一种用于半导体生产设备中的新型推顶结构制造技术

本实用新型专利技术公开一种用于半导体生产设备中的新型推顶结构，包括顶针推顶机构、顶针升降机构、顶针锁紧机构、推顶器底座和固定基座组件；固定基座组件包括第一L形丝孔块，推顶器底座通过第一X轴底座校准螺丝组件和第一Y轴底座校准螺丝组件连接在第一L形丝孔块上；顶针升降机构包括升降底座和升降限位座，升降限位座内设有音圈升降电机组件和运动位置传感器；顶针推顶机构包括顶针下连接座、顶针定位套和顶针组件，顶针定位套内设置有四个顶针夹持块；顶针组件包括顶针和顶针帽；顶针锁紧机构包括连接在顶针定位套上的两个顶针X轴微调螺丝和两个顶针Y轴微调螺丝。该推顶结构的校准更方便准确，性能更稳定。性能更稳定。性能更稳定。

【技术实现步骤摘要】
一种用于半导体生产设备中的新型推顶结构


[0001]本技术涉及机械加工设备领域，具体涉一种用于半导体生产设备中的新型推顶结构。

技术介绍

[0002]从近几年开始，LED半导体晶片迅速向显示领域扩展，随着Mini LED和Micro LED晶片的出现并飞速发展，要求晶片生产设备能够生产更小尺寸的晶片，要求推顶器机构升降推力大，更加微小、精密、稳定。目前的推顶器机构，长期采用一贯的模式，不能适应生产更小晶片尺寸的要求。现有的顶针推顶结构中，顶针底座的调节一般是通过定位螺栓进行调节，顶针自身一般是通过不同的顶针安装孔进行定位安装，但是顶针自身的微调无法得到满足，使得顶针校正的时间偏长并且校正不方便。

