本发明专利技术公开了一种气浮轴承装置及光刻设备，其属于光刻技术领域，气浮轴承装置包括轴承本体和预载磁铁，轴承本体具有多个气浮面和中部区域，多个所述气浮面关于所述中部区域对称分布且与所述中部区域之间间隔设置形成缝隙；预载磁铁设于所述中部区域上。预载磁铁与气浮面之间的连接断开，在磁预载时，预载磁铁受到预载力，使得预载力不会直接传递至气浮面上，减少磁预载对气浮面的变形影响。光刻设备包括上述气浮轴承装置。由于预载力不会直接传递至气浮面上，减少磁预载对气浮面的变形影响，使得光刻设备的可靠性提高，加工精度较高。加工精度较高。加工精度较高。
【技术实现步骤摘要】
一种气浮轴承装置及光刻设备
[0001]本专利技术涉及光刻
，尤其涉及一种气浮轴承装置及光刻设备。
技术介绍
[0002]气浮轴承是利用空气作为润滑剂的滑动轴承。正常工作时，轴和轴承表面完全由气膜所隔开，凭借气膜中压力的变化来支承轴和外力负荷。为了使得气浮轴承获得较大的刚度，一般需要较大的载荷或者预载，特别是对于侧向气浮轴承，只能使用额外的预载。常用的预载方法有真空预载和磁预载，真空预载的使用条件比较苛刻，而且预载力相对不大，一般使用磁预载对气浮轴承进行加载。
[0003]气浮轴承的磁预载，如图1所示，预载磁铁101粘接在轴承10上，背铁201粘接在导轨20上，通过预载磁铁101和背铁201之间的吸附作用为气浮轴承提供额外的预载力。如果预载磁铁101的吸引力非常大时，由于变形的连续性准则可知，预载处附近的变形会传递到轴承10的气浮面附近，这样的变形传递会严重影响气浮轴承的气膜厚度，严重的可能会导致轴承10和导轨20剐蹭。
[0004]气浮轴承技术在光刻机运动台中使用较为广泛，光刻机对加工精度要求较高，如果气浮轴承的气浮面变形，会导致光刻机的可靠性降低，影响加工精度。
技术实现思路
[0005]本专利技术的目的在于提供一种气浮轴承装置及光刻设备，以解决现有技术中存在的气浮轴承在磁预载时气浮面易变形的技术问题。
[0006]如上构思，本专利技术所采用的技术方案是：
[0007]一种气浮轴承装置，包括：
[0008]轴承本体，具有多个气浮面和中部区域，多个所述气浮面关于所述中部区域对称分布，且与所述中部区域之间间隔设置形成缝隙；
[0009]预载磁铁，设于所述中部区域上。
[0010]其中，所述气浮面设置于悬臂的末端，所述悬臂的根部与所述中部区域连接，所述悬臂的延伸部与所述中部区域之间形成所述缝隙。
[0011]其中，所述悬臂的截面积自所述末端向所述根部减小。
[0012]其中，所述悬臂为轴对称结构，所述气浮面的几何中心位于所述悬臂的对称轴上。
[0013]其中，在所述悬臂靠近所述中部区域的连接处沿平行于所述气浮面的方向开设有镂空孔，所述镂空孔沿远离所述气浮面方向的宽度逐渐增大。
[0014]其中，所述气浮面设置有两个，两个所述悬臂于所述中部区域的两侧对称分布。
[0015]其中，还包括限位连接件，两个所述悬臂之间通过所述限位连接件连接，所述限位连接件与所述中部区域之间设置有间隙。
[0016]其中，所述限位连接件为贯穿两个所述悬臂的限位轴。
[0017]其中，多个所述气浮面绕所述中部区域的周向呈环形设置。
[0018]一种光刻设备，包括如上所述的气浮轴承装置。
[0019]本专利技术的有益效果：
[0020]本专利技术提出的气浮轴承装置，由于将中部区域与气浮面之间间隔设置形成缝隙，使得预载磁铁与气浮面之间的连接断开，在磁预载时，预载磁铁受到预载力，预载力不会直接传递至气浮面上，减少磁预载对气浮面的变形影响。
附图说明
[0021]图1是现有的气浮轴承的示意图；
[0022]图2是本专利技术实施例一提供的气浮轴承装置的示意图；
[0023]图3是图2中的气浮轴承装置的轴承本体的受力示意图；
[0024]图4是本专利技术实施例一提供的一种气浮轴承装置的示意图；
[0025]图5是本专利技术实施例一提供的另一种气浮轴承装置的示意图；
[0026]图6是本专利技术实施例一提供的再一种气浮轴承装置的示意图；
