一种卷对卷双面数字化激光直写曝光机及曝光对位方法技术

本发明专利技术公开了一种卷对卷双面数字化激光直写曝光机及曝光对位方法，方法包括：首次曝光时：标定三组对位相机的位置；捕捉曝光卷料边缘并确定三组标记点，通过三组标记点的坐标获取偏移角度和曝光区域；根据偏移角度和曝光区域进行曝光；标记两颗Mark点；第二次曝光时：重新标定三组对位相机的位置；捕捉上一次曝光标记的两颗Mark点并进行校对；捕捉曝光卷料其中一侧边的边缘并确定两组标记点，通过两组标记点和两颗Mark点的坐标获取偏移角度和曝光区域；比较偏移角度与可调角度和极限角度以确定曝光图形的偏转角度；根据偏转角度和曝光区域进行曝光操作；标记新的两组Mark点；后续曝光时重复第二次曝光时的步骤。本发明专利技术可实现对曝光卷料进行精确连续曝光。曝光卷料进行精确连续曝光。曝光卷料进行精确连续曝光。

【技术实现步骤摘要】
一种卷对卷双面数字化激光直写曝光机及曝光对位方法


[0001]本专利技术涉及激光直写曝光
，特别涉及一种卷对卷双面数字化激光直写曝光机及曝光对位方法。

技术介绍

[0002]激光直写光刻技术，其无接触无掩膜式的光刻方法减少了相较于传统光刻技术的附带技术难题和成本。以往的数字化激光直写曝光机通常采用单面曝光，即先对电路板的其中一面进行曝光，待曝光完成后将电路板进行翻转，然后再对电路板的另一面进行曝光，最终完成对电路板的双面曝光。然而，翻转操作必然会产生曝光对位的问题，这不仅增加了曝光流程，同时对位精度也会影响到曝光精度，从而影响最终的曝光效果。为解决上述问题，卷对卷双面数字化激光直写曝光机应运而生，其由放卷机、曝光机和收卷机组成，曝光卷料是一卷软板，其宽度固定，长度可以无限长，由于曝光机单次曝光区域有限，故势必需要一种曝光对位方法实现对曝光基板进行精确连续曝光。