技术实现思路

[0003]本技术的目的在于提供一种用于半导体生产设备中的新型推顶结构，该推顶结构安装方便并且结构稳定，顶针结构的校准更方便准确，推顶结构整体的性能更稳定。
[0004]本技术为了实现上述目的，采用的技术解决方案是：
[0005]一种用于半导体生产设备中的新型推顶结构，包括顶针推顶机构、顶针升降机构、顶针锁紧机构、推顶器底座和固定基座组件，所述固定基座组件固定在半导体生产设备的大理石底盘上；固定基座组件包括第一L形丝孔块，推顶器底座通过第一X轴底座校准螺丝组件和第一Y轴底座校准螺丝组件连接在第一L形丝孔块上；
[0006]所述顶针升降机构包括连接在推顶器底座上的升降底座，升降底座上设置有升降限位座，升降限位座内设置有音圈升降电机组件和运动位置传感器；
[0007]所述顶针推顶机构包括顶针下连接座、连接在顶针下连接座上的顶针定位套和连接在顶针定位套上的顶针组件，音圈升降电机组件上端通过第一连接座与顶针下连接座连接，顶针下连接座侧端连通有真空接头，顶针定位套内设置有四个顶针夹持块；
[0008]所述顶针组件包括顶针和顶针帽；所述顶针锁紧机构包括连接在顶针定位套上的两个顶针X轴微调螺丝和两个顶针Y轴微调螺丝；顶针连接在顶针夹持块内，并通过顶针X轴微调螺丝和顶针Y轴微调螺丝调节位置；顶针帽连接在顶针定位套上，并且顶针穿过顶针帽上的顶针穿孔。
[0009]优选的，所述固定基座组件还包括丝孔块垫板，丝孔块垫板的端部通过垫板固定螺丝连接在大理石底盘上，丝孔块垫板上开有用于限位第一L形丝孔块的第一L形凹槽，第一L形丝孔块通过螺丝连接在第一L形凹槽内的丝孔块垫板上。
[0010]优选的，所述推顶器底座呈方形框架板状，推顶器底座的前后两端分别连接有框架定位片，框架定位片内开设有第一框架定位槽孔，框架定位片通过第一框架定位槽孔内的框架固定旋钮与丝孔块垫板连接。
[0011]优选的，所述第一X轴底座校准螺丝组件包括第一X轴定位螺丝杆和两个第一X轴
调节螺丝帽，第一X轴定位螺丝杆横向穿过推顶器底座和第一L形丝孔块后，端部连接第一X轴调节螺丝帽；
[0012]所述第一Y轴底座校准螺丝组件包括第一Y轴定位螺丝杆和两个第二Y轴调节螺丝帽，第二Y轴定位螺丝杆纵向穿过推顶器底座和第一L形丝孔块后，端部连接第二Y轴调节螺丝帽。
[0013]优选的，所述升降底座呈方形板状，升降限位座呈倒U形板状，升降底座通过螺丝与推顶器底座连接；
[0014]所述音圈升降电机组件包括固定在升降限位座上的音圈电机定子和连接在活动连接在音圈电机定子上的音圈电机动子，第一连接座与音圈电机动子连接；
[0015]优选的，所述运动位置传感器包括传感定位器和传动移动器，传感定位器连接在升降限位座上，传动移动器连接在音圈电机动子上。
[0016]优选的，所述顶针夹持块呈扇形块状，四个顶针夹持块形成圆柱状的夹持部，顶针夹持块的内侧端面上开设有半圆形夹持凹槽，相邻的两个顶针夹持块中的半圆形夹持凹槽形成第一通气孔；
[0017]顶针夹持块的拐角端处设置有扇形夹持凹槽，四个顶针夹持块中的扇形夹持凹槽形成第一顶针夹持孔。
[0018]优选的，所述顶针帽的上端面中开设多个顶针穿孔，顶针穿孔的直径为0.3mm。
[0019]优选的，所述推顶器底座的左右侧端面上开设有用于第一X轴定位螺丝杆穿过的第一条形槽孔，第一条形槽孔的长度值大于第一X轴定位螺丝的直径；推顶器底座的左右侧端面上开设有用于第一Y轴定位螺丝杆移动的第二条形槽孔，第二条形槽孔的长度值大于第一Y轴定位螺丝杆的直径。
[0020]本技术的有益效果是：
[0021]上述用于半导体生产设备中的新型推顶结构，首先设置有新型结构的固定基座组件，固定基座组件安装方便并且加工简单。在固定基座组件上设置推顶器底座，推顶器底座通过第一X轴底座校准螺丝组件和第一Y轴底座校准螺丝组件连接在第一L形丝孔块上，通过第一 X轴底座校准螺丝组件和第一Y轴底座校准螺丝组件可更方便的调节推顶器底座及连接结构的位置，加工方便并且安装简单。L形丝孔快固定在推顶器基座上，这使得校准方便准确，结构简单，性能稳定。
[0022]并且，本技术中的设置了新型结构的顶针升降机构，顶针推顶机构通过顶针升降机构内的音圈升降电机组件进行驱动升降，并通过运动位置传感器进行升降动作的监控，保证了整个升降动作的顺利完成和有效监控。本技术中的顶针推顶机构中，顶针可通过两个顶针X轴微调螺丝和两个顶针Y轴微调螺丝进行调节，顶针的调节更方便并且调节更准确，X 方向微调螺丝和Y方向微调螺丝可以在X和Y方向微调顶针，将顶针微调到顶针帽中心孔的中心。
附图说明
[0023]为了清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可
轴定位螺丝杆421的端部连接第二Y轴调节螺丝帽422。推顶器底座4的左右侧端面上开设有用于第一X轴定位螺丝杆411穿过的第一条形槽孔413，第一条形槽孔413的长度值大于第一X轴定位螺丝411的直径。
[0040]推顶器底座4的左右侧端面上开设有用于第一Y轴定位螺丝杆421移动的第二条形槽孔 423，第二条形槽孔423的长度值大于第一Y轴定位螺丝杆421的直径。
[0041]升降底座21呈方形板状，升降限位座22呈倒U形板状，升降底座21通过螺丝与推顶器底座4连接。
[0042]音圈升降电机组件23包括固定在升降限位座22上的音圈电机定子231和连接在活动连接在音圈电机定子231上的音圈电机动子232，第一连接座25与音圈电机动子231连接。
[0043]运动位置传感器24包括传感定位器和传动移动器，传感定位器连接在升降限位座22上，传动移动器连接在音圈电机动子232上。
[0044]顶针夹持块14呈扇形块状，四个顶针夹持块14形成圆柱状的夹持部，顶针夹持块14的内侧端面上开设有半圆形夹持凹槽141，相邻的两个顶针夹持块中的半圆形夹持凹槽141形成第一通气孔；
[0045]顶本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于半导体生产设备中的新型推顶结构，其特征在于，包括顶针推顶机构、顶针升降机构、顶针锁紧机构、推顶器底座和固定基座组件，所述固定基座组件固定在半导体生产设备中的大理石底盘上；固定基座组件包括第一L形丝孔块，推顶器底座通过第一X轴底座校准螺丝组件和第一Y轴底座校准螺丝组件连接在第一L形丝孔块上；所述顶针升降机构包括连接在推顶器底座上的升降底座，升降底座上设置有升降限位座，升降限位座内设置有音圈升降电机组件和运动位置传感器；所述顶针推顶机构包括顶针下连接座、连接在顶针下连接座上的顶针定位套和连接在顶针定位套上的顶针组件，音圈升降电机组件上端通过第一连接座与顶针下连接座连接，顶针下连接座侧端连通有真空接头，顶针定位套内设置有四个顶针夹持块；所述顶针组件包括顶针和顶针帽；所述顶针锁紧机构包括连接在顶针定位套上的两个顶针X轴微调螺丝和两个顶针Y轴微调螺丝；顶针连接在顶针夹持块内，并通过顶针X轴微调螺丝和顶针Y轴微调螺丝调节位置；顶针帽连接在顶针定位套上，并且顶针穿过顶针帽上的顶针穿孔。2.根据权利要求1所述的一种用于半导体生产设备中的新型推顶结构，其特征在于，所述固定基座组件还包括丝孔块垫板，丝孔块垫板的端部通过垫板固定螺丝连接在大理石底盘上，丝孔块垫板上开有用于限位第一L形丝孔块的第一L形凹槽，第一L形丝孔块通过螺丝连接在第一L形凹槽内的丝孔块垫板上。3.根据权利要求2所述的一种用于半导体生产设备中的新型推顶结构，其特征在于，所述推顶器底座呈方形框架板状，推顶器底座的前后两端分别连接有框架定位片，框架定位片内开设有第一框架定位槽孔，框架定位片通过第一框架定位槽孔内的框架固定旋钮与丝孔块垫板连接。4.根据权利要求1所述的一种用于半导体生产设备中的新型推顶结构，其特征在于，所述第一X轴底座校准螺丝组件包括第一X轴定位螺丝杆和两个第...

【专利技术属性】
技术研发人员：王耀荣，王振海，盛沙，崔培豹，杨索和，李宏斌，
申请(专利权)人：青岛中科墨云智能有限公司，
类型：新型
国别省市：