【技术实现步骤摘要】
本申请涉及晶圆检测的，尤其涉及一种卡盘组件及探针台。
技术介绍
1、探针台是用于对半导体器件进行电性能测试的重要设备。在探针台中，卡盘主要用于固定和定位被测晶圆。卡盘通常由精密的机械结构制成，以确保在测试过程中能够稳定地固定被测晶圆，并确保探针针头能够准确地接触晶圆及对晶圆进行检测。
2、然而，卡盘设置的电气线缆通常需要拖链来支撑和固定，拖链在探针台中的占用体积过大，因此探针台能够采用钢带替换拖链来对卡盘的电气线缆支撑和固定。但是，常规钢带在卡盘的运动过程中会给到卡盘较大的拉扯外力，并会影响卡盘的位移精度，导致卡盘的位移误差扩大。
技术实现思路
1、鉴于此，本申请提供一种卡盘组件及探针台，来避免卡盘的位移精度受到固定带作用力的影响，保障卡盘能够进行高精度地位移。
2、第一方面，本申请提供一种卡盘组件。所述卡盘组件包括：
3、卡盘，所述卡盘包括卡盘本体及电气线缆，所述卡盘本体具有承载面，所述承载面能够承载待检测的晶圆，所述电气线缆电连接所述卡盘本体，并能够向所述卡盘本体传输电信号；
4、移动板，所述移动板设置于所述卡盘本体背离所述承载面的一侧，并用于承载所述卡盘本体，所述移动板能够带动所述卡盘沿第一方向往复移动；
5、固定带，所述固定带沿第一方向设置于所述移动板背离所述卡盘的端侧，并用于固定所述电气线缆，所述固定带包括依次相连的第一弯折部、第二弯折部及第三弯折部，所述第二弯折部的开口方向与所述第一弯折部的开口方向相反，所述第
6、支撑件，所述支撑件间隔设置于所述移动板，所述支撑件固定连接所述第一弯折部背离所述移动板的一端，所述支撑件还固定连接所述第二弯折部邻近所述第一弯折部的一端。
7、其中，所述第一弯折部具有长度l1，所述第二弯折部及所述第三弯折部具有长度总和l2，其中，所述长度l1满足：630mm≤l1≤830mm，长度总和l2满足：1090mm≤l2≤1290mm。
8、其中，所述卡盘组件还包括升降组件，所述升降组件设置于所述移动板背离所述卡盘的一侧，所述升降组件能够带动所述卡盘沿第二方向升降运动，所述第二方向为所述卡盘与所述升降组件的排布方向，所述第二方向垂直于所述第一方向，所述移动板能够相对于所述升降组件沿第一方向往复运动，且所述支撑件固定于所述升降组件。
9、其中，所述支撑件包括固定相连的支撑架及支撑板，所述支撑板的一端固定所述支撑架，所述支撑板的另一端固定连接于所述升降组件，且所述支撑架包括：
10、第一支撑部，所述第一支撑部的一端固定于所述固定带的第一弯折部，所述第一支撑部的另一端固定于所述支撑板；
11、第二支撑部，所述第二支撑部与所述第一支撑部弯折相连，所述第二支撑部的一端固定于所述固定带的第二弯折部，所述第二支撑部的另一端固定于所述支撑架；及
12、弧形部，所述弧形部的一端连接于所述第一支撑部，所述弧形部的另一端连接于所述第二支撑部，且所述弧形部固定于所述固定带的第一弯折部。
13、其中，所述支撑板包括依次相连的第一子板、弧形板及第二子板，所述第一子板沿所述第二方向延伸，且所述第一子板的一端固定于所述支撑架，所述第一子板的另一端固定于所述弧形板，所述弧形板背离所述第一子板的一端固定于所述第二子板，所述第二子板沿所述第二方向延伸，且所述第二子板背离所述弧形板的一端固定于所述升降组件。
14、其中，所述卡盘组件还包括安装板，所述安装板的一端固定于所述移动板的端侧，所述安装板的另一端固定于所述固定带的第一弯折部，所述第一弯折部的端侧贴合于所述安装板设置，且所述安装板至少部分正对所述支撑架的第一支撑部。