技术实现思路

[0003]本专利技术旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本专利技术提出了一种卷对卷双面数字化激光直写曝光机及曝光对位方法，该曝光对位方法可以实现对曝光卷料进行精确连续曝光。
[0004]第一方面，本专利技术提供了一种卷对卷双面数字化激光直写曝光机的曝光对位方法，包括以下步骤：当对曝光卷料进行首次曝光时：标定三组对位相机的位置；捕捉所述曝光卷料两侧边的边缘，并在该两侧边的边缘上确定三组标记点，通过该三组标记点的坐标获取所述曝光卷料的偏移角度和曝光区域；根据当前所述曝光卷料的偏移角度和曝光区域进行曝光操作；在位于当前曝光图形外且靠近下一次需要进行曝光的曝光区域的区域范围内标记两颗Mark点；当对所述曝光卷料进行第二次曝光时：重新标定三组所述对位相机的位置；移动所述曝光卷料使对应的所述对位相机捕捉到上一次曝光标记的两颗Mark点并对该两颗Mark点进行校对；捕捉所述曝光卷料其中一侧边的边缘，并在该侧边的边缘上确定两组标记点，通过该两组标记点和两颗校对后的所述Mark点的坐标获取所述曝光卷料的偏移角度和曝光区域；将当前所述曝光卷料的偏移角度与可调角度、极限角度进行比较以确定当前曝光图形的偏转角度；根据所述偏转角度和当前所述曝光卷料的曝光区域进行曝光操作；在位于当前曝光图形外且靠近下一次需要进行曝光的曝光区域的区域范围内标记新的两组Mark点；后续曝光时重复第二次曝光时的步骤。
[0005]根据本专利技术的一些实施例，所述标定三组所述对位相机的位置具体包括：根据指定对位点数据进行数字化坐标转换得到三组所述对位相机在曝光坐标系下的理论坐标；将三组所述对位相机分别移动到所述理论坐标位置；对三组所述对位相机进行精确定位。
[0006]根据本专利技术的一些实施例，所述对三组所述对位相机进行精确定位具体包括：通过高精度移动平台分别将三组所述对位相机的相源中心对准同一个标定点；根据高精度移
动平台的移动距离获取三组所述对位相机在曝光坐标系下的实际坐标；根据所述理论坐标与所述实际坐标调整三组所述对位相机的位置。
[0007]根据本专利技术的一些实施例，所述对该两颗Mark点进行校对具体包括：将两颗所述Mark点的实际间距与其理论间距的差值的绝对值与设定值进行比较：在所述差值的绝对值大于所述设定值时，重新捕捉两颗所述Mark点；在所述差值的绝对值小于等于所述设定值时，保留两颗所述Mark点；分别计算校对后的两颗所述Mark点距离对应的所述对位相机相源中心的距离，根据所述距离的平均值对所述曝光卷料的位置进行调整。
[0008]根据本专利技术的一些实施例，所述将当前所述曝光卷料的偏移角度与可调角度、极限角度进行比较以确定当前曝光图形的偏转角度具体包括：在当前所述曝光卷料的偏移角度小于可调角度时，设定当前曝光图形的偏转角度为所述偏移角度；在当前所述曝光卷料的偏移角度大于等于可调角度且小于所述极限角度时，设定当前曝光图形的偏转角度为所述可调角度；在当前所述曝光卷料的偏移角度大于等于所述极限角度时，停止曝光。
[0009]第二方面，本专利技术还提供了一种卷对卷双面数字化激光直写曝光机，包括可沿曝光坐标系Y轴方向运动的第一对位相机和第二对位相机、可沿曝光坐标系X轴和Y轴方向运动的第三对位相机，该卷对卷双面数字化激光直写曝光机应用了上述实施例中的曝光对位方法。
[0010]根据本专利技术提供的卷对卷双面数字化激光直写曝光机及曝光对位方法，至少具有如下有益效果：通过识别曝光卷料的边缘并确定多组标记点，以及通过精确捕捉上一次曝光标记的两颗Mark点，可以精确控制下一片曝光卷料的曝光区域，通过计算下一片曝光卷料的偏移角度，并与上一片的偏移角度做对比，最后设置权重控制曝光图形的旋转角度，最终可以实现在曝光卷料上无缝拼接长距离曝光图形，从而大大提高了生产效率。
[0011]本专利技术的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本专利技术的实践了解到。
附图说明
[0012]本专利技术的上述和/或附加的方面和优点从结合下面附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中：
[0013]图1为本专利技术实施例的卷对卷双面数字化激光直写曝光机的曝光对位方法的流程图；
[0014]图2为本专利技术实施例进行首次曝光和第二次曝光的曝光对位示意图。
[0015]附图标记：
[0016]第一对位相机100、第二对位相机200、第三对位相机300。
具体实施方式
[0017]下面详细描述本专利技术的实施例，实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本专利技术，而不能理解为对本专利技术的限制。
[0018]在本专利技术的描述中，需要理解的是，涉及到方位描述，例如上、下、前、后、左、右等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本专利技术和简
化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本专利技术的限制。
[0019]在本专利技术的描述中，除非另有明确的限定，设置、安装、连接等词语应做广义理解，所属
技术人员可以结合技术方案的具体内容合理确定上述词语在本专利技术中的具体含义。
[0020]本专利技术实施例中所涉及的卷对卷双面数字化激光直写曝光机请参照专利(专利申请号为CN202010431942.0)的介绍，此处不再赘述。所涉及的卷对卷双面数字化激光直写曝光机的曝光对位系统包含三个对位相机，其中第一对位相机100和第二对位相机200可沿曝光坐标系Y轴方向运动，第三对位相机300可沿曝光坐标系X轴和Y轴方向运动。
[0021]参考图1，为本专利技术实施例的卷对卷双面数字化激光直写曝光机的曝光对位方法的流程图，包括对曝光卷料进行首次曝光和非首次曝光。
[0022]当对曝光卷料进行首次曝光时，曝光对位包括以下步骤：
[0023]分别标定第一对位相机100、第二对位相机200以及第三对位相机300的位置本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种卷对卷双面数字化激光直写曝光机的曝光对位方法，其特征在于，包括以下步骤：当对曝光卷料进行首次曝光时：标定三组对位相机的位置；捕捉所述曝光卷料两侧边的边缘，并在该两侧边的边缘上确定三组标记点，通过该三组标记点的坐标获取所述曝光卷料的偏移角度和曝光区域；根据当前所述曝光卷料的偏移角度和曝光区域进行曝光操作；在位于当前曝光图形外且靠近下一次需要进行曝光的曝光区域的区域范围内标记两颗Mark点；当对所述曝光卷料进行第二次曝光时：重新标定三组所述对位相机的位置；移动所述曝光卷料使对应的所述对位相机捕捉到上一次曝光标记的两颗Mark点并对该两颗Mark点进行校对；捕捉所述曝光卷料其中一侧边的边缘，并在该侧边的边缘上确定两组标记点，通过该两组标记点和两颗校对后的所述Mark点的坐标获取所述曝光卷料的偏移角度和曝光区域；将当前所述曝光卷料的偏移角度与可调角度、极限角度进行比较以确定当前曝光图形的偏转角度；根据所述偏转角度和当前所述曝光卷料的曝光区域进行曝光操作；在位于当前曝光图形外且靠近下一次需要进行曝光的曝光区域的区域范围内标记新的两组Mark点；后续曝光时重复第二次曝光时的步骤。2.根据权利要求1所述的卷对卷双面数字化激光直写曝光机的曝光对位方法，其特征在于，所述标定三组所述对位相机的位置具体包括：根据指定对位点数据进行数字化坐标转换得到三组所述对位相机在曝光坐标系下的理论坐标；将三组所述对位相机分别移动到所述理论坐标位置；对三组所述对位相机进行精确定位。3.根据权利要求2所述的卷对卷双面数字化激光直写曝光机的曝光对位方法，其特征在于，所述对三组所述对位相机进行精确定位...

【专利技术属性】
技术研发人员：白国梁，梅文辉，汪孝军，罗覃东，洪俊辉，麻秀芝，
申请(专利权)人：中山新诺科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：