透光性压模、其制造方法和多层光记录介质的制造方法技术

本发明专利技术提供一种透光性压模、其制造方法和多层光记录介质的制造方法。本发明专利技术提供对于紫外线具有透光性且具有能重复使用的耐久性的透光性压模。具体地说，在透光性基底上依次形成透光性辅助层和无机抗蚀剂层，用光束选择性地照射到无机抗蚀剂层上，从而对从无机抗蚀剂层的表面到透光性辅助层表面的无机抗蚀剂改性。然后，被光束改性的部分或未被改性的部分被选择性地去除，直至透光性辅助层被暴露出，从而在无机抗蚀剂层中形成对应于信息图案的非均匀图案。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及光记录介质的制造方法。具体地说，本专利技术涉及多层 光记录介质的制造方法、用于制造多层光记录介质的透光性压模及其 制造方法，在多层光记录介质的制造方法中，通过应用旋涂等方法在 基底上涂敷光致固化树脂以便层叠记录层。
技术介绍
作为具有高密度的信息记录/再现技术，例如CD、 DVD和Blu-ray (注册商标)光盘(BD )之类的光记录介质吸引了大量的关注。 近年来，随着运动图像的数字化的发展和设备的小型化的发展，存在 更高记录密度和更大容量的需求。通常，已知光记录介质的记录密度很大程度上取决于激光束的波 长1和记录/再现光学系统的物镜的数值孔径(NA)。换句话说，能 够再现信号的记录凹坑的空间频率为约2NA/3u因此，已经对通过应 用短波长技术或高NA技术获得高记录密度进行了大量的研究。例 如，当用于记录/再现的激光束的波长为780nm且透镜的NA为0.45 时，CD的记录容量为约650MB。当激光束的波长为650nm且透镜 的NA为0.6时，DVD-ROM的容量为约4.7GB。此外，当激光束的 波长短至405nm且透镜的NA为0.85时，BD的容量大于23GB。因 此，光记录介质的容量已经增大。另一方面，已经对利用堆叠多个记录表面实现大容量进行了更多 的研究。例如，已经通过堆叠两层记录表面例如在DVD和BD中实 现了双倍记录容量。对于BD，正在研制四层介质，旨在对下一代产 品进行更好的集成化。常规上，使用下面的方法作为多层光记录介质的制造方法。首 先，在基底的表面中形成凹坑或导向槽，在该凹坑或导向槽上形成反 射层和记录层，从而形成第一信息记录层。然后，在第一信息记录层上形成可紫外线固化的树脂(光致固化 树脂)和干的光聚合物层(步骤1)。带有记录层所需的信息(凹 坑、导向槽、等等)的压模被叠加在可紫外线固化的树脂和干的光聚 合物层上，并被固化，从而形成凹坑或导向槽，然后剥离该压模(其中形成有凹坑或导向槽的层被称作中间层)(步骤2)。在凹坑或 导向槽上形成半透明膜，从而形成第二信息记录层(步骤3)。重复 上述步骤以形成第三记录层和第四记录层(例如，参见日本专利申请 公开No. 2003-203402和Matsushita Technical Journal Vol. 50 ( No. 5 ) ， 2004年10月，第64-68页)。在这种情况下，当可紫外线固化的树脂和干的光聚合物通过记录 层(半透明膜)被固化时，发生照射的紫外线衰减的现象。因此，在 上述方案中，必需使用对紫外线具有透射性的压模(透光性压模)和 从该压模侧进行紫外线的照射。通常将由树脂制成的压模用作透光性压模，但是从必需保持产量 和质量的观点来看，很难再次利用由树脂制成的压模。因此，每次形 成一层的时候，都需要去除该压模，这就引起了增加成本的问题。此外，已经提出了一种通过蚀刻在玻璃材料中形成对应于信息图 案的图案用作透光性压模的方法(参见，例如，Matsushita Technical Journal Vol. 50 ( No. 5 ) ， 2004年10月，第64-68页)。玻璃制的透光性压模的制造方法在图3A至3E中示出。首先， 在石英玻璃基底31上均匀地涂敷光致抗蚀剂32 (见图3A)。接 着，在光致抗蚀剂32上，利用光束33形成对应于信息图案的潜像 (见图3B)。然后，进行显影处理，从而获得具有预期图案的光致 抗蚀剂32 (见图3C)。通过利用CF4气态等离子体34从光致抗蚀 剂32的表面对石英玻璃基底31进行干法蚀刻，该干法蚀刻在预期深 度处停止(见图3D)。然后，通过用氧气(02)进行灰化处理以除去留下来的光致抗蚀剂32,从而获得玻璃制的透光性压模(见图 3E)。在日本专利申请公开No. 01-188332中所公开的上述方法中，透 光性压模可被重复使用。然而，在制造该透光性压模的情况下，必需 管理包括干法蚀刻过程和灰化过程在内的复杂工序。此外，在干法蚀 刻过程中使用的CF4气体和CHF3气体都是温室效应气体，从而它们 的使用是受限制和不希望的。此外，在该方法中，该图案被直接形成 于玻璃基底上，因此在再利用该玻璃基底的时候必须抛光和再生该玻 璃基底。
技术实现思路
由于上述情况，本专利技术的一个目的是提供对紫外线具有透光性且 具有适于重复使用的耐久性的透光性压模。本专利技术的一个目的是提供对紫外线具有透光性且具有适于重复使 用的耐久性的透光性压模。根据本专利技术的第一方面，提供了一种透光性压模，该透光性压模 用于制造包括多个记录层和光致固化树脂的多层光记录介质，以便在 光致固化树脂中形成信息图案，该透光性压模包括具有透光性的基 底；层叠在基底上的透光性辅助层；和层叠在辅助层上的具有透光性 的无机抗蚀剂层，其中辅助层和光致固化树脂之间的剥离性高于基底 和光致固化树脂之间的剥离性，并且，其中，该无机抗蚀剂层在其中 形成有对应于信息图案的非均匀图案，该透光性辅助层被暴露于无机 抗蚀剂层的非均匀图案的凹部中。根据本专利技术的第二方面，提供了一种制造透光性压模的方法，该 透光性压模用于制造包括多个记录层和光致固化树脂的多层光记录介质，以便在光致固化树脂中形成信息图案，该方法包括下述步骤在 具有透光性的基底上依次形成透光性辅助层和无机抗蚀剂层；选择性 地进行光束照射，以对无机抗蚀剂层的无机抗蚀剂改性；以及通过显影改性的部分之一，直至辅助层被暴露出，其中辅助层和光致固化树脂 之间的剥离性高于基底和光致固化树脂之间的剥离性。根据本专利技术的第三方面，提供了一种制造多层光记录介质的方法，该多层光记录介质具有多个记录层，该方法包括下述步骤a) 在光记录介质的基底上形成记录膜；b) 在记录膜上涂敷用于形成中间层的光致固化树脂；c) 用紫外线通过权利要求1所述的透光性压模照射用于形成 中间层的光致固化树脂，以将信息图案转印至用于形成中 间层的光致固化树脂上；和d) 在用于形成中间层的光致固化树脂上层叠记录膜。 根据下文参照附图对示例性的实施例的描述，本专利技术的其它特征将显而易见。附图说明图1A、 1B、 1C、 1D、和1E是示出根据本专利技术的透光性压模的 制造方法以及光记录介质的制造方法的横截面示意图。图2A、 2B、 2C、 2D、 2E、 2F和2G是示出根据本专利技术的实例1 的光记录介质的制造方法的横截面示意图。图3A、 3B、 3C、 3D和3E是示出根据现有技术的由玻璃形成的 透光性压模的制造方法的横截面示意图。图4A、 4B、 4C、 4D、 4E和4F是示出根据现有技术的由无机抗 蚀剂形成的透光性压模的制造方法的横截面示意图。图5A、 5B、 5C和5D是示出透光性基底和无机抗蚀剂层的横截 面示意图，用于举例说明本专利技术所解决的问题。图6A、 6B和6C是示出根据本专利技术的实例2的透光性压模的制 造方法的横截面示意图。图7A、 7B、 7C、 7D、 7E、 7F和7G是才艮据本专利技术的实例3的 光记录介质的制造方法的横截面示意图。考虑到上面所提及的问题，本专利技术的专利技术人发现了这样 一种方法通过在透光性基底上应用包含氧化鴒的无机抗蚀剂而形成对应于 信息图案的图案，以便用作上面提及的透光性压模。随便提一下，本文所用的术语透光性和透光性的，，指的是至少 透本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种透光性压模，用于制造包括多个记录层和光致固化树脂的多层光记录介质，以便在所述光致固化树脂上形成信息图案，该透光性压模包括：　　　　基底，具有透光性；　　　　透光性辅助层，被堆叠于所述基底上；和　　　　无机抗蚀剂层，具有透光性，且被堆叠于所述辅助层上，　　　　其中在所述辅助层和所述光致固化树脂之间的剥离性高于在所述基底和所述光致固化树脂之间的剥离性，且其中所述无机抗蚀剂层在其中形成有对应于信息图案的非均匀图案，该透光性辅助层在无机抗蚀剂层的非均匀图案的凹部中被暴露。

