在接口容器和分配盒间传送工件载运器的传送机构和方法技术

本发明专利技术公开了一种可在分配盒（１３０）和ＳＭＩＦ容器（１１６）之间传送工件暗盒（１２３）的传送机构。该传送机构包括一个支架（１０２），支架（１０２）具有在其第一侧上用于支撑ＳＭＩＦ容器的一个第一支撑平台（１１４），和在其第二侧上用于支撑分配盒的一个第二支撑平台（１２８）。支架还包括一个载运器传送装置机构（１１２），当在初始位置时，载运器传送装置机构完全位于支架中。传送装置机构包括一个臂（１３４）及枢转地安装到臂上的一个抓手（１３６）。一旦将ＳＭＩＦ容器和分配盒设置到它们各自的支撑平台上，传送装置机构就在这两个容器之间传送暗盒。（*该技术在2020年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种传送系统，该传送系统应用于利用密封的SMIF容器和开启的分配载运盒进行操作的半导体晶片制造中，更具体地说，本专利技术涉及用于在SMIF容器和分配载运盒之间传送工件载运器的一种传送系统。
技术介绍
典型的半导体晶片制造(fab)包括多个工具台，按照要求，每个工具台约为80英尺长，每个工具台通常包括多个用于进行不同晶片制造过程的加工工具及至少一个储存器，在进行加工之前和/或之后可将晶片存放在储存器中。在半导体晶片制造中还提供了用于将晶片从一个加工工具台传送至另一个加工工具台(台间输送系统)，和用于在每个专用工具台(台内输送系统)中传送晶片的多种自动传送系统。暗盒中的晶片围绕构件进行传送，而暗盒自身以裸露或装在封闭容器中的形式进行传送。一种类型的常用封闭容器为所谓的晶片分配载运盒(“分配盒”)(lot box)，该晶片分配载运盒包围晶片但不密封晶片而使其与制造环境相隔离。第二种类型的常用容器是所谓的标准机械接口(“SMIF”)容器，该容器被密封而与制造环境相隔离。在美国专利No.4,532,970和No.4,534,389中披露了由Hewlett-Packard(惠普)公司提出的一种SMIF系统。SMIF系统的目的是在通过半导体制造过程而对晶片进行储存和传送的期间减少施加到半导体晶片上的粒子通量。该目的一部分由机械保证实现的，即在储存和传送过程中，晶片周围的气体介质(例如空气或氮气)必须相对于晶片静止，以保证周围环境中的微粒不进入直接的晶片环境。SMIF系统通常具有三个主要部件(1)用于储存和传送晶片暗盒的密闭容器；(2)具有超净空气的一个小环境，超净空气围绕暗盒装载口和处理台的晶片处理区域流动，这样，容器中的环境和所述小环境就变为小型的清洁空间；(3)受控的输入/输出(I/O)传送组件，该传送组件用于在密闭容器和加工设备之间传送晶片暗盒和/或晶片，而不使晶片暗盒中的晶片受到外部环境的污染。SMIF系统可将晶片保存在一个超净的环境中，对超净环境的要求为至少比晶片制造周围的环境要清洁。目前，特别先进的半导体加工工艺利用半微米(μm)及其低于半微米的几何尺寸，几何尺寸为0.1μm的污染微粒可对加工的半导体造成明显的损害。因此，SMIF方案被广泛应用，作为用于围绕晶片制造和在基本无微粒环境中的加工工具之间传送半导体晶片的一种方式。虽然SMIF技术比常用的分配盒传送具有明显的优势，但许多制造仍具有使用后者的系统。目前需要一种使晶片制造既可利用分配暗盒进行操作又可利用SMIF容器进行操作的方法。
技术实现思路
本专利技术的优点是提供一种使晶片制造既可利用分配盒进行操作又可利用SMIF容器进行操作的系统。本专利技术的另一个优点是提供了一种可在分配盒和SMIF容器之间传送工件载运器的机构。本专利技术的另一个优点在于提供了一种系统，在该系统中，可通过安装到传送机构上的一个固定支撑平台、或通过围绕制造传送载运器的自动车将工件载运器布置在载运器传送机构处。本专利技术的优选实施例提供了这些和其他优点，本专利技术涉及一种可在分配盒和SMIF容器之间传送工件暗盒的一种晶片传送机构。该传送机构包括一个支架，支架具有在其第一侧上用于支撑SMIF容器的一个第一支撑平台、和在其第二侧上用于支撑分配盒的一个第二支撑平台。