固定基片的装置制造方法及图纸

一种用于固定各有一个内孔的基片的装置，带有一个可引入到所述内孔中的元件。所述装置还有一个可轴向移动的内构件（３０），其中外构件通过这些构件的相对运动可扩张。（*该技术在2019年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种用于固定各有一个内孔的基片的装置，带有一个外壳和一个装在外壳内可嵌入内孔中的元件。这种装置例如可用在基片的粘贴装置等不同场合，如在同样属于本申请的申请人的、尚未公开的DE-A-197 18 471中所述。特别是，根据本专利技术的装置可适用于基片的干燥装置中，如在同样属于本申请的申请人的、尚未公开的DE 197 21 689中所述。为了避免重复，上述申请的内容也作为本申请的内容。在目前的装置中，基片分别放在一个支架上以经过某些工序，例如粘贴两个基片或者干燥基片。这里支承面不为待处理基片提供任何固定，使得基片尤其是两个相互粘贴的基片会出现滑动。这又影响到处理过程，导致被处理的基片质量变差。DE-A-196 44 158公开了一种抓取带有一个贯通开口的物体的装置。该装置具有一个夹子12，该夹子12由一个基体4、一个可在基体4内移动的挺杆9和布置在基体4内的球体6组成，所述球体通过挺杆在基体内部的轴向移动可以经过基体4的外周向外滑动。DE-A-196 18 278公开了一种夹紧装置用于拉伸和夹紧一个工具柄，该工具柄在容纳一传动轴的装置内有空心锥柄。在该装置中，用于固定工具柄的夹紧爪通过一个可相对夹紧爪位移的张紧装置撑开。出版物“o+p-lhydraulik und pneumatik-22(1978)Nr.1”第10页中公开了一种内孔夹，该内孔夹通过气动扩张导入基片内孔的元件而固定基片。另外DE-A-195 29 537中给出了一种如权利要求1前序部分所述的装置。因此本专利技术的任务是，提供一种如开头所述类型的用于固定各有一个内孔的基片的装置，该装置以简单的技术措施在装置操作简单的情况下使基片的固定良好，以便获得更低的废品率和更好的成品基片质量。根据本专利技术，所述任务是这样实现的，即导入内孔的元件具有一个可相对外壳轴向移动的外构件和一个可相对外壳轴向移动的内构件，其中外构件通过这些构件的相对运动可扩张。通过外构件在基片内孔内的扩张，基片一方面得以固定并相对外构件对中。此时尤其在相互粘贴的尚未干燥的基片中还会产生两个基片的良好相互对中。由于不仅内构件而且外构件都可相对外壳轴向移动，因此可以很简单地使这些构件导入和移出基片内孔。有利的是，外构件和/或内构件呈圆柱形，以获得简单的构型，并且可靠地与基片内孔或者说基片相啮合。为了以简单方式获得外构件的可扩张性，在外构件的端部开有狭缝。最好外构件可弹性扩张，就是说，其能够在扩张之后弹性回复到未扩张状态，从而释放与基片的啮合。根据本专利技术的一种实施形式，外构件在狭缝处内径逐渐变细，通过该内径在构件相对运动时实现可扩张性。最好外构件通过一个偏压装置可轴向偏压，使其偏压到某一轴向位置，在该位置外构件位于基片内孔中。作为特别合适的偏压装置是弹簧。根据一种优选实施形式，内构件在外周上具有一个斜面，该斜面最好与外构件逐渐变细的内径互补，以便在构件相对运动时尽可能无阻力地扩张外构件。该内构件最好通过一个张紧装置可轴向偏压到一个扩张外构件的位置，使内构件很容易到达这样一个位置，在该位置内构件扩张外构件。这里偏压装置最好是弹簧。为了保证在从外面加到装置上的压力下在外构件移动之前首先结束其扩张，内构件的偏压装置的弹簧常数比外构件的弹簧常数小。最好外构件具有一个用于内外构件偏压装置的支承面。根据本专利技术的另一种实施形式，内外构件通过一个共同的偏压装置可轴向偏压，该偏压装置最好是一弹簧。由于使用共同的偏压装置，可以减少构成装置的零部件的数目。为了限制构件间的相对运动，并且避免构件的相互分开，外构件在不可扩张的端部在内圆周上具有一个肩部。最好内构件具有一个从外构件伸出的凸起，以便以简单方式通过作用在该凸起上压力而在构件间产生相对运动。根据本专利技术的另一种优选实施形式，容纳可动的内外构件的外壳是固定的，以形成一个固定的容纳装置。为了使固定的基片得到更好的夹持，该外壳最好有一个基片支承面。最好外壳在一端有一个底壁，为偏压外构件和/或内构件的偏压装置形成相对面。下面借助优选实施例参考附图详细说明本专利技术。图示为附图说明图1根据本专利技术的固定装置处于扩张状态时的示意图，如应用在干燥装置中时；图2图1所示根据本专利技术的固定装置处于非扩张状态的示意图，其中为简明起见省略了干燥装置的部件；图3图1所示根据本专利技术的固定装置处于非扩张状态缩回位置时的示意图，其中也省略了干燥装置的零部件；图4a和b根据本专利技术的装置的示意俯视图，以及本专利技术固定装置的外壳和外构件的截面视图；图5本专利技术固定装置的另一种实施例的放大示意图。图1示出了根据本专利技术的固定装置1的示意图，如其应用在一个一至少部分示出了的一用于半导体基片2的干燥装置内的情况。图1示出的干燥装置2可以是在尚未预先公开的同属于本申请人的DE 197721 689中所述的结构。为了避免重复，这里将该申请的内容也作为本申请的内容。干燥装置具有一个下部4和一个未示出的上部。该下部4有一个带有一支承玻璃面板6的支承盘5，一基片盘8放在该支承盘上。该支承盘5通过辊子9和10可转动，同时在其位置内导向。尽管图1中只示出了两个辊子9和10，但干燥装置通常有三个相互以120°间隔均匀布置的辊子。下部4还有一个中间导向件12，用于接收根据本专利技术的固定装置1。如图2中可清楚地看出，固定装置1有一个固定不动的、装纳在导向件12中的外壳15。该外壳15具有空心圆柱形状，在外壳的上端有一个环形法兰16。该环形法兰16向外伸出超过圆柱形外壳的外周，并在上侧形成基片支承面17。在圆柱形外壳15内部，同心地布置有一个可移动装纳的外构件20，其有一个可扩张的上端部分21和一个不可扩张的部分22。该外构件20也是空心圆柱形，其内圆周24在可扩张部分21的部位向上逐渐变细。在可扩张的端部分21部位，开有三个狭缝23，如图4中可清楚地看出。外构件的不可扩张部分22在其下端借助一个可旋入的插塞25封闭。外构件20借助一弹簧27被向上偏压，该弹簧一端支撑在插塞25上，另一端支撑在导向件12上。导向件12有一个对中的导向凸起28，该凸起28在弹簧27内延伸，该弹簧27设计为压缩弹簧。由此避免了侧向的滑动和弹簧27的倾斜。在外构件20内装有一个可相对外构件同心移动的内构件30。该内构件30有一个空心圆柱形端部32、一个锥形逐渐变细的中间部分30和一个构成凸起的端部34。空心圆柱端部32有一个容纳空腔36，弹簧37位于其中。该弹簧37设计为压缩弹簧，其一端支撑在插塞25上，另一端支撑在内构件的一个壁上，以将内构件向上偏压。锥形逐渐变细的中间部分33具有一个倾斜的外周面39，其与外构件20的可扩张端部分21的锥形逐渐变细的内周面互补。圆柱形端部34可构成一个穿过可扩张端部分21延伸的凸起，如图1所示。在图1至3中示出了本专利技术固定装置上方的一个所谓内孔夹40。该内孔夹40可通过一个未详细示出的机构轴向移动。另外内孔夹40有一个球头状端部41，该端部41可导入基片8的一个内孔中，并可在内孔内部扩张，使得能够抓取基片8并在必要时运送之。这种形式的内孔夹在现有技术中已知，因此这里不再另外描述该内孔夹。下面借助图1至3阐述根据本专利技术的固定装置作用方式。如图1所示，外构件通过固定外壳15内的弹簧27向上偏压。这样本文档来自技高网...

