曝光玻璃快装结构制造技术

本发明专利技术提供了一种曝光玻璃快装结构，位于支撑架与曝光玻璃之间以将曝光玻璃固定于支撑架上。包括位于支撑架上的安装板以及设置于安装板上的第一密封组件和固定组件，安装板上开设有安装槽和密封槽，安装槽用于吸附安装曝光玻璃，密封槽用于安装第一密封组件，安装槽和密封槽之间还设置有用于安装固定组件的安装部，固定组件包括气囊、固定条和弹片，气囊位于固定条内，弹片位于气囊和曝光玻璃之间，气囊通气以使气囊的一端凸伸出固定条外并挤压弹片，以使弹片抵接于曝光玻璃并将曝光玻璃固定于安装槽内；或者气囊排气以收缩进固定条内，以能释锁曝光玻璃。本发明专利技术的曝光玻璃快装结构，拆装方便，结构简单，且使得曝光玻璃的安装更加安全。装更加安全。装更加安全。

【技术实现步骤摘要】
曝光玻璃快装结构


[0001]本专利技术涉及曝光机
，尤其涉及一种曝光玻璃快装结构。

技术介绍

[0002]曝光机广泛应用于半导体、微电子、生物器件和纳米科技等
在曝光机中一般包括上下两块曝光玻璃，两块玻璃分别通过不同的框架安装于曝光机上。在现有技术中，一般是在玻璃上打孔然后通过螺钉固定于框架上，或者是直接通过胶水将玻璃粘贴于框架上。在玻璃上打孔容易损坏玻璃，而且通过螺钉固定拆装需要一定的时间，效率低；而通过胶水固定，拆装麻烦；螺钉安装和胶水固定均给曝光玻璃的安装维修带来了一定不便性。
[0003]因此，有必要提供一种能够快速拆装且安全可靠的曝光玻璃快装结构。

