温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本申请提供一种测试机自锁装置及晶圆检测系统，自锁装置用于将测试机锁定至探针台上，自锁装置包括锁扣机构和锁紧机构，锁扣机构设于测试机上，锁扣机构包括相连的固定板及第一固定结构，固定板固定于测试机上，第一固定结构固定于固定板上，锁紧机构设于探针...
该专利属于深圳市森美协尔科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市森美协尔科技有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。