【技术保护点】
用于固定各有一个内孔的基片（８）的装置（１），带有一个外壳（１５；４５）和一个装在外壳内可嵌入内孔中的元件，其特征在于，该元件具有一个可相对外壳（１５，４５）轴向移动的外构件（２０；４９）和一个可相对外壳（１５；４５）轴向移动的内构件（３０；５８），其中外构件（２０；４９）可通过构件（２０，３０；４９，５８）的相对运动扩张。

【技术特征摘要】
DE 1998-4-24 19818478.61．用于固定各有一个内孔的基片(8)的装置(1)，带有一个外壳(15；45)和一个装在外壳内可嵌入内孔中的元件，其特征在于，该元件具有一个可相对外壳(15,45)轴向移动的外构件(20；49)和一个可相对外壳(15；45)轴向移动的内构件(30；58)，其中外构件(20；49)可通过构件(20,30；49,58)的相对运动扩张。2．根据权利要求1所述的装置(1)，其特征在于，外构件和/或内构件(20,30；49,58)是圆柱形的。3．根据前述权利要求之一所述的装置(1)，其特征在于，外构件(20；49)在一端部(21)具有狭缝(23)。4．根据前述权利要求之一所述的装置(1)，其特征在于，外构件(20；49)可弹性扩张。5．根据前述权利要求之一所述的装置(1)，其特征在于，外构件(20；49)在狭缝(23)部位有一个逐渐变细的内径(24；55)。6．根据前述权利要求之一所述的装置(1)，其特征在于，外构件(20；49)通过一个偏压装置(27；65)可轴向偏压。7．根据前述权利要求之一所述的装置(1)，其特征在于，偏压装置(27；65)是一弹簧。8．根据前述权利要求之一所述的装置(1)，其特征在于，内构件(30；58)在外圆周上有一个斜面(39；68)。9．根据前述权利要求之一所述的装置(1)，其特征在于，内构件(30；58)外圆周上的斜面(39；68)与外构件(20；49)的逐渐...

【专利技术属性】
技术研发人员：L登兹勒尔，U斯佩尔，K维贝尔，
申请(专利权)人：施蒂格哈马技术股份公司，
类型：发明
国别省市：DE[德国]