支架还包括一个载运器传送机构，当在初始位置时，载运器传送机构完全位于支架中。传送机构包括一个臂及枢转地安装到臂上的一个抓手。首先将SMIF容器和分配盒分别放置到各自的平台上并开启。抓手位于分配盒中的暗盒附近，顶部一旦被提升起来，抓手就抓持暗盒顶上的手柄。暗盒中的工件最初是垂直定向的。传送机构提升且转动暗盒，这样就将工件定位在一个基本水平的平面中。然后，传送机构将暗盒下放到位于第一支撑平台上的一个容器门上。之后，容器顶一旦降低至再次与容器门相配合，容器门中的闩机构就将容器顶和容器门耦合在一起，从而将容器密封。然后就可将容器从第一支撑平台处传送走。也可按照相反的过程执行同样的操作，将工件暗盒从第一支撑平台上的SMIF容器传送至第二支撑平台上的分配盒。在一个优选的实施例中，第一和第二支撑平台固定安装在支架上。但在另一个实施例中，用于支撑SMIF容器和/或分配盒的支撑平台可设置在一台自动车上，以围绕制造传送SMIF容器和/分配盒。当需要下放晶片暗盒或得到晶片暗盒时，就将自动车定位在支架附近，按照上述的方式实现暗盒的传送。附图说明下面参考附图将对本专利技术进行描述，其中图1为根据本专利技术的工件传送机构的透视图；图2为根据本专利技术的工件传送机构的四个侧视图；图3为根据本专利技术的工件传送机构的另一个实施例的透视图；图4为图3中工件传送机构另一实施例的支撑平台的透视图；图5为根据本专利技术的工件传送机构的另一个实施例的透视图；图6为根据本专利技术的工件传送机构的另一个实施例的透视图。具体实施例方式下面参考图1-6对本专利技术的优选实施例进行描述，本专利技术涉及一种用于在SMIF容器和分配载运盒之间传送工件载运器的传送系统。应认识到在载运器中传送的工件对本专利技术来说不是关键性的，工件可包括半导体晶片、标线片和平板显示器。现在参考图1，根据本专利技术的晶片传送机构100包括支架102，支架102用于将机构100支撑的地板上，或将机构100安装在墙壁或晶片制造的顶部上。机构100还包括固定在支架102的第一侧106上的一个SMIF容器开启件104；安装在支架102的、与第一侧106相对的第二侧110上的一个分配盒开启件108；及安装在支架102中的一个暗盒传送组件112。机构100由一台计算机(未显示)控制，该计算机专用于机构100或通常用于在制造中控制半导体加工操作。SMIF容器开启件104包括固定安装在支架102上，用以在其上接收一个SMIF容器116的支撑平台114。虽然平台114的高度对本专利技术来说不是关键因素，但在SEMI处平台114的优选高度为900mm。可通过人工或自动的方式将容器116放置到平台114上。就如将在下文中描述的那样，在另一个实施例中可省略平台114，而通过一台自动车将容器送至支架102的附近，自动车用于围绕制造输送容器116。在图1所示的实施例中，支撑平台114最好包括动力销或其他定位部件，所述动力销或定位部件配合在容器116底面上的槽或相应形状的凹口中，以保证容器处于支撑平台上的一个固定的且可重复的位置。在平台114中还布置有一个闩机构(未显示)，以使容器门118从容器116的容器顶120处脱离开。在标题为“具有改进闩机构的可密封输送容器”，专利号为No.4,995,430的美国专利中，已披露了与本专利技术所用的闩机构相关的详细内容，该申请已转让给本申请人，其全部内容在本申请中作为参考并结合使用。本领域的技术人员可认识到解除耦合机构可包括除上述专利所披露的机构之外的其他机构。容器门一旦与容器顶脱离耦合，容器开启件104的一个容器顶提升器122就提升容器顶而使其远离容器门，以允许进入位于其中的一个晶片载运暗盒123。容器顶提升器122包括安装在臂126上的一个抓手124。臂126又安装到支架102的内侧壁中的一个线性驱动器(未显示)上，以垂直传送臂、抓手和容器顶。在线性驱动器的一个优选实施例中，臂的一部分旋拧到支架102的内侧壁中的一个丝杠(未显示)上本文档来自技高网...

