技术实现思路
1、鉴于此，本申请提供一种晶圆翻转机构及探针台，使得晶圆翻转机构能够进行平稳地翻转。
2、第一方面，本申请提供一种晶圆翻转机构，所述晶圆翻转机构包括：
3、翻转件，所述翻转件用于固定并翻转晶圆，所述翻转件具有相背的第一端侧及第二端侧；
4、驱动件，所述驱动件邻近所述翻转件的第一端侧设置，所述驱动件连接于所述翻转件，并能够驱动所述翻转件沿第一方向及第一方向的反方向转动，所述第一方向垂直于所述第一端侧及所述第二端侧的排布方向；及
5、辅助件，所述辅助件包括辅助环及支撑件，所述辅助环套设于所述翻转件的第二端侧并固定连接于所述翻转件，所述辅助环能够相对所述支撑件沿所述第一方向及第一方向的反方向转动，所述辅助环具有旋转轴，所述旋转轴穿设于所述翻转件，所述支撑件承载所述辅助环并对所述辅助环限位。
6、其中，所述辅助环包括主动盘，所述主动盘固定连接于所述翻转件，所述主动盘包括圆环部及定位部，所述圆环部关于所述旋转轴对称设置，所述圆环部的直径大于所述翻
7、其中，所述支撑件包括支撑脚座及第一滚轮，所述支撑脚座限位所述第一滚轮，且所述第一滚轮能够沿所述第一方向及第一方向的反方向转动；
8、所述辅助环还包括转轮，所述转轮连接于所述圆环部背离所述翻转件的一侧，所述转轮关于所述旋转轴对称设置，且所述转轮抵接于所述第一滚轮，并能够带动所述第一滚轮沿所述第一方向及第一方向的反方向转动。
9、其中，所述支撑件还包括限位件，所述限位件包括轮轴压板、第二滚轮及调节板，所述轮轴压板一端连接于所述支撑脚座，所述轮轴压板的另一端通过所述第二滚轮抵接至所述转轮，所述第二滚轮设置于所述转轮背离所述第一滚轮的一侧，且所述第二滚轮能够沿所述第一方向及第一方向的反方向转动，所述调节板连接于所述轮轴压板邻近所述支撑脚座的一侧，并用于调节所述轮轴压板相对所述转轮的位置。
10、其中，所述翻转件包括翻转主体及侧板，所述翻转主体用于固定并翻转晶圆，所述侧板固定连接于所述翻转主体，且所述侧板沿第三方向延伸，所述第三方向为所述第一端侧与所述第二端侧的排布方向；
11、所述主动盘还具有加强部，所述加强部的一端连接于所述定位部，所述加强部的另一端连接于所述圆环部，所述辅助件还包括定位板、连接板及加强筋，所述定位板围设于所述第二端侧的周侧，并固定连接于所述侧板，所述连接板的一端连接于所述定位板，所述连接板的另一端连接于所述加强筋，所述加强筋固定于所述加强部。
12、其中，所述辅助件包括至少两个支撑件，且所述两个支撑件关于所述辅助环对称设置；
13、所述主动盘具有多个加强部，且所述多个加强部关于所述旋转轴对称设置，所述辅助件还包括多个加强筋，单个所述加强筋固定于单个加强部，且不同的加强筋固定于不同的加强部。
14、其中，所述翻转件还包括面板组件及旋转板，所述面板组件包括真空面板及压合板，所述真空面板与所述压合板为相对设置，所述真空面板与所述压合板用于共同夹设晶圆，且所述真空面板固定连接于所述侧板，所述旋转板的一侧连接于所述驱动件，所述旋转板的另一侧连接于所述真空面板、所述压合板及所述侧板。
15、其中，所述面板组件包括间隔设置的第一面板部、第二面板部及第三面板部，所述第一面板部及所述第三面板部关于所述第二面板部对称设置；
16、所述翻转件还包括横板，所述横板同时抵接于所述第一面板部、所述第二面板部及所述第三面板部，并对所述第一面板部、所述第二面板部及所述第三面板部限位。
17、其中，所述晶圆翻转机构还包括线束及拖链组件，所述线束连接于所述翻转件，所述拖链组件邻近于所述翻转件的第一端侧设置，所述拖链组件包括第一拖链、第二拖链及托板，所述托板具有相对设置的第一弧形部及第二弧形部，所述第一弧形部承载所述第一拖链，所述第二弧形部承载第二拖链，所述第二拖链用于固定所述线束，且所述第二拖链能够沿所述第一弧形部及所述第二弧形部滑动。
18、第二方面，本申请还提供一种探针台，所述探针台包括机械手臂及所述晶圆翻转机构，所述机械手臂能够穿设于所述辅助环，并用于运输晶圆。
19、本实施方式提供的晶圆翻转机构，在所述翻转件的第二端侧设置有所述辅助件，使得所述翻转件的第一端侧及第二端侧能保持在同一水平高度上，来避免所述第一端侧与所述第二端侧之间产生高度差而造成晶圆固定不稳的情形，并且能够有效地提升所述翻转件的旋转精度，防止因第二端侧位置发生偏移而导致机械手无法正常运送晶圆至所述晶圆翻转机构、或无法经晶圆自所述晶圆翻转机构顺利取出，以及能够避免因第二端侧位置发生偏移而导致机械手误触晶圆导致晶圆受损的情形。所述辅助件的设置还可以有效减轻所述驱动件对所述翻转件的承载作用力，使得所述驱动件的功率消耗降低，来提升所述晶圆翻转机构的工作效率，并且能够避免所述驱动件的转轴在长期受力作用下产生断裂的情形，从而有效地提升所述驱动件的耐用性。在本实施方式中，所述翻转件在所述驱动件、所述辅助环及所述支撑件的共同支撑作用下进行转动，尤其是在所述翻转件需要对大尺寸超薄晶圆进行翻转时，所述辅助环和所述支撑件的设置能够使得所述翻转件的转动过程更加平稳，从而有效地提升所述晶圆翻转机构及探针台的精准度与可靠性。