15、其中，所述卡盘组件还包括：
16、第一传动件，所述第一传动件设置于所述升降组件背离所述卡盘的一侧，所述第一传动件沿第三方向延伸，所述第三方向垂直于所述第一方向及所述第二方向，所述第一传动件能够带动所述升降组件及所述卡盘沿第三方向往复移动；
17、第二传动件，所述第二传动件设置于所述第一传动件背离所述升降组件的一侧，所述第二传动件沿所述第一方向延伸，且所述第二传动件能够带动所述第一传动件、所述升降组件及所述卡盘沿第一方向往复移动。
18、其中，所述升降组件包括第三传动件及加固板，所述第三传动件沿第二方向延伸，并能够带动所述卡盘沿第二方向往复移动，所述加固板设置于所述第三传动件背离所述卡盘的一端，所述加固板围设于所述第三传动件的周侧，并对所述第三传动件限位，且所述支撑架的第二子板固定于所述加固板。
19、其中，所述卡盘组件还包括第一走线块、第二走线块及第三走线块，所述第一走线块设置于所述第一弯折部邻近所述卡盘的一侧，所述第一走线块与所述第一弯折部围设形成第一通孔，所述第一通孔用于收容部分所述电气线缆，所述第二走线块设置于所述第一支撑部背离所述卡盘的一侧，所述第二走线块与所述第一支撑部围设形成第二通孔，所述第二通孔用于收容部分所述电气线缆，所述第三走线块设置于所述第二支撑部邻近所述第二弯折部的一侧，所述第三走线块与所述第二支撑部围设形成第三通孔，所述第三通孔用于收容部分所述电气线缆。
20、第二方面，本申请提供一种探针台，所述探针台包括壳体及所述卡盘组件，所述卡盘组件收容于所述壳体内。
21、在本实施方式中，所述卡盘组件包括卡盘、移动板、固定带及支撑件，所述固定带在移动过程中由于自身的连续弯折结构能够对产生的惯性作用力进行相互冲抵，从而对卡盘产生的反方向拉扯作用力较小，且在卡盘复位时所述固定带给到卡盘的反方向作用力同样较小，从而避免所述卡盘的位移精度被影响。以及，所述支撑件的设置能够对所述固定带增加固定支撑点，使得在所述卡盘的移动过程中，所述第一弯折部与所述第二弯折部、所述第三弯折部为相互独立，所述固定带产生的形变及对卡盘的作用力都较小，从而避免所述卡盘的位移精度受到固定带作用力的影响，进而避免所述卡盘产生位移误差，来保障所述卡盘能够进行高精度地位移。且在探针台中，所述卡盘组件能够稳定地固定被测晶圆，并确保探针台中的探针针头能够准确地接触晶圆及对晶圆进行检测，从而进一步确保所述探针台的精准度。
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1.一种卡盘组件，其特征在于，所述卡盘组件包括：
2.如权利要求1所述的卡盘组件，其特征在于，所述第一弯折部具有长度L1，所述第二弯折部及所述第三弯折部具有长度总和L2，其中，所述长度L1满足：630mm≤L1≤830mm，长度总和L2满足：1090mm≤L2≤1290mm。
3.如权利要求1所述的卡盘组件，其特征在于，所述卡盘组件还包括升降组件，所述升降组件设置于所述移动板背离所述卡盘的一侧，所述升降组件能够带动所述卡盘沿第二方向升降运动，所述第二方向为所述卡盘与所述升降组件的排布方向，所述第二方向垂直于所述第一方向，所述移动板能够相对于所述升降组件沿第一方向往复运动，且所述支撑件固定于所述升降组件。
4.如权利要求3所述的卡盘组件，其特征在于，所述支撑件包括固定相连的支撑架及支撑板，所述支撑板的一端固定所述支撑架，所述支撑板的另一端固定连接于所述升降组件，且所述支撑架包括：
