一种用于半导体晶片加工的摆臂校准结构制造技术

本实用新型专利技术公开一种用于半导体晶片加工的摆臂校准结构，包括摆臂支座、摆臂机构和管线机构，摆臂支座包括主摆臂支架、旋转电机连接座和管线定位器，旋转电机连接座连接在主摆臂支架上，旋转电机定位座的上端中部开设有连接管线定位器的第一凹槽，第一凹槽两侧分别设有第一管线走线槽和第二管线走线槽；摆臂机构包括第一摆臂、第二摆臂、第一吸嘴组件和第二吸嘴组件，主摆臂支架上连有第一音圈电机组件和第二音圈电机组件；管线机构包括第一电机导线、第二电机导线、第一气管和第二气管，第一摆臂上设有第一气管定位组件，第二摆臂上设有第二气管定位组件。该摆臂校准结构简单新颖，容易校准，性能稳定，并且线路定位合理，后期维护方便简单。方便简单。方便简单。

【技术实现步骤摘要】
一种用于半导体晶片加工的摆臂校准结构


[0001]本技术涉及半导体晶片生产设备，具体涉及一种用于半导体晶片加工的摆臂校准结构。

技术介绍

[0002]从近几年开始，LED半导体晶片迅速向显示领域扩展，随着Mini LED和Micro LED晶片的出现和飞速发展，要求晶片分选机能够分选更小尺寸的晶片，势必要求高速旋转摆动的摆臂更加高速、稳定，且变形率小。目前的半导体晶片生产设备中的摆臂和摆臂校准机构，给生产更小尺寸晶片带来困难。现有的摆臂和摆臂校准机构结构复杂，并且摆臂上的管线较多不易整理，特别是气嘴连接的气管悬浮在摆臂上方，在摆臂移动时，气管也会随意摆动，虽然能够正常工作，但是气管摆动过于频繁后，气管与气嘴接口处容易脱落，后期维护维修频繁。

