【技术实现步骤摘要】
本申请涉及晶圆检测的，尤其涉及一种机械手臂及探针台。
技术介绍
1、在半导体制造和测试中，超薄晶圆是一种常见的材料，其厚度通常只有几十微米。然而，由于超薄晶圆的脆弱性和易碎性，传统的机械手在抓取和运输超薄晶圆的过程中很容易对其造成损伤，且传统的机械手难以精确地抓取和放置超薄晶圆。
2、因此，在探针台中选择使用伯努利手臂来传输超薄晶圆。然而，伯努利手臂在实际应用中，手臂表面的气体流动过程中容易产生气体干涉，气体干涉会引起超薄晶圆吸附不牢固，并导致晶圆在运输过程中发生移动或脱落，从而影响探针台测试的准确性和稳定性。
技术实现思路
1、鉴于此，本申请提供一种机械手臂及探针台，使得机械手臂能够稳定地运输超薄晶圆。
2、第一方面，本申请提供一种机械手臂，所述机械手臂包括：
3、手臂本体，所述手臂本体具有承载面，所述承载面用于运输晶圆，所述手臂本体具有气路及多个气孔，所述气路设置于所述手臂本体内部，所述气路的一端连通于气体源，所述气路的另一端连通于所述多个气孔，所述气路用于流通气体，所述多个气孔显露于所述承载面，并用于出射气体；及
4、多个涡流盘，所述涡流盘承载于所述承载面，所述涡流盘还罩设于所述气孔在所述承载面上的开口，所述涡流盘的周侧与所述承载面之间具有间隙，所述气孔出射的气体至少部分自所述间隙出射至所述承载面，所述多个涡流盘彼此为间隔设置，且所述多个涡流盘中的一者罩设于所述多个气孔中的一者，所述多个涡流盘中的另一者罩设于所述多个气孔中的另一
5、其中，所述手臂本体还具有导气槽，所述导气槽显露于所述承载面，用于将所述气孔出射的气体至少部分导流至所述手臂本体的外部。
6、其中，所述承载面具有多个斜坡区，所述斜坡区围设于所述涡流盘的周侧，所述手臂本体还具有与所述承载面相背设置的底面，沿着第一方向，所述斜坡区与所述底面之间的距离逐渐增大，所述第一方向为所述涡流盘指向所述斜坡区的方向，且所述导气槽设置于所述斜坡区背离所述涡流盘的一侧。
7、其中，沿所述第一方向，所述涡流盘具有最大宽度d1，所述斜坡区具有最大宽度d2，其中，d2≥d1。
8、其中，所述手臂本体具有中心轴，所述手臂本体关于所述中心轴对称设置，所述多个涡流盘包括关于所述中心轴对称设置的两个涡流盘组，所述涡流盘组包括间隔设置的第一涡流盘、第二涡流盘及第三涡流盘，所述多个斜坡区具有间隔设置的第一斜坡区、第二斜坡区及第三斜坡区，所述第一斜坡区围设于所述第一涡流盘的周侧，所述第二斜坡区围设于所述第二涡流盘的周侧，所述第三斜坡区围设于所述第三涡流盘的周侧；所述导气槽包括第一子槽、第二子槽及第三子槽，所述第一子槽至少部分正对所述第一斜坡区设置，所述第二子槽至少部分正对所述第二斜坡区设置，所述第三子槽至少部分正对所述第三斜坡区设置。
9、其中，所述第一子槽、所述第二子槽及所述第三子槽为彼此间隔设置，所述第一子槽具有相连的第一弧形部及第一直流部，所述第一弧形部与所述第一涡流盘的周侧面相对设置，所述第一弧形部贴合于所述第一斜坡区设置，所述第一直流部连通于所述手臂本体的外周侧；
10、所述第二子槽具有相连的第二弧形部及第二直流部，所述第二弧形部与所述第二涡流盘的周侧面相对设置，所述第二弧形部贴合于所述第二斜坡区设置，所述第二直流部连通于所述手臂本体的外周侧；
11、所述第三子槽具有第三直流部，所述第三直流部与所述第三涡流盘的周侧面相对设置，所述第三直流部间隔设置于所述第三斜坡区，所述第三直流部连通于所述手臂本体的外周侧。
