【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及基片装卸装置，它具有一个直线输送基片的输送装置和至少一个在输送装置和至少一个工站间输送基片的可转动的搬运装置。例如在处理基片的设备中且尤其是在给基片上漆或涂覆的设备中知道了上述类型的基片装卸装置。在那里，第一搬运装置从一个输送装置中捡拾基片如CD/CD-R/DVD和其它数据存储器或数据载体以便上漆或涂覆并且基片被放在一个工站如上漆工站上。在加工后，第二搬运装置又捡拾基片并将其放在一个输出装置上或送往另一个工序。从US-A-4824309中知道了一种具有一个前真空室、一个缓冲室和一个加工室的真空处理装置。该装置在缓冲室中具有第一圆片托座以及它具有第二圆片托座，以便从前真空室中把圆片送往缓冲室的第一圆片托座。此外，设置了第三圆片托座，它把圆片从第一圆片托座送往加工室，其中第二、第三圆片托座具有传送带。Leybold公司的“Speedline Prospekt”(2/97，第6页-第9页)示出了一种整体式CD生产设备，其中用于制造CD的不同加工装置被整合在一台设备中。为输送构成CD的元件，同时采用传送带和机械爪。DE-C-19722408示出了一种在...
【技术保护点】
一种基片装卸装置（１；１ａ；１ｂ），它具有一个直线输送基片的输送装置（３；３ａ；３ｂ）和至少一个可转动的且用于在该输送装置（３；３ａ；３ｂ）和至少一个工站（６Ａ－６Ｄ；７Ａ－７Ｄ；８０Ａ－Ｈ）之间输送基片的搬运装置（４，５；４ａ），其特征在于，输送装置（３；３ａ；３ｂ）被设置在至少两个工站（６Ａ－６Ｄ；７Ａ－７Ｄ；８０Ａ－Ｈ）之间且所述的至少一个搬运装置（４，５；４ａ）被设置在输送装置（３；３ａ；３ｂ）的上方。
【技术特征摘要】
DE 1999-9-23 19945648.81.一种基片装卸装置(1；1a；1b)，它具有一个直线输送基片的输送装置(3；3a；3b)和至少一个可转动的且用于在该输送装置(3；3a；3b)和至少一个工站(6A-6D；7A-7D；80A-H)之间输送基片的搬运装置(4，5；4a)，其特征在于，输送装置(3；3a；3b)被设置在至少两个工站(6A-6D；7A-7D；80A-H)之间且所述的至少一个搬运装置(4，5；4a)被设置在输送装置(3；3a；3b)的上方。2.如权利要求1所述的装置，其特征在于，搬运装置(4，5；4a)的转动中心(40，65；40a)位于输送装置(3；3a；3b)的一条中心轴线(20；20b；20a)上。3.如权利要求1或2所述的装置，其特征在于，搬运装置(4，5；4a)具有设置在一个外圆(41，66；41a)上的基片用捡拾头(42-47；400a-411a)。4.如权利要求3所述的装置，其特征在于，捡拾头(42-47；400a-411a)等间隔地分布在外圆(41，66；41a)上。5.如权利要求3或4所述的装置，其特征在于，捡拾头(42-47；400a-411a)设置在搬运装置(4，5；4a)的径向臂(48-53；420-431)上。6.如前述权利要求之一所述的装置，其特征在于，输送装置(3；3a；3b)具有一条传送带(13；13a；13b)。7.如权利要求6所述的装置，其特征在于，传送带(13；13a；13b)延伸于一个装载站和一个卸载站之间。8.如权利要求6或7所述的装置，其特征在于，传送带(13；13a；13b)具有用于基片的托座(21-28；21a-28a)。9.如权利要求8所述的装置，其特征在于，托座(21-28；21a-28a)在传送带(13；1...
【专利技术属性】
技术研发人员：K韦伯，M塞曼，J卡利斯，
申请(专利权)人：施蒂格哈马技术股份公司，
类型：发明
国别省市：DE[德国]
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