下载一种半导体芯片生产设备的机械手传送装置的技术资料

文档序号:30880618

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本实用新型公开了一种半导体芯片生产设备的机械手传送装置,包括移动座,所述移动座的底部固定安装有电动推杆,所述电动推杆的输出端固定安装有吸取机构,所述吸取机构的下方设置有若干个输送辊,所述输送辊上设置有输送带,所述输送带上固定安装有若干个放置...
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