一种给基片涂膜的装置，该装置设有一毛细狭缝，用于给基片涂胶的第一步。在第二步，减薄基片的胶层厚度，在旋涂装置内靠旋转使膜更均匀。

本发明涉及一种利用具有毛细缝隙（１３，１４）的部件（１２）对基体（２９）进行涂漆或涂膜的装置，它配有一个盛漆或盛涂膜液的容器（１０），在该容器中如此安置部件（１２），使得毛细缝隙（１３，１４）浸没有漆或涂膜液中，而且漆或涂膜液可以从该容...

运送基片（７）通过基片处理装置（１１）用的装置，所配的一条底输送带（２）和两条侧输送带（４，６）各自都具有用于垂直容纳基片（７）的凹槽，因此该装置的构造特别简单而灵活。

一种用于固定各有一个内孔的基片的装置，带有一个可引入到所述内孔中的元件。所述装置还有一个可轴向移动的内构件（３０），其中外构件通过这些构件的相对运动可扩张。

为了对于带有夹具（１０）的衬底升降机构（２）实现尽可能简单地心轴转换，夹具这样构成，通过旋转或摆动夹具本身可以与衬底支架（２５）啮合。

本发明涉及衬底热处理的一种方法和一种装置，其中衬底通过加热板加热，这样实现改善热均匀性，即应用可以单独控制的许多加热元件加热加热板，测量加热元件的温度，并且由ＰＩＤ调节器控制加热过程。此外，地点分辨地量测背离加热板的衬底表面的温度，根据...

当输送装置（３；３ａ；３ｂ）设置在至少两个工站（６Ａ－６Ｄ；７Ａ－７Ｄ；８０Ａ－Ｈ）之间且至少这一个搬运装置（４，５；４ａ）被设置在输送装置（３；３ａ；３ｂ）的上方时，一种具有一个直线输送基片的输送装置（３；３ａ；３ｂ）和至少一个可转动...

为了提高在待处理基板表面上的温度均匀性，提出了一种基板的热处理方法，其中基板通过多个可独立控制的加热件被加热并且分别为这些加热件拟定一个额定值剖面，该方法具有以下步骤：在热处理过程中定位分辨地测量该基板的背对所述加热件的那一面的温度；分...

为了简单而经济地清洁基片的边缘区域、尤其适用于清洁非圆形的基片，提供清洁基片尤其是光掩膜和／或半导体晶片边缘的装置和方法。该装置具有至少一个带有至少一个介质供给喷嘴和至少一个介质抽吸孔的清洁头，其中清洁头具有一个主体以及至少一个第一凸缘...

本发明涉及基片热处理的方法和装置，其中基片保持与加热板接触或与之相距很近，加热板由在其背离基片的一侧上的多个单独可控的加热元件加热。所述加热板至少在其平面上被一个与其有一定距离的框架包围，以便通过所述框架和所述加热板的至少一个边缘之间的...

本发明涉及一种对基片进行处理的方法，具有以下方法步骤：通过喷嘴单元在有待处理的基片的局部表面区域上形成液膜，其中该喷嘴单元具有至少一个纵向伸展的喷嘴装置以及与该喷嘴装置相邻布置的超声波换能器装置或者说兆赫声波换能器装置；使所述超声波转换...

本发明涉及一种把具有一个内孔的衬底（３，４）拼接成一个衬底圆盘的装置，该装置以简单而廉价的方式保证了粘接过程中两个衬底（３，４）的同时旋转，并具有一个可引入至少两个叠置的衬底（３，４）的内孔中的元件，该元件可以膨胀，以便封闭衬底之间的间...

将两个基片（３，６）胶合成一个基片圆盘（２３）用的方法，按此方法将一种胶合剂涂敷在一个第一基片（３，６）的一个待胶合的面上，并将一个第二基片（６，３）以它的待胶合的面放置在第一基片（３，６）上，可实现基片特别良好的、均一的和快速的胶合，...

对于所提出的通过紫外线照射干燥基片盘（３）的设备，其中在照射过程期间，一个玻璃板（１１）放置在基片盘（３）上利用简单的技术手段和采用简单的设备操作，通过一个升降的上部（６）得到或自行得到低废品率和成品基片盘的高品质，上部要落到放置在下部...

本发明涉及对于在一片基片上经过涂布形成一层涂层用的涂布工序进行调节的一种方法，采用可靠、简单、可监控的测定方法，测定照射在涂层基片上的光束经过透射之后的强度，以此作为调节涂层厚度之用。

本发明涉及由两个相连的基底（１，２）组成的基底盘，其具有一中心孔（３）。本发明的基底盘质量尤其好，并能用简单的装置生产。按照本发明，形成盘的一个基底（１，２）在其中心孔的边缘至少具有一凸起（５），所述凸起从基底面（６）伸出。

将两个基片（３，６）胶合成一个基片圆盘（２３）用的方法，按此方法将一种胶合剂涂敷在一个第一基片（３，６）的一个待胶合的面上，并将一个第二基片（６，３）以它的待胶合的面放置在第一基片（３，６）上，可实现基片特别良好的、均一的和快速的胶合，...

本发明的目的是提出一种连接基片（２、３）的简单和价廉的装置，该装置可达到可靠、精确和废品率低的基片连接。为此，本发明提出了一种带有一个配合基片内孔的销子的装置来连接至少两个分别具有一个内孔的基片（２、３），该销子（５）具有至少两个可朝该...

为了能够实现用两片粘在一起的基板（６，１０）简单且成本低廉地制造高品质的数据载体，本发明提出了一种装置和方法，其中把两面都有粘性的粘膜（２５）涂覆到第一基板（６）上，对准基板并且随后接合基板，其中粘膜（２５）通过一个自身转动的压紧辊（３...

为了获得一种简单而经济的为光学可读数据载体涂层的方法，提供了一种光学可读数据载体的涂层方法和一种装置，其中首先将一个单面粘性的透明粘合薄膜涂于数据载体的待保护表面上，接着将一覆盖膜涂到该粘合薄膜上。此外提供了一种光学可读数据载体，其记载...