一种半导体芯片生产设备的机械手传送装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种半导体芯片生产设备的机械手传送装置，包括移动座，所述移动座的底部固定安装有电动推杆，所述电动推杆的输出端固定安装有吸取机构，所述吸取机构的下方设置有若干个输送辊，所述输送辊上设置有输送带，所述输送带上固定安装有若干个放置盘，本实用新型专利技术为一种半导体芯片生产设备的机械手传送装置，通过设置定位凸起、升降筒和密封头等，达到了适配性高，方便调节，抓取时定位精度高，抓取效果稳定等效果，解决了目前的机械手传送装置通常位置固定，不便于调节，且吸取基板板材时定位精度较差的问题。板板材时定位精度较差的问题。板板材时定位精度较差的问题。

【技术实现步骤摘要】
一种半导体芯片生产设备的机械手传送装置


[0001]本技术涉及半导体芯片生产加工
，具体为一种半导体芯片生产设备的机械手传送装置。

技术介绍

[0002]半导体芯片是指在半导体片材上进行浸蚀，布线，制成的能实现某种功能的半导体器件，不只是硅芯片，常见的还包括砷化镓，锗等半导体材料。半导体也像汽车有潮流。二十世纪七十年代，因特尔等美国企业在动态随机存取内存(D
‑
RAM)市场占上风。但由于大型计算机的出现，需要高性能D
‑
RAM的二十世纪八十年代，日本企业名列前茅。
[0003]目前的半导体芯片生产过程中，常常需要对半导体芯片的基板板材进行输送和转移，目前的机械手传送装置通常位置固定，不便于调节，且吸取基板板材时定位精度较差。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种半导体芯片生产设备的机械手传送装置，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0005]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：
[0006]一种半导体芯片生产设备的机械手传送装置，包括移动座，所述移动本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种半导体芯片生产设备的机械手传送装置，包括移动座（1），其特征在于：所述移动座（1）的底部固定安装有电动推杆（2），所述电动推杆（2）的输出端固定安装有吸取机构（3），所述吸取机构（3）的下方设置有若干个输送辊（4），所述输送辊（4）上设置有输送带（5），所述输送带（5）上固定安装有若干个放置盘（6），所述放置盘（6）上放置有芯片板材，所述吸取机构（3）与放置盘（6）之间设置有定位组件，所述移动座（1）设置在移动机构上。2.根据权利要求1所述的一种半导体芯片生产设备的机械手传送装置，其特征在于：所述移动机构包括移动架（13），所述移动架（13）的内部转动安装有丝杆（14），所述移动架（13）的左侧端面上固定安装有丝杆电机（15），所述丝杆电机（15）的输出端与丝杆（14）固定连接，所述移动座（1）设置在移动架（13）上且与丝杆（14）配合。3.根据权利要求2所述的一种半导体芯片生产设备的机械手传送装置，其特征在于：所述移动架（13）的后端面上固定安装有升降筒（10），所述升降筒（10）的下方设置有底座（8），所述底座（8）上固定安装有定位杆（9），...

【专利技术属性】
技术研发人员：刁垒超，
申请(专利权)人：苏州万高半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：