[0027]图7是本专利技术实施例一提供的一种预载磁铁的示意图；
[0028]图8是本专利技术实施例一提供的另一种预载磁铁的示意图；
[0029]图9是本专利技术实施例一提供的再一种预载磁铁的示意图；
[0030]图10是本专利技术实施例二提供的气浮轴承装置的结构示意图；
[0031]图11是图10中的气浮轴承装置的剖视图；
[0032]图12是本专利技术实施例二提供的气浮轴承装置的示意图。
[0033]图1中：
[0034]10、轴承；101、预载磁铁；
[0035]20、导轨；201、背铁；
[0036]图2-图12中：
[0037]1、轴承本体；
[0038]11、气浮面；12、中部区域；13、缝隙；14、悬臂；141、镂空孔；
[0039]2、预载磁铁；
[0040]3、限位轴；
[0041]4、压缩空气接头；
[0042]5、气浮轴承导轨；
[0043]6、背铁。
具体实施方式
[0044]下面详细描述本专利技术的实施例，实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，旨在用于解释本专利技术，而不能理解为对本专利技术的限制。
[0045]在本专利技术的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“相连”、“连接”、“固定”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述
术语在本专利技术中的具体含义。
[0046]在本专利技术中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。
[0047]下面结合附图并通过具体实施方式来进一步说明本专利技术的技术方案。
[0048]实施例一
[0049]参见图2至图9，本专利技术实施例提供一种气浮轴承装置，包括轴承本体1和预载磁铁2，轴承本体1具有多个气浮面11和中部区域12，多个气浮面11关于中部区域12对称分布，且与中部区域12之间间隔设置形成缝隙13，多个气浮面11受到的预载力均匀平衡，预载磁铁2设于中部区域12上，预载磁铁2与气浮面11之间的连接断开，在磁预载时，预载磁铁2受到吸引力，预载力不会直接传递至气浮面11上，减少磁预载对气浮面11的变形影响。
[0050]气浮面11设置于悬臂14的末端，悬臂14的根部与中部区域12连接，悬臂14的延伸部与中部区域12之间形成缝隙13。悬臂14的根部与中部区域12连接，使得轴承本体1是整体结构，预载力会通过中部区域12传递至悬臂14，再传递至气浮面11上，增长了预载力的传递路径。悬臂14的末端为气浮面11，悬臂14的根部与中部区域12连接，沿气浮面11至根部的方向，悬臂14的延伸部越长，预载力的传本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种气浮轴承装置，其特征在于，包括：轴承本体(1)，具有多个气浮面(11)和中部区域(12)，多个所述气浮面(11)关于所述中部区域(12)对称分布，且与所述中部区域(12)之间间隔设置形成缝隙(13)；预载磁铁(2)，设于所述中部区域(12)上。2.根据权利要求1所述的气浮轴承装置，其特征在于，所述气浮面(11)设置于悬臂(14)的末端，所述悬臂(14)的根部与所述中部区域(12)连接，所述悬臂(14)的延伸部与所述中部区域(12)之间形成所述缝隙(13)。3.根据权利要求2所述的气浮轴承装置，其特征在于，所述悬臂(14)的截面积自所述末端向所述根部减小。4.根据权利要求2所述的气浮轴承装置，其特征在于，所述悬臂(14)为轴对称结构，所述气浮面(11)的几何中心位于所述悬臂(14)的对称轴上。5.根据权利要求2所述的气浮轴承装置，其特征在于，在所述悬臂(14)靠近所...
【专利技术属性】
技术研发人员：王昱，
申请(专利权)人：上海微电子装备集团股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。