12、其中，所述第一子槽、所述第二子槽及所述第三子槽为相互连通，所述第一子槽的一端与所述第一涡流盘的周侧面相对设置，所述第一子槽还具有第一弧形边，所述第一弧形边环绕于所述第三斜坡区，并与所述第三斜坡区相对设置；
13、所述第二子槽的一端与所述第二涡流盘的周侧面相对设置，所述第二子槽还具有第二弧形边，所述第二弧形边环绕于所述第三斜坡区，并与所述第三斜坡区相对设置；
14、所述第三子槽设置于所述第一子槽与所述第二子槽背离所述第三斜坡区的一侧，所述第三子槽连通于手臂本体的外周侧。
15、其中，沿着所述第一子槽与所述第二子槽的排布方向，所述第三涡流盘具有最大宽度d3，所述第三子槽具有最大宽度d4，其中，d4≥d3。
16、其中，所述承载面形成所述导气槽的表面还具有多个流道，所述多个流道沿着所述涡流盘指向所述导气槽的方向延伸，且所述多个流道为彼此间隔设置。
17、其中，所述涡流盘包括依次弯折相连的抵持部、本体部及周侧部，所述抵持部抵接于所述手臂本体，所述本体部与所述手臂本体间隔设置，且所述本体部至少部分正对所述气孔，所述周侧部及所述抵持部设置于所述本体部的同侧，所述周侧部与所述手臂本体间隔设置，并与所述手臂本体之间形成所述间隙，所述周侧部与所述手臂本体之间具有最小距离h1，所述本体部与所述手臂本体之间具有最小距离h2，其中，h1＜h2。
18、第二方面，本申请还提供一种探针台，所述探针台包括所述机械手臂。本实施方式提供的机械手臂包括手臂本体及多个涡流盘，所述机械手臂通过涡流盘出射气体至晶圆表面，并根据伯努利原理实现对晶圆的吸附，相较于传统的真空机械手而言，所述机械手臂能够良好地吸附超薄晶圆。所述手臂本体还具有导气槽，所述导气槽显露于所述承载面，用于将所述气孔出射的气体至少部分导流至所述手臂本体的外部。所述导气槽的设置能够确保气体在所述多个涡流盘之间能够快速流动和均匀分布，避免所述多个涡流盘出射的气体产生相互干涉，从而控制气体的流动和压力，使得所述机械手臂能够对晶圆保持稳定的吸附环境，避免在机械手臂快速移动或外部扰动时发生晶圆偏移或脱落的情形，提高所述机械手臂对超薄晶圆的运输精准度及稳定性，进而保障所述探针台运转过程的可靠性。
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1.一种机械手臂，其特征在于，所述机械手臂包括：
2.如权利要求1所述的机械手臂，其特征在于，所述承载面具有多个斜坡区，所述斜坡区围设于所述涡流盘的周侧，所述手臂本体还具有与所述承载面相背设置的底面，沿着第一方向，所述斜坡区与所述底面之间的距离逐渐增大，所述第一方向为所述涡流盘指向所述斜坡区的方向，且所述导气槽设置于所述斜坡区背离所述涡流盘的一侧。
3.如权利要求2所述的机械手臂，其特征在于，沿所述第一方向，所述涡流盘具有最大宽度D1，所述斜坡区具有最大宽度D2，其中，D2≥D1。
4.如权利要求2所述的机械手臂，其特征在于，所述手臂本体具有中心轴，所述手臂本体关于所述中心轴对称设置，所述多个涡流盘包括关于所述中心轴对称设置的两个涡流盘组，所述涡流盘组包括间隔设置的第一涡流盘、第二涡流盘及第三涡流盘，所述多个斜坡区具有间隔设置的第一斜坡区、第二斜坡区及第三斜坡区，所述第一斜坡区围设于所述第一涡流盘的周侧，所述第二斜坡区围设于所述第二涡流盘的周侧，所述第三斜坡区围设于所述第三涡流盘的周侧；所述导气槽包括第一子槽、第二子槽及第三子槽，所述第一子槽至