【技术特征摘要】
JP 2007-4-23 2007-1129911.一种透光性压模，用于制造包括多个记录层和光致固化树脂的多层光记录介质，以便在所述光致固化树脂上形成信息图案，该透光性压模包括基底，具有透光性；透光性辅助层，被堆叠于所述基底上；和无机抗蚀剂层，具有透光性，且被堆叠于所述辅助层上，其中在所述辅助层和所述光致固化树脂之间的剥离性高于在所述基底和所述光致固化树脂之间的剥离性，且其中所述无机抗蚀剂层在其中形成有对应于信息图案的非均匀图案，该透光性辅助层在无机抗蚀剂层的非均匀图案的凹部中被暴露。2. 根据权利要求1的透光性压模，其中所述无机抗蚀剂层包括 氧化鴒、氧化钼、以及氧化鵠中的一部分钨被钼取代的氧化物中的任 意一种作为主要成分，这些氧化物中的每一种都具有小于该种氧化物 的理想配比氧含量的氧含量。3. 根据权利要求1的透光性压模，其中所述辅助层包括无机氧 化物、无机氮化物、及它们的混合物中的任意一种。4. 根据权利要求1的透光性压模，其中所述辅助层包括氮化 硅、氧化硅、氧化钛、氧化鵠、及它们的混合物中的任意一种。5. 根据权利要求1的透光性压模，其中所述透光性辅助层具有 作为抗蚀剂的功能，且其中在所述无机抗蚀剂层是正抗蚀剂的情况 下，所述辅助层起负抗蚀剂的作用，在所述无机抗蚀剂层是负抗蚀剂 的情况下，辅助层起正抗蚀剂的作用。6. 根据权利要求1的透光性压模，其中所述无机抗蚀剂层和所 述辅助层具有相同的构成元素和不同的组成比。7. —种制造透光性压模的方法，该透光性压模用于制造包括多 个记录层和光致固化树脂的多层光记录介质，以便在光致固化树脂上 形成信息图案，该方法包括下述步骤在具有透光性的基底上依次形成透光性辅助层和无机抗蚀剂层；选择性地...

【专利技术属性】
技术研发人员：住冈由香里，
申请(专利权)人：佳能株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]