【技术保护点】
用于在半导体晶片制造中传送工件载运器的一种传送机构，该传送机构包括：接收一个ＳＭＩＦ容器的一个第一平台；接收一个分配盒的一个第二平台；在所述第一平台上的ＳＭＩＦ容器和所述第二平台上的分配盒之间传送工件载运器的一个传送装置机构；控制所述传送装置机构的运行的一个控制器。

【技术特征摘要】
US 1999-12-2 60/168,7971.用于在半导体晶片制造中传送工件载运器的一种传送机构，该传送机构包括接收一个SMIF容器的一个第一平台；接收一个分配盒的一个第二平台；在所述第一平台上的SMIF容器和所述第二平台上的分配盒之间传送工件载运器的一个传送装置机构；控制所述传送装置机构的运行的一个控制器。2.根据权利要求1所述用于在半导体晶片制造中传送工件载运器的传送机构，其中SMIF容器支撑具有处于水平面中的工件的工件载运器，分配盒支撑具有处于基本非水平面中的工件的工件载运器。3.根据权利要求2所述用于在半导体晶片制造中传送工件载运器的传送机构，其中所述传送装置机构包括一个臂和枢转地安装到所述臂上的一个抓手，所述抓手可在一个第一位置和一个第二位置之间移动工件载运器，在第一位置中，工件处于所述水平平面中，在第二位置中，工件处于所述基本非水平的平面中。4.用于在半导体晶片制造中传送工件载运器的一种传送机构，该传送机构包括一个支架；安装在所述支架的第一侧上用于接收一个SMIF容器的一个第一平台；安装在所述支架的与所述第一侧相对的第二侧上，用于接收一个分配盒的一个第二平台；安装在所述支架中的一个传送装置机构，该传送装置机构用于在所述第一平台上的SMIF容器和所述第二平台上的分配盒之间传送工件载运器；控制所述传送装置机构的运行的一个控制器。5.根据权利要求4所述用于在半导体晶片制造中传送工件载运器的传送机构，其中所述第一平台固定安装到所述支架的第一例上。6.根据权利要求4所述用于在半导体晶片制造中传送工件载运器的传送机构，其中所述第二平台固定安装到所述支架的第二侧上。7.根据权利要求4所述用于在半导体晶片制造中传送工件载运器的传送机构，其中所述第一平台处于一台自动车上，该自动车可运行至所述支架的第一侧附近的一个位置。8.根据权利要求4所述用于在半导体晶片制造中传送工件载运器的传送机构，其中所述第二平台处于一台自动车上，该自动车可运行至所述支架的第二侧附近的一个位置。9.根据权利要求4所述用于在半导体晶片制造中传送工件载运器的传送机构，其中SMIF容器用于支撑具有处于水平面中的工件的工件载运器，分配盒用于支撑具有处于基本非水平面中的工件的工件载运器。10.根...

【专利技术属性】
技术研发人员：安东尼C博诺拉，罗伯特R内奇，理查德古尔德，
申请(专利权)人：阿西斯特技术公司，
类型：发明
国别省市：US[美国]