5.如权利要求4所述的卡盘组件，其特征在于，所述支撑板包括依次相连的第一子板、弧形板及第二子板，所述第一子板沿所述第二方向延伸，且所述第一子板的一端固定于所
6.如权利要求4所述的卡盘组件，其特征在于，所述卡盘组件还包括安装板，所述安装板的一端固定于所述移动板的端侧，所述安装板的另一端固定于所述固定带的第一弯折部，所述第一弯折部的端侧贴合于所述安装板设置，且所述安装板至少部分正对所述支撑架的第一支撑部。
7.如权利要求3所述的卡盘组件，其特征在于，所述卡盘组件还包括：
8.如权利要求5所述的卡盘组件，其特征在于，所述升降组件包括第三传动件及加固板，所述第三传动件沿第二方向延伸，并能够带动所述卡盘沿第二方向往复移动，所述加固板设置于所述第三传动件背离所述卡盘的一端，所述加固板围设于所述第三传动件的周侧，并对所述第三传动件限位，且所述支撑架的第二子板固定于所述加固板。
9.如权利要求4所述的卡盘组件，其特征在于，所述卡盘组件还包括第一走线块、第二走线块及第三走线块，所述第一走线块设置于所述第一弯折部邻近所述卡盘的一侧，所述第一走线块与所述第一弯折部围设形成第一通孔，所述第一通孔用于收容部分所述电气线缆，所述第二走线块设置于所述第一支撑部背离所述卡盘的一侧，所述第二走线块与所述第一支撑部围设形成第二通孔，所述第二通孔用于收容部分所述电气线缆，所述第三走线块设置于所述第二支撑部邻近所述第二弯折部的一侧，所述第三走线块与所述第二支撑部围设形成第三通孔，所述第三通孔用于收容部分所述电气线缆。
10.一种探针台，其特征在于，所述探针台包括壳体及如权利要求1~9任意一项所述的卡盘组件，所述卡盘组件收容于所述壳体内。
...【技术特征摘要】
1.一种卡盘组件，其特征在于，所述卡盘组件包括：
2.如权利要求1所述的卡盘组件，其特征在于，所述第一弯折部具有长度l1，所述第二弯折部及所述第三弯折部具有长度总和l2，其中，所述长度l1满足：630mm≤l1≤830mm，长度总和l2满足：1090mm≤l2≤1290mm。
3.如权利要求1所述的卡盘组件，其特征在于，所述卡盘组件还包括升降组件，所述升降组件设置于所述移动板背离所述卡盘的一侧，所述升降组件能够带动所述卡盘沿第二方向升降运动，所述第二方向为所述卡盘与所述升降组件的排布方向，所述第二方向垂直于所述第一方向，所述移动板能够相对于所述升降组件沿第一方向往复运动，且所述支撑件固定于所述升降组件。
4.如权利要求3所述的卡盘组件，其特征在于，所述支撑件包括固定相连的支撑架及支撑板，所述支撑板的一端固定所述支撑架，所述支撑板的另一端固定连接于所述升降组件，且所述支撑架包括：
5.如权利要求4所述的卡盘组件，其特征在于，所述支撑板包括依次相连的第一子板、弧形板及第二子板，所述第一子板沿所述第二方向延伸，且所述第一子板的一端固定于所述支撑架，所述第一子板的另一端固定于所述弧形板，所述弧形板背离所述第一子板的一端固定于所述第二子板，所述第二子板沿所述第二方向延伸，且所述第二子板背离所述弧形板的一端固定于所述升降组件。
6.如权利要求4所述的卡盘组件，其特征在于，所述卡盘组件还包...
【专利技术属性】
技术研发人员：周凯旋，
申请(专利权)人：深圳市森美协尔科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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