固定基片的装置制造方法及图纸

一种用于固定各有一个内孔的基片的装置，带有一个可引入到所述内孔中的元件。所述装置还有一个可轴向移动的内构件（３０），其中外构件通过这些构件的相对运动可扩张。（*该技术在2019年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种用于固定各有一个内孔的基片的装置，带有一个外壳和一个装在外壳内可嵌入内孔中的元件。这种装置例如可用在基片的粘贴装置等不同场合，如在同样属于本申请的申请人的、尚未公开的DE-A-197 18 471中所述。特别是，根据本专利技术的装置可适用于基片的干燥装置中，如在同样属于本申请的申请人的、尚未公开的DE 197 21 689中所述。为了避免重复，上述申请的内容也作为本申请的内容。在目前的装置中，基片分别放在一个支架上以经过某些工序，例如粘贴两个基片或者干燥基片。这里支承面不为待处理基片提供任何固定，使得基片尤其是两个相互粘贴的基片会出现滑动。这又影响到处理过程，导致被处理的基片质量变差。DE-A-196 44 158公开了一种抓取带有一个贯通开口的物体的装置。该装置具有一个夹子12，该夹子12由一个基体4、一个可在基体4内移动的挺杆9和布置在基体4内的球体6组成，所述球体通过挺杆在基体内部的轴向移动可以经过基体4的外周向外滑动。DE-A-196 18 278公开了一种夹紧装置用于拉伸和夹紧一个工具柄，该工具柄在容纳一传动轴的装置内有空心锥柄。在该装置中，用于固定本文档来自技高网...

【技术保护点】
用于固定各有一个内孔的基片（８）的装置（１），带有一个外壳（１５；４５）和一个装在外壳内可嵌入内孔中的元件，其特征在于，该元件具有一个可相对外壳（１５，４５）轴向移动的外构件（２０；４９）和一个可相对外壳（１５；４５）轴向移动的内构件（３０；５８），其中外构件（２０；４９）可通过构件（２０，３０；４９，５８）的相对运动扩张。

【技术特征摘要】
DE 1998-4-24 19818478.61．用于固定各有一个内孔的基片(8)的装置(1)，带有一个外壳(15；45)和一个装在外壳内可嵌入内孔中的元件，其特征在于，该元件具有一个可相对外壳(15,45)轴向移动的外构件(20；49)和一个可相对外壳(15；45)轴向移动的内构件(30；58)，其中外构件(20；49)可通过构件(20,30；49,58)的相对运动扩张。2．根据权利要求1所述的装置(1)，其特征在于，外构件和/或内构件(20,30；49,58)是圆柱形的。3．根据前述权利要求之一所述的装置(1)，其特征在于，外构件(20；49)在一端部(21)具有狭缝(23)。4．根据前述权利要求之一所述的装置(1)，其特征在于，外构件(20；49)可弹性扩张。5．根据前述权利要求之一所述的装置(1)，其特征在于，外构件(20；49)在狭缝(23)部位有一个逐渐变细的内径(24；55)。6．根据前述权利要求之一所述的装置(1)，其特征在于，外构件(20；49)通过一个偏压装置(27；65)可轴向偏压。7．根据前述权利要求之一所述的装置(1)，其特征在于，偏压装置(27；65)是一弹簧。8．根据前述权利要求之一所述的装置(1)，其特征在于，内构件(30；58)在外圆周上有一个斜面(39；68)。9．根据前述权利要求之一所述的装置(1)，其特征在于，内构件(30；58)外圆周上的斜面(39；68)与外构件(20；49)的逐渐...

【专利技术属性】
技术研发人员：L登兹勒尔，U斯佩尔，K维贝尔，
申请(专利权)人：施蒂格哈马技术股份公司，
类型：发明
国别省市：DE[德国]