【技术实现步骤摘要】
本申请涉及晶圆检测系统，具体涉及一种测试机自锁装置及晶圆检测系统。
技术介绍
1、进行晶圆检测时，测试机需要放置在探针台的上方并与探针台进行对接，随着晶圆芯片体积越来越小型化而功能电路上越来越复杂，导致测试机尺寸和重量不断变大，重量较大的测试机位于探针台上时容易发生晃动，如何有效地将测试机固定于探针台上成为需要解决的技术问题。
技术实现思路
1、本申请的目的在于提供一种测试机自锁装置及晶圆检测系统，以解决如何有效地将测试机固定于探针台上的技术问题。
2、第一方面，本申请提供了一种测试机自锁装置，所述自锁装置用于将测试机锁定至探针台上，所述自锁装置包括：
3、锁扣机构，所述锁扣机构设于所述测试机上，所述锁扣机构包括相连的固定板及第一固定结构，所述固定板固定于所述测试机上，所述第一固定结构固定于所述固定板上；
4、锁紧机构，所述锁紧机构设于所述探针台上或与所述探针台相邻的机架上，所述锁紧机构包括固定底座及第一限位件，所述固定底座设于探针台上或与所述探针台相邻...
【技术保护点】
1.一种测试机自锁装置，其特征在于，用于将测试机锁定至探针台上，所述自锁装置包括：
2.根据权利要求1所述的自锁装置，其特征在于，所述锁扣机构还包括第二固定结构，所述第二固定结构固定于所述固定板上，且所述第二固定结构和所述第一固定结构间隔设于所述固定板的两端；
3.根据权利要求2所述的自锁装置，其特征在于，所述锁紧机构还包括电性连接的光线传感器及控制器，所述光线传感器设于所述第一限位件上，所述光线传感器贯穿所述第一限位凹槽并朝向所述第一限位凹槽内发射检测光线，所述光线传感器用于检测所述第一固定结构并生成检测信号至所述控制器，所述控制器用于根据所...
【技术特征摘要】
1.一种测试机自锁装置，其特征在于，用于将测试机锁定至探针台上，所述自锁装置包括：
2.根据权利要求1所述的自锁装置，其特征在于，所述锁扣机构还包括第二固定结构，所述第二固定结构固定于所述固定板上，且所述第二固定结构和所述第一固定结构间隔设于所述固定板的两端；
3.根据权利要求2所述的自锁装置，其特征在于，所述锁紧机构还包括电性连接的光线传感器及控制器，所述光线传感器设于所述第一限位件上，所述光线传感器贯穿所述第一限位凹槽并朝向所述第一限位凹槽内发射检测光线，所述光线传感器用于检测所述第一固定结构并生成检测信号至所述控制器，所述控制器用于根据所述检测信号控制所述测试机停止移动。
4.根据权利要求2所述的自锁装置，其特征在于，所述第一固定结构包括第一固定条和第一凸轮组件，所述第一固定条连接所述固定板，所述第一凸轮组件设于所述第一固定条背离所述固定板的一侧，所述第一凸轮组件的形状和所述第一限位凹槽的形状对应，所述第一凸轮组件设于所述第一限位凹槽内并抵接所述第一限位凹槽的槽壁；
5.根据权利要求4所述的自锁装置，其特征在于，所述第一固定条上设有多个第一腰型孔，当所述测试机设于所述探针台上时，所述第一腰型孔沿高度方向延伸，所述固定板上设有多个第一固定孔，多个第一固定件穿设所述第一腰型孔并固定于所述第一固定孔内，所述第一固定条能够相对所述固定板沿所述高度方向移动；
6.根据权利要求4所述的自锁装置，其特征在于，所述固定板上设有多个第三腰型孔，所述第三腰型孔沿长度方向延伸，所述测试机上设有多个第三固定孔，多个第三固定件穿设所述第三腰型孔并固定于所述第三固定孔内，所述固定板能够相对所述测试机沿长度方向移动。
7.根据权利要求4所述的自锁装置，其特征在于，所述锁紧机构还包括第一铰链座和第一锁紧件，所述第一铰链座和所述第一限...
【专利技术属性】
技术研发人员：欧晓永，杨圆圆，
申请(专利权)人：深圳市森美协尔科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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