5.如权利要求4所述的机械手臂，其特征在于，所述第一子槽、所述第二子槽及所述第三子槽为彼此间隔设置，所述第一子槽具有相连的第一弧形部及第一直流部，所述第一弧形部与所述第一涡流盘的周侧面相对设置，所述第一弧形部贴合于所述第一斜坡区设置，所述第一直流部连通于所述手臂本体的外周侧；
6.如权利要求4所述的机械手臂，其特征在于，所述第一子槽、所述第二子槽及所述第三子槽为相互连通，所述第一子槽的一端与所述第一涡流盘的周侧面相对设置，所述第一子槽还具有第一弧形边，所述第一弧形边环绕于所述第三斜坡区，并与所述第三斜坡区相对设置；
7.如权利要求4所述的机械手臂，其特征在于，沿着所述第一子槽与所述第二子槽的排布方向，所述第三涡流盘具有最大宽度D3，所述第三子槽具有最大宽度D4，其中，D4≥D3。
8.如权利要求1所述的机械手臂，其特征在于，所述承载面形成所述导气槽的表面还具有多个流道，所述多个流道沿着所述涡流盘指向所述导气槽的方向延伸，且所述多个流道为彼此间隔设置。
9.如权利要求1所述的机械手臂，其特征在于，所述涡流盘包括依次弯折相连的抵持部、本体部及周侧部，所述抵持部抵接于所述手臂本体，所述本体部与所述手臂本体间隔设置，且所述本体部至少部分正对所述气孔，所述周侧部及所述抵持部设置于所述本体部的同侧，所述周侧部与所述手臂本体间隔设置，并与所述手臂本体之间形成所述间隙，所述周侧部与所述手臂本体之间具有最小距离H1，所述本体部与所述手臂本体之间具有最小距离H2，其中，H1＜H2。
10.一种探针台，其特征在于，所述探针台包括如权利要求1~9任意一项所述的机械手臂。
...【技术特征摘要】
1.一种机械手臂，其特征在于，所述机械手臂包括：
2.如权利要求1所述的机械手臂，其特征在于，所述承载面具有多个斜坡区，所述斜坡区围设于所述涡流盘的周侧，所述手臂本体还具有与所述承载面相背设置的底面，沿着第一方向，所述斜坡区与所述底面之间的距离逐渐增大，所述第一方向为所述涡流盘指向所述斜坡区的方向，且所述导气槽设置于所述斜坡区背离所述涡流盘的一侧。
3.如权利要求2所述的机械手臂，其特征在于，沿所述第一方向，所述涡流盘具有最大宽度d1，所述斜坡区具有最大宽度d2，其中，d2≥d1。
4.如权利要求2所述的机械手臂，其特征在于，所述手臂本体具有中心轴，所述手臂本体关于所述中心轴对称设置，所述多个涡流盘包括关于所述中心轴对称设置的两个涡流盘组，所述涡流盘组包括间隔设置的第一涡流盘、第二涡流盘及第三涡流盘，所述多个斜坡区具有间隔设置的第一斜坡区、第二斜坡区及第三斜坡区，所述第一斜坡区围设于所述第一涡流盘的周侧，所述第二斜坡区围设于所述第二涡流盘的周侧，所述第三斜坡区围设于所述第三涡流盘的周侧；所述导气槽包括第一子槽、第二子槽及第三子槽，所述第一子槽至少部分正对所述第一斜坡区设置，所述第二子槽至少部分正对所述第二斜坡区设置，所述第三子槽至少部分正对所述第三斜坡区设置。
5.如权利要求4所述的机械手臂，其特征在于，所述第一子槽、所述第二子槽及所述第三子槽为彼此间隔设置，所述第一子槽具有相连的第一弧形部及第一直流部，所述第...
【专利技术属性】
技术研发人员：刘世文，
申请(专利权)人：深圳市森美协尔科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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