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本申请涉及一种机械臂组件及晶圆检测台。机械臂组件包括：机械臂、多个吸盘以及支撑件，机械臂具有连通的多个通孔及真空通道；吸盘与通孔一一对应，吸盘包括相连的夹持部及吸嘴，夹持部穿设于通孔，吸嘴设置于机械臂的一侧，夹持部具有第一外周侧壁，夹持部具...
该专利属于深圳市森美协尔科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市森美协尔科技有限公司授权不得商用。

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