【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种带有夹具的衬底升降机构。例如在制造片状衬底、如CD或DVD衬底的时候使用这种形式的升降机构，以便将衬底按照高度输送到心轴上。对于这种形式的机构通常在旋转台上存在多个用于容纳衬底的心轴。每个心轴具有所谓的围绕心轴的间隔体，在间隔体上分别放置片状衬底。在心轴的工作位置升降机构的夹具通过整个升降机构的侧向运动与间隔体啮合。在这个啮合位置间隔体可以通过升降机构而升高或下降，而这取决于，是将衬底堆放在心轴和间隔体上还是从心轴和间隔体上取下衬底。为了将接纳或取出衬底的另一个心轴送到工作位置必需首先将升降机构从与夹具处于啮合的心轴或间隔体上移开。接着将另一个心轴移到工作位置，再将升降机构移回到啮合位置。在此一个装置用于升降机构以及传感器的侧向移动，传感器能够感触到升降机构的侧向位置，由此提高升降机构的不易受干扰性。此外由于升降机构的侧向移动需要大的安装空间。由US-A2 919 010一种升降机构为公众所知，其中一个支撑夹具的杆件通过传动装置移动到与接纳衬底的、例如活塞接触。在此夹具直接卡住衬底，在此尤其是对于敏感的衬底可能产生衬底损伤。为了将衬底送到升...
【技术保护点】
用于衬底的升降机构（２），带有一个夹具（１０），其特征为，通过旋转或摆动夹具（１０）本身可以与衬底支架（２５）啮合，通过衬底支架（２５）的运动起到使夹具（１０）旋转或摆动的作用。
【技术特征摘要】
DE 1999-1-21 19902338.71.用于衬底的升降机构(2)，带有一个夹具(10)，其特征为，通过旋转或摆动夹具(10)本身可以与衬底支架(25)啮合，通过衬底支架(25)的运动起到使夹具(10)旋转或摆动的作用。2.如权利要求1所述的升降机构(2)，其特征为，夹具(10)可以围绕中心轴线旋转。3.如权利要求1所述的升降机构(2)，其特征为，夹具(10)可以围绕一摆动点摆动。4.如上述任一项权利要求所述的升降机构(2)，其特征为，夹具(10)可以预固定在静止位置。5.如权利要求4所述的升降机构(2)，其特征为，夹具(10)可以通过至少...
【专利技术属性】
技术研发人员：P阿本舍恩，S赫尔曼，
申请(专利权)人：施蒂格哈马技术股份公司，
类型：发明
国别省市：DE[德国]
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