技术实现思路

[0003]本技术的目的在于提供一种用于半导体晶片加工的摆臂校准结构，该摆臂校准结构简单新颖，容易校准，性能稳定，并且线路定位合理，后期维护方便简单。
[0004]本技术为了实现上述目的，采用的技术解决方案是：
[0005]一种用于半导体晶片加工的摆臂校准结构，包括摆臂支座、摆臂机构和管线机构，摆臂支座包括主摆臂支架、旋转电机连接座和管线定位器，旋转电机连接座通过螺栓连接在主摆臂支架的上端，旋转电机定位座的上端中部开设有连接管线定位器的第一凹槽，第一凹槽两侧分别设置有第一管线走线槽和第二管线走线槽；
[0006]所述摆臂机构包括第一摆臂和第二摆臂，主摆臂支架的两侧分别连接有用于驱动第一摆臂升降的第一音圈电机组件和用于驱动第二摆臂升降的第二音圈电机组件；第一摆臂的端头部连接有第一吸嘴组件，第二摆臂的端头部连接有第二吸嘴组件；
[0007]所述管线机构包括第一电机导线、第二电机导线、第一气管和第二气管，第一摆臂上设置有用于连接第一气管的第一气管定位组件，第二摆臂上设置有用于连接第二气管的第二气管定位组件，第一气管的一端与第一吸嘴组件连接，第二气管与第二吸嘴组件连接。
[0008]优选的，所述第一音圈电机组件一侧的主摆臂支架上安装有检测第一摆臂升降位置的第一光栅尺、第一读数头，第二音圈电机组件一侧的主摆臂支架上安装有检测第二摆臂升降位置的第二光栅尺、第二读数头。
[0009]优选的，所述第一摆臂包括第一内定位块、第一中定位块和第一外支臂，第一内定位块的内端通过第一摆臂定位销、第一摆臂锁紧螺丝与第一音圈电机组件连接；
[0010]第一内定位块的上端开设有第一轴向滑动槽，第一轴向滑动槽通过第一轴向固定螺丝与第一中定位块连接，第一轴向滑动槽内设置有调节第一中定位块轴向位置的第一轴向调节螺丝。
[0011]优选的，所述第一中定位块上开设有第一X轴方向滑动槽，第一外支臂的端部通过
第一X轴固定螺丝连接在第一X轴方向滑动槽内；第一中定位块的侧壁上设置在用于调节第一外支臂的第一X轴方向调节螺丝；
[0012]所述第一外支臂的外端部上开设有第一吸嘴定位夹槽，第一吸嘴组件连接在第一吸嘴定位夹槽内并通过第一夹槽锁紧螺栓固定。
[0013]优选的，所述第二摆臂包括第二内定位块、第二中定位块和第二外支臂，第二内定位块的内端通过第二摆臂定位销、第二摆臂锁紧螺丝与第二音圈电机组件连接；
[0014]第二内定位块的上端开设有第二轴向滑动槽，第二轴向滑动槽通过第二轴向固定螺丝与第二中定位块连接，第二轴向滑动槽内设置有调节第二中定位块轴向位置的第二轴向调节螺丝。
[0015]优选的，所述第二中定位块上开设有第二X轴方向滑动槽，第二外支臂的端部通过第二X轴固定螺丝连接在第二X轴方向滑动槽内；第二中定位块的侧壁上设置在用于调节第二外支臂的第二X轴方向调节螺丝；
[0016]所述第二外支臂的外端部上开设有第二吸嘴定位夹槽，第二吸嘴组件连接在第二吸嘴定位夹槽内并通过第二夹槽锁紧螺栓固定。
[0017]优选的，所述第一气管定位组件包括第一气管下定位块和第一上夹紧块，第一气管下定位块上设置有螺纹，第一上夹紧块的下端面开设有第一螺纹孔，第一上夹紧块通过第一螺纹孔连接在第一气管下定位块上，第一上夹紧块内开设有第一气管夹持槽口；
[0018]第二气管定位组件包括第二气管下定位块和第二上夹紧块，第二气管下定位块上设置有螺纹，第二上夹紧块的下端面开设有第二螺纹孔，第二上夹紧块通过第二螺纹孔连接在第二气管下定位块上，第二上夹紧块内开设有第二气管夹持槽口。
[0019]优选的，所述第一吸嘴组件和第二吸嘴组件均为通气式吸嘴组件，通气式吸嘴组件包括夹紧吸嘴管部，夹紧吸嘴管部上下两端分别连有吸嘴管顶部和橡胶吸嘴，吸嘴管顶部内设有吸嘴透明窗，吸嘴管顶部侧端连接有气管接头。
[0020]优选的，所述第一凹槽呈圆形凹槽状，第一管线走线槽和第二管线走线槽均呈条形凹槽状，第一管线走线槽内和第二管线走线槽内均设置有线路盖板，线路盖板呈长方形板状。
[0021]优选的，所述管线定位器呈圆形块状，管线定位器内开设有管线定位孔，管线定位孔内设置有橡胶环定位套。
