用于LED半导体晶片分选机的新型校准系统及校准方法技术方案

本发明专利技术公开用于LED半导体晶片分选机的新型校准系统及校准方法，包括校准系统包括分选摆臂机构、推顶器机构和两组相机定位机构；相机定位机构包括相机固定支架、镜头组件、CCD相机组件和同轴光源组件。分选摆臂机构包括旋转基座，旋转基座的两侧分别连有第一升降组件和第二升降组件，第一升降组件通过第一螺钉调节组件连接有第一摆臂组件，第二升降组件通过第二螺钉调节组件连接有第二摆臂组件，第一摆臂组件的端部和第二摆臂组件的端部分别连接有第一分选吸嘴机构和第二分选吸嘴结构。本发明专利技术中的校准方法采用上述校准系统，实现了分选调节的三点校准。该系统的整体结构更新颖，提高了分选机性能，方便简化生产操作。方便简化生产操作。方便简化生产操作。

【技术实现步骤摘要】
用于LED半导体晶片分选机的新型校准系统及校准方法


[0001]本专利技术涉及LED晶片加工领域，具体涉及用于LED半导体晶片分选机的新型校准系统及 校准方法。

技术介绍

[0002]LED半导体晶片自动分选机是LED半导体晶片和半导体芯片生产线上的主要生产设备之 一。LED半导体晶片分选机是根据分选机载入，并进行预扫描的硅圆片数据库文件，将硅圆 片上的晶片(Wafer)，按用户要求进行等级分类(型号)，并将不同等级型号(性能)的晶片， 分选到料片蓝膜或固晶到印刷电路板上的生产设备。直到目前，世界上只有美国、荷兰、日 本等少数国家掌握此项技术并生产LED晶片分选机，国内虽然有不少企业一直在研制晶片分 选机，但都没有真正技术过关。此项技术一直垄断在少数先进国家手中，所以，现在国内依 然全部依赖进口。但这些进口设备的校准系统存在严重缺欠，校准机构不合理，校准操作繁 琐困难，校准准确性不高，校准稳定性差，需要经常重新校准。
[0003]校准是确保分选机正常生产运行的关键条件，特别是近三年来，LED晶片在图像显示领 域的飞速发展，迫切需求高精度、Mini LED高速晶片分选设备，就更加迫切需要解决分选机 校准精准。

