卡盘组件及探针台制造技术

本申请提供一种卡盘组件及探针台。卡盘组件包括：卡盘，卡盘包括卡盘本体及电气线缆；移动板，移动板用于承载卡盘本体，移动板能够带动卡盘沿第一方向往复移动；固定带，固定带沿第一方向设置于移动板背离卡盘的端侧，并用于固定电气线缆，固定带包括依次相连的第一弯折部、第二弯折部及第三弯折部，第二弯折部的开口方向与第一弯折部的开口方向相反，第三弯折部的开口方向与第二弯折部的开口方向相反，且第一弯折部的一端固定于移动板；及支撑件，支撑件固定连接第一弯折部背离移动板的一端，支撑件还固定连接第二弯折部邻近第一弯折部的一端。卡盘的位移精度能够较少地受到固定带作用力的影响，从而确保卡盘组件及探针台的精准度。

【技术实现步骤摘要】

本申请涉及晶圆检测的，尤其涉及一种卡盘组件及探针台。

技术介绍

1、探针台是用于对半导体器件进行电性能测试的重要设备。在探针台中，卡盘主要用于固定和定位被测晶圆。卡盘通常由精密的机械结构制成，以确保在测试过程中能够稳定地固定被测晶圆，并确保探针针头能够准确地接触晶圆及对晶圆进行检测。

2、然而，卡盘设置的电气线缆通常需要拖链来支撑和固定，拖链在探针台中的占用体积过大，因此探针台能够采用钢带替换拖链来对卡盘的电气线缆支撑和固定。但是，常规钢带在卡盘的运动过程中会给到卡盘较大的拉扯外力，并会影响卡盘的位移精度，导致卡盘的位移误差扩大。

技术实现思路

1、鉴于此，本申请提供一种卡盘组件及探针台，来避免卡盘的位移精度受到固定带作用力的影响，保障卡盘能够进行高精度地位移。

2、第一方面，本申请提供一种卡盘组件。所述卡盘组件包括：

3、卡盘，所述卡盘包括卡盘本体及电气线缆，所述卡盘本体具有承载面，所述承载面能够承载待检测的晶圆，所述电气线缆电连接所述卡盘本体，并能够向所述卡盘本体传输电本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种卡盘组件，其特征在于，所述卡盘组件包括：

2.如权利要求1所述的卡盘组件，其特征在于，所述第一弯折部具有长度L1，所述第二弯折部及所述第三弯折部具有长度总和L2，其中，所述长度L1满足：630mm≤L1≤830mm，长度总和L2满足：1090mm≤L2≤1290mm。

3.如权利要求1所述的卡盘组件，其特征在于，所述卡盘组件还包括升降组件，所述升降组件设置于所述移动板背离所述卡盘的一侧，所述升降组件能够带动所述卡盘沿第二方向升降运动，所述第二方向为所述卡盘与所述升降组件的排布方向，所述第二方向垂直于所述第一方向，所述移动板能够相对于所述升降组件沿第一方向往...

【技术特征摘要】

1.一种卡盘组件，其特征在于，所述卡盘组件包括：

2.如权利要求1所述的卡盘组件，其特征在于，所述第一弯折部具有长度l1，所述第二弯折部及所述第三弯折部具有长度总和l2，其中，所述长度l1满足：630mm≤l1≤830mm，长度总和l2满足：1090mm≤l2≤1290mm。

3.如权利要求1所述的卡盘组件，其特征在于，所述卡盘组件还包括升降组件，所述升降组件设置于所述移动板背离所述卡盘的一侧，所述升降组件能够带动所述卡盘沿第二方向升降运动，所述第二方向为所述卡盘与所述升降组件的排布方向，所述第二方向垂直于所述第一方向，所述移动板能够相对于所述升降组件沿第一方向往复运动，且所述支撑件固定于所述升降组件。

4.如权利要求3所述的卡盘组件，其特征在于，所述支撑件包括固定相连的支撑架及支撑板，所述支撑板的一端固定所述支撑架，所述支撑板的另一端固定连接于所述升降组件，且所述支撑架包括：

5.如权利要求4所述的卡盘组件，其特征在于，所述支撑板包括依次相连的第一子板、弧形板及第二子板，所述第一子板沿所述第二方向延伸，且所述第一子板的一端固定于所述支撑架，所述第一子板的另一端固定于所述弧形板，所述弧形板背离所述第一子板的一端固定于所述第二子板，所述第二子板沿所述第二方向延伸，且所述第二子板背离所述弧形板的一端固定于所述升降组件。

6.如权利要求4所述的卡盘组件，其特征在于，所述卡盘组件还包...

【专利技术属性】
技术研发人员：周凯旋，
申请(专利权)人：深圳市森美协尔科技有限公司，
类型：发明
国别省市：