[0022]本技术的有益效果是：
[0023]上述用于半导体晶片加工的摆臂校准结构在安装时，安装到半导体晶片加工设备的直驱旋转电机的转轴上，直驱旋转电机通过旋转电机连接座带动摆臂支座转动，摆臂支座转动后带动第一摆臂和第二摆臂转动。本技术中设置有新型的摆臂支座，摆臂支座不仅可方便的与直驱旋转电机连接，并且管线定位器可更好定位管线机构。音圈电机的电缆、读数头的电缆、吸嘴的气管经过摆臂支座后，从直驱旋转电机中央的轴孔穿过，在直驱旋转电机轴孔上端有电缆和气管的缓冲装置。
[0024]本技术中设置有新型的摆臂，摆臂的纵向和横向的调节更方便准确，并且在摆臂上设置有气管定位组件，气管定位组件为气管下定位块和上夹紧块的连接结构，上夹紧块可定位气管，并且上夹紧块螺旋连接在气管下定位块上，可更方便的调节气管夹持槽口的朝向。吸嘴机构包括夹紧吸嘴管部，夹紧吸嘴管部上下两端分别连有吸嘴管顶部和橡
胶吸嘴，吸嘴管顶部内设有吸嘴透明窗，吸嘴管顶部侧端连接有气管接头，吸嘴的透明窗采用透明树脂，吸嘴透明窗直接用树脂胶密封在吸嘴杆上，不使用吸嘴帽，吸嘴结构简单，密封性好，吸嘴孔图像清楚。
附图说明
[0025]为了清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0026]图1是用于半导体晶片加工的摆臂校准结构整体结构示意图。
[0027]图2是摆臂支座整体结构示意图。
[0028]图3是第一摆臂整体结构示意图。
[0029]图4是通气式吸嘴组件整体结构示意图。
具体实施方式
[0030]本技术提供了一种用于半导体晶片加工的摆臂校准结构，为使本技术的目的、技术方案及本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于半导体晶片加工的摆臂校准结构，其特征在于，包括摆臂支座、摆臂机构和管线机构，摆臂支座包括主摆臂支架、旋转电机连接座和管线定位器，旋转电机连接座通过螺栓连接在主摆臂支架的上端，旋转电机定位座的上端中部开设有连接管线定位器的第一凹槽，第一凹槽两侧分别设置有第一管线走线槽和第二管线走线槽；所述摆臂机构包括第一摆臂和第二摆臂，主摆臂支架的两侧分别连接有用于驱动第一摆臂升降的第一音圈电机组件和用于驱动第二摆臂升降的第二音圈电机组件；第一摆臂的端头部连接有第一吸嘴组件，第二摆臂的端头部连接有第二吸嘴组件；所述管线机构包括第一电机导线、第二电机导线、第一气管和第二气管，第一摆臂上设置有用于连接第一气管的第一气管定位组件，第二摆臂上设置有用于连接第二气管的第二气管定位组件，第一气管的一端与第一吸嘴组件连接，第二气管与第二吸嘴组件连接。2.根据权利要求1所述的一种用于半导体晶片加工的摆臂校准结构，其特征在于，所述第一音圈电机组件一侧的主摆臂支架上安装有检测第一摆臂升降位置的第一光栅尺、第一读数头，第二音圈电机组件一侧的主摆臂支架上安装有检测第二摆臂升降位置的第二光栅尺、第二读数头。3.根据权利要求1所述的一种用于半导体晶片加工的摆臂校准结构，其特征在于，所述第一摆臂包括第一内定位块、第一中定位块和第一外支臂，第一内定位块的内端通过第一摆臂定位销、第一摆臂锁紧螺丝与第一音圈电机组件连接；第一内定位块的上端开设有第一轴向滑动槽，第一轴向滑动槽通过第一轴向固定螺丝与第一中定位块连接，第一轴向滑动槽内设置有调节第一中定位块轴向位置的第一轴向调节螺丝。4.根据权利要求3所述的一种用于半导体晶片加工的摆臂校准结构，其特征在于，所述第一中定位块上开设有第一X轴方向滑动槽，第一外支臂的端部通过第一X轴固定螺丝连接在第一X轴方向滑动槽内；第一中定位块的侧壁上设置在用于调节第一外支臂的第一X轴方向调节螺丝；所述第一外支臂的外端部上开设有第一吸嘴定位夹槽，第一吸嘴组件连接在第一吸嘴定位夹槽内并通过第一夹槽锁紧螺栓固定。5.根据权利要求1所述的一种用于半导体晶片加工的摆臂校准结构，其特征在于，所述第二摆臂包括第...

【专利技术属性】
技术研发人员：王耀荣，王振海，盛沙，崔培豹，杨索和，生鲁江，
申请(专利权)人：青岛中科墨云智能有限公司，
类型：新型
国别省市：