技术实现思路

[0004]本专利技术的目的在于提供用于LED半导体晶片分选机的新型校准系统，该校准系统结构简 单，工作效率高并且调节方便，大大提高了LED半导体晶片分选的工作效率。
[0005]本专利技术为了实现上述目的，采用的技术解决方案是：
[0006]用于LED半导体晶片分选机的新型校准系统，包括分选机体、第一电机支座和硅圆片承 载台，第一电机支座安装在分选机体上，第一电机支座的下方设置硅圆片承载台，第一电机 支座内安装有直驱旋转电机，所述第一电机支座的前后两端分别安装有第一相机定位机构和 第二相机定位机构，直驱旋转电机的下部穿过第一电机支座后连接有分选摆臂机构，硅圆片 承载台下方的分选机体上设置有推顶器机构；
[0007]第一相机定位机构包括连接在第一电机支座上的第一相机固定支架，第一相机固定支架 上定位卡接有第一镜头组件，第一镜头组件上端连有第一CCD相机组件，第一镜头组件的下 端连有第一同轴光源组件；
[0008]分选摆臂机构包括旋转基座，旋转基座的两侧分别连有第一升降组件和第二升降组件， 第一升降组件通过第一螺钉调节机构连接有第一摆臂组件，第二升降组件通过第二螺钉调节 机构连接有第二摆臂组件；
[0009]第一摆臂组件的端部连接有第一分选吸嘴机构，第二摆臂组件的端部连有第二分选吸嘴 机构，第一分选吸嘴机构位于第一相机定位机构的下方，第二分选吸嘴机构位于第二相机定 位机构的下方；
[0010]所述推顶器机构包括顶针内调节组件和推顶器帽调节组件，顶针内调节组件上通
过顶针 X轴方向调节螺栓、顶针Y轴方向调节螺栓连接有顶针移动底座，顶针移动底座的两侧连接 有推顶器锁紧螺栓；顶针移动底座上端通过顶推器驱动组件连接有推顶器顶针和推顶器帽， 推顶器帽上安装有推顶器帽X轴方向调节螺钉和推顶器帽Y轴方向调节螺钉。
[0011]优选的，所述第一电机支座为Π形状的大理石板，第一电机支座的中部开设有第一支座 安装孔；直驱旋转电机定位卡接在第一支座安装孔内并通过减震垫和螺栓固定；
[0012]所述直驱旋转电机的下部通过螺栓与旋转基座连接，旋转基座和直驱旋转电机中心孔内 装配有电机电缆、光栅编码器电缆和气路气管，直驱旋转电机带动旋转基座旋转；旋转基座 带动第一摆臂组件和第二摆臂组件旋转。
[0013]优选的，所述第一螺钉调节机构包括第一圆周方向调节锁紧螺钉组件和第一轴线方向调 节锁紧螺钉组件；
[0014]第一摆臂组件通过第一圆周方向调节锁紧螺钉组件调整圆周方向的定位位置，第一摆臂 组件通过第一轴线方向调节锁紧螺钉组件调整轴线方向的定位位置；
[0015]第一圆周方向调节锁紧螺钉组件包括第一圆周调节螺钉和第一圆轴锁紧螺钉；第一轴线 方向调节锁紧螺钉组件包括第一轴线调节螺钉和第一轴线锁紧螺钉。
[0016]优选的，所述第二螺钉调节机构包括第二圆周方向调节锁紧螺钉组件和第二轴线方向调 节锁紧螺钉组件；
[0017]第二摆臂组件通过第二圆周方向调节锁紧螺钉组件调整圆周方向的定位位置，第二摆臂 组件通过第二轴线方向调节锁紧螺钉组件调整轴线方向的定位位置；
[0018]第二圆周方向调节锁紧螺钉组件包括第二圆周调节螺钉和第二圆轴锁紧螺钉；第二轴线 方向调节锁紧螺钉组件包括第二轴线调节螺钉和第二轴线锁紧螺钉。
[0019]优选的，所述第一相机固定支架包括第一固定架和定位连接在第一固定架前端的第一相 机连接架，第一固定架通过螺栓与第一电机支座连接；
[0020]第一相机连接架的前端配套有两个固定环结构，固定环结构为半圆金属环结构，固定环 结构内侧设置有尼龙衬垫，固定环结构的固定点设置有方形金属挡片，固定环结构通过方形 金属挡片内的螺钉将第一镜头组件固定在第一相机连接架上。
[0021]优选的，所述第一相机定位机构有两组，两组第一相机定位机构分别连接在第一电机支 座的前端部和后端部上；所述第一镜头组件的中心、第一CCD相机组件的中心和第一同轴光 源组件的中心位于同一中心轴线上。
[0022]优选的，所述分选机体包括分体机架和连接在分体机架上的大理石底座；所述顶针内调 节组件呈L型块状，顶针内调节组件固定在大理石底座上端；
[0023]顶针X轴方向调节螺栓横向设置，顶针X轴方向调节螺栓与顶针内调节组件螺旋连接并 且可带动顶针移动底座在X轴方向移动；
[0024]顶针Y轴方向调节螺栓纵向设置，顶针Y轴方向调节螺栓与顶针内调节组件螺旋连接并 且可带动顶针移动底座在Y轴方向移动；
