用于涂覆光学数据载体的片状衬底的装置和方法制造方法及图纸

为了在涂覆用于光学数据载体的片状衬底时在较低的装置费用下实现更多的灵活性，本发明专利技术提供了一种在真空输送腔中的带有１至ｎ个输入／输出口和２至ｎ个涂覆口的涂覆装置。一些其数量对应于涂覆口的数量的阴极溅射装置设置在真空输送腔的壁中。该装置可以平行地为两个至ｎ个衬底提供大体上相同的覆层或者也可以是不同的覆层。此外它能够在串联运行中为衬垫提供两个至ｎ个覆层。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种用于涂覆光学数据栽体的片状衬底的装置和方法。在制造光学数据载体，如例如CD, DVD， Blu-ray (蓝光)和它 们各自的下级格式(Unterfomaten)时，需要在载体衬底上施加反射覆层。依据要形成的光学数据载体的不同情况，可能需要将一个覆层施加 到一个单一的栽体衬底上(单层格式)或者将两个由通常不同的材料或材料组分构成的覆层施加到两个不同的栽体衬底上(双层格式)。对于 未来还可以考虑将两个或更多个由可能是不同的材料构成的覆层施加 到栽体衬底上。涂覆一般通过阴极溅镀装置实施，其中由涂覆材料构成的靶子被溅 射，以涂覆载体衬底。此时涂覆总是在真空中实施的。中为了制造双层格式:用了两个;独的;覆装置二有单独的i;腔、输送腔和阴极賊射腔。此时的缺点是需要相对较大数量的阴极溅镀装置，特 别是对于双层格式而言，它们需要自己的带有相应的输送单元的闸腔和 输送腔。因此，从已知的涂覆装置出发，本专利技术的任务是，提出一种用于涂 覆光学数据载体的片状衬底的装置和方法，它能够以简单的和成本有利 的方式实现衬底的涂覆，特别是平行地涂覆用于双层格式的单独的衬 底。按照本专利技术本文档来自技高网...

【技术保护点】
用于涂覆光学数据载体的片状衬底的装置，其包括以下部分：构成真空腔的外壳，其中外壳具有至少两个涂覆口和至少一个输入／输出口，其中至少两个衬底可以同时通过输入／输出口装入真空腔中或从真空腔中卸出；至少两个阴极溅射装置，其中每个阴极溅射装置从外部真空密封地封闭外壳的涂覆口中的一个涂覆口，和其中阴极溅射装置各具有一个要溅射的靶子；布置在真空腔内的输送装置，其用于在至少一个输入／输出口和涂覆口之间同时输送至少四个衬底；和控制单元，其用于依据要求的涂覆结果这样地控制输送装置，使得衬底从至少一个输入／输出口按顺序地输送到第一涂覆口、第二涂覆口和接着输送到至少一个输入／输出口（串联控制）或这样地，使得衬底从至...

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】DE 2005-4-26 102005019383.81.用于涂覆光学数据载体的片状衬底的装置，其包括以下部分构成真空腔的外壳，其中外壳具有至少两个涂覆口和至少一个输入/输出口，其中至少两个衬底可以同时通过输入/输出口装入真空腔中或从真空腔中卸出；至少两个阴极溅射装置，其中每个阴极溅射装置从外部真空密封地封闭外壳的涂覆口中的一个涂覆口，和其中阴极溅射装置各具有一个要溅射的靶子；布置在真空腔内的输送装置，其用于在至少一个输入/输出口和涂覆口之间同时输送至少四个衬底；和控制单元，其用于依据要求的涂覆结果这样地控制输送装置，使得衬底从至少一个输入/输出口按顺序地输送到第一涂覆口、第二涂覆口和接着输送到至少一个输入/输出口(串联控制)或这样地，使得衬底从至少一个输入/输出口输送到一个涂覆口和接着直接地输送到至少一个输入/输出口(并联控制)。2. 用于涂覆光学数据载体的片状衬底的装置，其包括以下部分 构成真空腔的外壳，其中外壳具有至少两个涂覆口和至少一个输入/输出口 ；至少两个阴极溅射装置，其中每个阴极溅射装置从外部真空密封地 封闭外壳的涂覆口中的一个涂覆口 ，其中阴极溅射装置各具有一个要溅 射的靶子；布置在真空腔内的输送装置，其用于在至少一个输入/输出口和涂覆 口之间同时输送至少两个衬底。3. 按照权利要求1或2所述的装置，其特征在于，输入/输出口和 涂覆口在外壳的一个共同的壁中构成。4. 按照前述权利要求中之一所述的装置，其特征在于，至少两个阴 极'减射装置具有带不同的材料的靶子。5. 按照前述...

【专利技术属性】
技术研发人员：C韦因德尔，W卢克豪布，
申请(专利权)人：施蒂格哈马技术股份公司，
类型：发明
国别省市：DE[德国]