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1.一种晶圆翻转机构，其特征在于，所述晶圆翻转机构包括：
2.如权利要求1所述的晶圆翻转机构，其特征在于，所述辅助环包括主动盘，所述主动盘固定连接于所述翻转件，所述主动盘包括圆环部及定位部，所述圆环部关于所述旋转轴对称设置，所述圆环部的直径大于所述翻转件的第二端侧的最大宽度，所述定位部连接于所述圆环部的内周缘，所述定位部沿第二方向延伸，所述第二方向为所述第二端侧的宽度方向，且所述定位部套设于所述翻转件的第二端侧。
3.如权利要求2所述的晶圆翻转机构，其特征在于，所述支撑件包括支撑脚座及第一滚轮，所述支撑脚座限位所述第一滚轮，且所述第一滚轮能够沿所述第一方向及第一方向的反方向转动；
4.如权利要求3所述的晶圆翻转机构，其特征在于，所述支撑件还包括限位件，所述限位件包括轮轴压板、第二滚轮及调节板，所述轮轴压板一端连接于所述支撑脚座，所述轮轴压板的另一端通过所述第二滚轮抵接至所述转轮，所述第二滚轮设置于所述转轮背离所述第一滚轮的一侧，且所述第二滚轮能够沿所述第一方向及第一方向的反方向转动，所述调节板连接于所述轮轴压板邻近所述支撑脚座的一侧，并用于调节
5.如权利要求2所述的晶圆翻转机构，其特征在于，所述翻转件包括翻转主体及侧板，所述翻转主体用于固定并翻转晶圆，所述侧板固定连接于所述翻转主体，且所述侧板沿第三方向延伸，所述第三方向为所述第一端侧与所述第二端侧的排布方向；
6.如权利要求5所述的晶圆翻转机构，其特征在于，所述辅助件包括至少两个支撑件，且所述两个支撑件关于所述辅助环对称设置；
7.如权利要求5所述的晶圆翻转机构，其特征在于，所述翻转件还包括面板组件及旋转板，所述面板组件包括真空面板及压合板，所述真空面板与所述压合板为相对设置，所述真空面板与所述压合板用于共同夹设晶圆，且所述真空面板固定连接于所述侧板，所述旋转板的一侧连接于所述驱动件，所述旋转板的另一侧连接于所述真空面板、所述压合板及所述侧板。
8.如权利要求7所述的晶圆翻转机构，其特征在于，所述面板组件包括间隔设置的第一面板部、第二面板部及第三面板部，所述第一面板部及所述第三面板部关于所述第二面板部对称设置；
9.如权利要求1所述的晶圆翻转机构，其特征在于，所述晶圆翻转机构还包括线束及拖链组件，所述线束连接于所述翻转件，所述拖链组件邻近于所述翻转件的第一端侧设置，所述拖链组件包括第一拖链、第二拖链及托板，所述托板具有相对设置的第一弧形部及第二弧形部，所述第一弧形部承载所述第一拖链，所述第二弧形部承载第二拖链，所述第二拖链用于固定所述线束，且所述第二拖链能够沿所述第一弧形部及所述第二弧形部滑动。
10.一种探针台，其特征在于，所述探针台包括机械手臂及如权利要求1~9任意一项所述的晶圆翻转机构，所述机械手臂能够穿设于所述辅助环，并用于运输晶圆。
...【技术特征摘要】
1.一种晶圆翻转机构，其特征在于，所述晶圆翻转机构包括：
2.如权利要求1所述的晶圆翻转机构，其特征在于，所述辅助环包括主动盘，所述主动盘固定连接于所述翻转件，所述主动盘包括圆环部及定位部，所述圆环部关于所述旋转轴对称设置，所述圆环部的直径大于所述翻转件的第二端侧的最大宽度，所述定位部连接于所述圆环部的内周缘，所述定位部沿第二方向延伸，所述第二方向为所述第二端侧的宽度方向，且所述定位部套设于所述翻转件的第二端侧。
3.如权利要求2所述的晶圆翻转机构，其特征在于，所述支撑件包括支撑脚座及第一滚轮，所述支撑脚座限位所述第一滚轮，且所述第一滚轮能够沿所述第一方向及第一方向的反方向转动；
4.如权利要求3所述的晶圆翻转机构，其特征在于，所述支撑件还包括限位件，所述限位件包括轮轴压板、第二滚轮及调节板，所述轮轴压板一端连接于所述支撑脚座，所述轮轴压板的另一端通过所述第二滚轮抵接至所述转轮，所述第二滚轮设置于所述转轮背离所述第一滚轮的一侧，且所述第二滚轮能够沿所述第一方向及第一方向的反方向转动，所述调节板连接于所述轮轴压板邻近所述支撑脚座的一侧，并用于调节所述轮轴压板相对所述转轮的位置。
5.如权利要求2所述的晶圆翻转机构，其特征在于，所述翻转件包括翻转主体及侧板，所述翻转主体用于固定并翻转晶圆，所述侧板固定连接于所述翻转主体，且所述侧板沿第三方向延伸，所述第三方向为所述第一端侧与所...
【专利技术属性】
技术研发人员：周凯旋，
申请(专利权)人：深圳市森美协尔科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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