[0025]推顶器帽X轴方向调节螺钉横向设置，调节推顶器帽X轴方向上的移动；推顶器帽Y轴 方向调节螺钉纵向设置，调节推顶器帽Y轴方向上的移动。
[0026]优选的，所述第一分选吸嘴机构包括第一吸嘴杆、安装在第一吸嘴杆下端的第一吸嘴和 安装在第一吸嘴杆上端的第一吸嘴帽；
[0027]所述分选机体内设置有真空气压转换装置，第一吸嘴杆的侧端设置有第一气管，
第一气 管与真空气压转换装置内的第一气路出口组件连接，所述第一吸嘴帽螺旋连接在第一吸嘴杆 上端，第一吸嘴帽的上端面内开设有第一透光圆孔，第一吸嘴杆的上端面上开设有第一透光 阶梯孔，第一透光阶梯孔内设置有橡胶密封圈和透明镜片。
[0028]优选的，所述第二分选吸嘴机构包括第二吸嘴杆、安装在第二吸嘴杆下端的第二吸嘴和 安装在第二吸嘴杆上端的第二吸嘴帽；第二吸嘴杆的侧端设置有第二气管，第二气管与真空 气压转换装置内的第二气路出口组件连接；
[0029]所述第二吸嘴帽螺旋连接在第二吸嘴杆上端，第二吸嘴帽的上端面内开设有第二透光圆 孔，第二吸嘴杆的上端面上开设有第二透光阶梯孔，第二透光阶梯孔内设置有橡胶密封圈和 透明镜片。
[0030]本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.用于LED半导体晶片分选机的新型校准系统，包括分选机体、第一电机支座和硅圆片承载台，第一电机支座安装在分选机体上，第一电机支座的下方设置硅圆片承载台，第一电机支座内安装有直驱旋转电机，其特征在于，所述第一电机支座的前后两端分别安装有第一相机定位机构和第二相机定位机构，直驱旋转电机的下部穿过第一电机支座后连接有分选摆臂机构，硅圆片承载台下方的分选机体上设置有推顶器机构；第一相机定位机构包括连接在第一电机支座上的第一相机固定支架，第一相机固定支架上定位卡接有第一镜头组件，第一镜头组件上端连有第一CCD相机组件，第一镜头组件的下端连有第一同轴光源组件；分选摆臂机构包括旋转基座，旋转基座的两侧分别连有第一升降组件和第二升降组件，第一升降组件通过第一螺钉调节机构连接有第一摆臂组件，第二升降组件通过第二螺钉调节机构连接有第二摆臂组件；第一摆臂组件的端部连接有第一分选吸嘴机构，第二摆臂组件的端部连有第二分选吸嘴机构，第一分选吸嘴机构位于第一相机定位机构的下方，第二分选吸嘴机构位于第二相机定位机构的下方；所述推顶器机构包括顶针内调节组件和推顶器帽调节组件，顶针内调节组件上通过顶针X轴方向调节螺栓、顶针Y轴方向调节螺栓连接有顶针移动底座，顶针移动底座的两侧连接有推顶器锁紧螺栓；顶针移动底座上端通过顶推器驱动组件连接有推顶器顶针和推顶器帽，推顶器帽上安装有推顶器帽X轴方向调节螺钉和推顶器帽Y轴方向调节螺钉。2.根据权利要求1所述的用于LED半导体晶片分选机的新型校准系统，其特征在于，所述第一电机支座为Π形状的大理石板，第一电机支座的中部开设有第一支座安装孔；直驱旋转电机定位卡接在第一支座安装孔内并通过减震垫和螺栓固定；所述直驱旋转电机的下部通过螺栓与旋转基座连接，旋转基座和直驱旋转电机中心孔内装配有电机电缆、光栅编码器电缆和气路气管，直驱旋转电机带动旋转基座旋转；旋转基座带动第一摆臂组件和第二摆臂组件旋转。3.根据权利要求1所述的用于LED半导体晶片分选机的新型校准系统，其特征在于，所述第一螺钉调节机构包括第一圆周方向调节锁紧螺钉组件和第一轴线方向调节锁紧螺钉组件；第一摆臂组件通过第一圆周方向调节锁紧螺钉组件调整圆周方向的定位位置，第一摆臂组件通过第一轴线方向调节锁紧螺钉组件调整轴线方向的定位位置；第一圆周方向调节锁紧螺钉组件包括第一圆周调节螺钉和第一圆轴锁紧螺钉；第一轴线方向调节锁紧螺钉组件包括第一轴线调节螺钉和第一轴线锁紧螺钉。4.根据权利要求1所述的用于LED半导体晶片分选机的新型校准系统，其特征在于，所述第二螺钉调节机构包括第二圆周方向调节锁紧螺钉组件和第二轴线方向调节锁紧螺钉组件；第二摆臂组件通过第二圆周方向调节锁紧螺钉组件调整圆周方向的定位位置，第二摆臂组件通过第二轴线方向调节锁紧螺钉组件调整轴线方向的定位位置；第二圆周方向调节锁紧螺钉组件包括第二圆周调节螺钉和第二圆轴锁紧螺钉；第二轴线方向调节锁紧螺钉组件包括第二轴线调节螺钉和第二轴线锁紧螺钉。5.根据权利要...

【专利技术属性】
技术研发人员：王耀荣，王振海，崔培豹，杨索和，生鲁江，
申请(专利权)人：青岛中科墨云智能有限公司，
类型：发明
国别省市：