多值只读存储器盘的冲压器的制造方法及其制造设备和所制造的盘技术

本发明专利技术提供了一种廉价有效地制造用于制造多值ＲＯＭ盘的冲压器的方法，其包括：（ｉ）向层压体上照射光，由此在热反应层内形成反应部分，（ｉｉ）保留所述热反应层内通过所述光照射形成的所述反应部分，（ｉｉｉ）保留位于所述反应部分之下的光吸收层，（ｉｖ）保留位于所述反应部分之下的衬底，并且（ｖ）去除所述保留的光吸收层和所述保留的热反应层，其中，所述层压体包括位于所述衬底上的所述光吸收层和所述热反应层，所述光吸收层和所述热反应层相邻设置。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及用于制造多值只读存储器(ROM)盘的冲压器(stamper)的制造方法，用于制造多值ROM盘的冲压器的制造设备，以及所得到的多值ROM盘。
技术介绍
在光盘中，通常通过各种手段向螺旋或同心轨道(track)内记录二值数据；例如，通过对ROM盘进行压纹(emboss)处理而形成凹凸坑，在可记录盘的无机或有机记录隔膜(membrane)内形成微孔，以及在相变盘内形成不同的结晶相。当从光盘重新生成所记录的数据时，向轨道照射激光束，探测所反射的光的强度，获得重新生成的信号。由重新生成的信号生成二值数据，例如，所述二值数据是通过某一阈值判决得到的。通常，通过将冲压器的凹凸坑转移到树脂板上而廉价地批量生成诸如CD、CD-ROM和DVD-ROM的ROM盘。通常通过，例如，在玻璃衬底上形成抗蚀剂图案，向衬底上照射激光束以形成潜在图像，并对潜在图像显影而制造冲压器的凹凸坑。此外，通常通过将用于跟踪等的导槽转移到树脂板上来制造诸如CD-R、CD-RW、DVD-R和DVD+RW的可记录盘或相变盘，在所述树脂板上涂覆着诸如无机或有机记录隔膜的记录材料，并通过诸如CD-R驱动器的读写装置记录本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种制造冲压器的方法，包括：向层压体上照射光，在所述照射作用下引起反应，以及形成所述冲压器的图案，其中，所述层压体包括位于衬底上的光吸收层和热反应层，所述光吸收层和所述热反应层相邻设置，在所述热反应层 内诱发反应，从而生成由所述热反应层的反应部分构成的图案，利用由所述反应部分构成的所述图案形成所述冲压器的所述图案，以及所述冲压器用于多值只读存储器盘的制造。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】JP 2004-5-18 148452/20041.一种制造冲压器的方法，包括向层压体上照射光，在所述照射作用下引起反应，以及形成所述冲压器的图案，其中，所述层压体包括位于衬底上的光吸收层和热反应层，所述光吸收层和所述热反应层相邻设置，在所述热反应层内诱发反应，从而生成由所述热反应层的反应部分构成的图案，利用由所述反应部分构成的所述图案形成所述冲压器的所述图案，以及所述冲压器用于多值只读存储器盘的制造。2.根据权利要求1所述的制造冲压器的方法，其中，通过显影形成所述冲压器的所述图案，所述显影利用了所述热反应层的所述反应部分和未反应部分之间的蚀刻速率差。3.一种制造冲压器的方法，包括(i)向层压体上照射光，由此在热反应层内形成反应部分，(ii)保留所述热反应层内通过所述光照射形成的所述反应部分，(iii)保留位于所述反应部分之下的光吸收层，(iv)保留位于所述反应部分之下的衬底，以及(v)去除所述保留的光吸收层和所述保留的热反应层，其中，所述层压体包括位于所述衬底上的所述光吸收层和所述热反应层，所述光吸收层和所述热反应层相邻设置，所述冲压器用于多值只读存储器盘的制造。4.根据权利要求1到3中的一项所述的制造冲压器的方法，其中，所述光为激光束。5.根据权利要求4所述的制造冲压器的方法，其中，所述激光束的激光源为半...

【专利技术属性】
技术研发人员：花冈克成，三浦博，
申请(专利权)人：株式会社理光，
类型：发明
国别省市：JP[日本]