曝光机预对位单元真空管路制造技术

本实用新型专利技术涉及一种曝光机预对位单元真空管路，结构包括真空管路、曝光机、机器手臂、压力调节阀；曝光机设有两个预对位平台，每个预对位平台上分别配有机器手臂；真空管路分成两条支路，每条支路分别连接一个预对位平台以及与其匹配的机器手臂，真空管路与支路之间设有压力调节阀，支路与预对位平台连接处设有支路压力调节阀。预对位平台内部设有pin真空管路、平台真空管路，二者交错叠放，气孔均匀排布在预对位平台表面。有益效果：真空分压后各单元压力均衡，不易发生故障，不会因真空压力导致破片；设备稼动率提升，制造成本缩减。制造成本缩减。制造成本缩减。

【技术实现步骤摘要】
曝光机预对位单元真空管路


[0001]本技术涉及一种曝光机预对位单元真空管路，属于液晶设备制造


技术介绍

[0002]在液晶面板生产过程中，光刻是一项重要的制程。玻璃基板在进行曝光前，需要控制玻璃的温度以及玻璃位置，所以都会经过玻璃基板预对位及控制温度处理，称为PA台；玻璃基板从前段设备搬送进入放置于PA台上时采用机器手臂，由于机器手臂先从前段设备取出玻璃基板，当机器手臂接触到玻璃基板，机器手臂开始吸附真空，然后将玻璃基板放置于PA台上，PA台再吸附真空，完成搬运。在现有技术中，整个PA单元由工厂动力供给后直接使用，PA单元中的每个unit无法保证真空分压均衡而导致真空压力过大或过小而产生异常或者破片发生，同时工作时，致使玻璃基板在PA台时容易发生真空报警或者破片，严重时导致设备故障使生产停止，而曝光机消除报警复机也需要较长时间，从而影响设备生产。

技术实现思路

[0003]本技术提出的是一种曝光机预对位单元真空管路，其目的是对于曝光机的预对位单元真空进行重新设计规划管路，来达到曝光机两个工作台单独控制真空压力，从而减少报警次数、破片量，使曝光机稼动率得到提升。
[0004]本技术的技术解决方案：
[0005]曝光机预对位单元真空管路，其结构包括真空管路、曝光机、机器手臂、压力调节阀；所述曝光机设有两个预对位平台，每个预对位平台上分别配有机器手臂；所述真空管路分成两条支路，每条支路分别连接一个预对位平台以及与其匹配的机器手臂，真空管路与支路之间设有压力调节阀。
[0006]进一步地，所述真空管路支路与预对位平台连接处设有支路压力调节阀。
[0007]进一步地，所述预对位平台内部设有pin真空管路、平台真空管路；所述pin真空管路、平台真空管路交错叠放，气孔均匀排布在预对位平台表面，平衡各位置压力。
[0008]进一步地，所述支路压力调节阀设置在平台真空管路支路上。
[0009]进一步地，所述预对位平台采用耐高温复合材料，耐温范围为
‑
30℃至1100℃。
[0010]作为优选方案，所述预对位平台内腔设有温度传感器，检测液晶面板的实时温度。
[0011]作为优选方案，所述预对位平台侧面设有负压装置，连通所述真空管路，吸附曝光过程中基板挥发的有机物，并及时排出曝光机。
[0012]本技术的有益效果：
[0013]1）真空分压后各单元压力均衡，不易发生故障，不会因真空压力导致破片。
[0014]2）设备稼动率提升，制造成本缩减。
附图说明
[0015]附图1是现有技术方案的结构示意图。
[0016]附图2是曝光机预对位单元真空管路的结构示意图。
[0017]附图中1是真空管路、2是pin真空管路、3是平台真空管路、4是机器手臂、5是压力调节阀、6是支路压力调节阀。
具体实施方式
[0018]下面结合附图对本技术技术方案做进一步解释说明。
[0019]对照附图1，现有技术方案提供的真空管路1从工厂动力直接供给真空后，分开供给机器手臂4与预对位平台，两个平台的真空无法准确控制。整个PA单元由工厂动力供给后直接使用，PA单元中的每个单元无法保证真空分压均衡而导致真空压力过大或过小而产生异常或者破片发生，从而影响设备生产。
[0020]对照附图2，曝光机预对位单元真空管路，其结构包括真空管路1、曝光机、机器手臂4、压力调节阀5；所述曝光机设有两个预对位平台，每个预对位平台上分别配有机器手臂4；所述预对位平台内部设有pin真空管路2、平台真空管路3；所述pin真空管路2、平台真空管路3交错叠放，气孔均匀排布在预对位平台表面，平衡各位置压力。
[0021]所述真空管路1分成两条支路，每条支路分别连接一个预对位平台以及与其匹配的机器手臂4，真空管路1与支路之间设有压力调节阀5，所述真空管路支路与预对位平台连接处设有支路压力调节阀6；支路压力调节阀6设置在平台真空管路3支路。
[0022]以上所述，仅为本技术较佳的具体实施方式，但本技术的保护范围并不局限于此，任何熟悉本
的技术人员在本技术揭露的技术范围内，根据本技术的技术方案及其技术构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本技术的保护范围之内。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.曝光机预对位单元真空管路，其特征在于结构包括真空管路（1）、曝光机、机器手臂（4）、压力调节阀（5）；所述曝光机设有两个预对位平台，每个预对位平台上分别配有机器手臂（4）；所述真空管路（1）分成两条支路，每条支路分别连接一个预对位平台以及与其匹配的机器手臂（4），真空管路（1）与支路之间设有压力调节阀（5）。2.根据权利要求1所述的曝光机预对位单元真空管路，其特征在于所述真空管路支路与预对位平台连接处设有支路压力调节阀（6）。3.根据权利要求1所述的曝光机预对位单元真空管路，其特征在于所述预对位平台内部设有pin真空管路（2）、平台真空管路（3）。4.根据权...

【专利技术属性】
技术研发人员：肖林峰，徐飞，张国曦，李海丽，
申请(专利权)人：南京中电熊猫液晶材料科技有限公司，
类型：新型
国别省市：