技术实现思路

[0004]本专利技术的目的在于提供一种能够快速拆装且安全可靠的曝光玻璃快装结构。
[0005]为实现上述目的，本专利技术提供了一种曝光玻璃快装结构，位于支撑架与曝光玻璃之间以将曝光玻璃固定于支撑架上。包括位于支撑架上的安装板以及设置于安装板上的第一密封组件和固定组件，安装板上开设有安装槽和密封槽，安装槽用于吸附安装曝光玻璃，密封槽用于安装第一密封组件，安装槽和密封槽之间还设置有用于安装固定组件的安装部，固定组件包括气囊、固定条和弹片，气囊位于固定条内，弹片位于气囊和曝光玻璃之间，气囊通气以使气囊的一端凸伸出固定条外并挤压弹片，以使弹片抵接于曝光玻璃并将曝光玻璃固定于安装槽内；或者气囊排气以收缩进固定条内，以能释锁曝光玻璃。
[0006]较佳地，弹片包括位于固定条内的第一端部以及位于固定条外的第二端部，气囊位于固定条和弹片之间；气囊通气以挤压弹片，以使第二端部弹性活动并抵接于曝光玻璃，以将曝光玻璃锁定于安装槽内。
[0007]较佳地，第一端部与第二端部呈一体结构的L型。
[0008]较佳地，固定条内设置有与弹片配合的卡接部，第一端部伸入固定条内并置于气囊的下方且第一端部的一端位于卡接部内；借由第一端部与卡接部的配合，以免气囊通气挤压第二端部时弹片脱离气囊。
[0009]较佳地，固定条上开设有用于容置气囊的容置腔，容置腔呈与弹片配合的L型，安装板上于安装部的两侧还设置有固定块，气囊位于容置腔内且两端能与固定块接触，以使气囊仅能朝靠近曝光玻璃的方向活动。
[0010]较佳地，气囊底部设置有通气件，借由通气件以对气囊进行充气；弹片上开设有与通气件配合的避让部。
[0011]较佳地，固定条上设置有多个与安装部配合的固定部，借由固定部与安装部的配合以使固定条稳固的安装于安装板上。
[0012]较佳地，曝光玻璃与固定组件配合的面按预设角度倾斜设置。
[0013]较佳地，曝光玻璃的各侧边均设置有固定组件。
[0014]较佳地，曝光玻璃快装结构还包括第二密封组件，安装槽内还设置有用于安装第二密封组件的槽体，借由第二密封组件安装于槽体内以加固曝光玻璃在安装槽内的安装。
[0015]与现有技术相比，本专利技术的曝光玻璃快装结构，位于支撑架与曝光玻璃之间,用于将曝光玻璃固定于支撑架上。曝光玻璃快装结构包括位于支撑架上的安装板以及设置于安装板上的第一密封组件和固定组件。其中，安装板上开设有安装槽和密封槽，安装槽用于安装曝光玻璃，密封槽用于安装第一密封组件，以使整体的结构配合更加紧密合理。安装槽和密封槽之间还设置有用于安装固定组件的安装部，具体地，固定组件包括气囊、固定条和弹片。气囊位于固定条内，弹片位于气囊和曝光玻璃之间，气囊通气以使气囊的一端凸伸出固定条外并挤压弹片，以使弹片抵接于曝光玻璃并将曝光玻璃固定于安装槽内。或者，气囊排气以收缩进固定条内，从而能释锁曝光玻璃。本专利技术的曝光玻璃快装结构，将曝光玻璃放置于安装槽内，通过对固定组件的气囊充气，使得气囊的一端凸伸出固定条外并挤压弹片以使弹片抵接于曝光玻璃，曝光玻璃的端部倾斜设置以能更好的与弹片配合，通过弹片的抵接按压以将曝光玻璃固定于安装槽内，气囊放气即可释锁曝光玻璃，安装和拆卸均简单便捷。本专利技术的曝光玻璃快装结构，能够快速的安装固定曝光玻璃，亦能快速的对曝光玻璃进行拆卸，结构简单，安装稳固，且使得曝光玻璃的安装更加安全可靠。
附图说明
[0016]为了更清楚地说明本专利技术实施例技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本专利技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0017]图1是本专利技术一实施例提供的曝光玻璃快装结构的结构示意图。
[0018]图2是图1中安装板的结构示意图。
[0019]图3是图2中A处的放大图。
[0020]图4是图1中固定组件的结构示意图。
[0021]图5是图4一方向上的剖视图。
[0022]图6是图4中固定条的结构示意图。
[0023]图7是图6中B处的放大图。
[0024]图8是图4中弹片的结构示意图。
[0025]图9是图1中曝光玻璃的结构示意图。
[0026]图10是图9中C处的放大图。
[0027]附图标记说明：
[0028]100、曝光玻璃快装结构；101、支撑架；102、曝光玻璃；1021、倾斜部；
[0029]10、安装板；11、安装部；111、安装孔；12、固定块；13、密封槽；14、安装槽；141、通气孔；15、槽体；
[0030]20、固定组件；21、固定条；211、固定部；212、容置腔；213、卡接部；22、气囊；221、充气内腔；222、通气件；23、弹片；231、第一端部；232、第二端部；233、避让部；
[0031]30、第一密封组件；
[0032]40、第二密封组件。
具体实施方式
[0033]为了详细说明本专利技术的
技术实现思路
、构造特征，以下结合实施方式并配合附图作进一步说明。
[0034]请参阅图1至图4，本专利技术提供了一种曝光玻璃快装结构100，位于支撑架101与曝光玻璃102之间，曝光玻璃快装结构100用于将曝光玻璃102快速安全的固定于支撑架101上。曝光玻璃快装结构100包括位于支撑架101上的安装板10以及设置于安装板10上的第一密封组件30和固定组件20。其中，在安装板10上开设有安装槽14和密封槽13。安装槽14用于吸附安装曝光玻璃102，安装槽14内设置有连通于吸真空装置的通气孔141，通气孔141通真空以能吸附曝光玻璃102，从而使得曝光玻璃稳固的设置于安装槽14内。密封槽13用于安装第一密封组件30，安装槽14和密封槽13之间还设置有用于安装固定组件20的安装部11。具体地，固定组件20包括气囊22、固定条21和弹片23，气囊22位于固定条21内，弹片23位于气囊22和曝光玻璃102之间，气囊22通气以使气囊22的一端凸伸出固定条21外并挤压弹片23，以使弹片23抵接于曝光玻璃102并将曝光玻璃102固定于安装槽14内。或者是气囊22排气以收缩进固定条21内，以能释锁曝光玻璃102。可以理解本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种曝光玻璃快装结构，位于支撑架与曝光玻璃之间以将所述曝光玻璃固定于所述支撑架上，其特征在于，包括位于所述支撑架上的安装板以及设置于所述安装板上的第一密封组件和固定组件，所述安装板上开设有安装槽和密封槽，所述安装槽用于吸附安装所述曝光玻璃，所述密封槽用于安装所述第一密封组件，所述安装槽和所述密封槽之间还设置有用于安装所述固定组件的安装部，所述固定组件包括气囊、固定条和弹片，所述气囊位于所述固定条内，所述弹片位于所述气囊和所述曝光玻璃之间，所述气囊通气以使所述气囊的一端凸伸出所述固定条外并挤压所述弹片，以使所述弹片抵接于所述曝光玻璃并将所述曝光玻璃固定于所述安装槽内；或者所述气囊排气以收缩进所述固定条内，以能释锁所述曝光玻璃。2.根据权利要求1所述的曝光玻璃快装结构，其特征在于，所述弹片包括位于所述固定条内的第一端部以及位于所述固定条外的第二端部，所述气囊位于所述固定条和所述弹片之间；所述气囊通气以挤压所述弹片，以使所述第二端部弹性活动并抵接于所述曝光玻璃，以将所述曝光玻璃锁定于所述安装槽内。3.根据权利要求2所述的曝光玻璃快装结构，其特征在于，所述第一端部与所述第二端部呈一体结构的L型。4.根据权利要求2所述的曝光玻璃快装结构，其特征在于，所述固定条内设置有与所述弹片配合的卡接部，所述第一端部伸入所述固定条内并置于所述气囊的下方且所述第一端部...

【专利技术属性】
技术研发人员：倪沁心，陈铁玉，陈建明，梁添贵，
申请(专利权)人：广东华恒智能科技有限公司，
类型：发明
国别省市：