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为了对于带有夹具（１０）的衬底升降机构（２）实现尽可能简单地心轴转换，夹具这样构成，通过旋转或摆动夹具本身可以与衬底支架（２５）啮合。...
该专利属于施蒂格哈马技术股份公司所有，仅供学习研究参考，未经过施蒂格哈马技术股份公司授权不得商用。

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