一种用于半导体生产设备的移动装配式推顶器校准装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开一种用于半导体生产设备的移动装配式推顶器校准装置，包括推顶器、校准机构，校准机构包括固定块和调节框，调节框通过纵向调节组件和横向调节组件套接在固定块外，纵向调节组件包括第一压缩弹簧、第一柱头和第一顶紧螺钉，横向调节组件包括第二压缩弹簧、第二柱头和第二顶级螺钉，固定块的左端面上和前端面上分别开设第一盲孔和第二盲孔，第一压缩弹簧安装在第一盲孔内并通过第一柱头与调节框连接，第二压缩弹簧安装在第二盲孔内并通过第二柱头与调节框连接；第一顶紧螺钉、第二顶紧螺钉均穿过调节框后与固定块的后端面相接。该校准装置的整体的结构更简单新颖，加工安装也更方单，位置调节更准确，实用性高。高。高。

【技术实现步骤摘要】
一种用于半导体生产设备的移动装配式推顶器校准装置


[0001]本技术涉及LED生产设备领域，具体涉及一种用于半导体生产设备的移动装配式推顶器校准装置。

技术介绍

[0002]从近几年开始，LED半导体晶片迅速向显示领域扩展，随着Mini LED和Micro LED晶片的出现并飞速发展，要求晶片生产设备能够生产更小尺寸的晶片，要求推顶器机构升降推力大，更加微小、精密、稳定。目前的推顶器机构，长期采用一贯的模式，不能适应生产更小晶片尺寸的要求。LED生产设备中，对于推顶器的安装，一般是将推顶器安装在可纵向调节和横向调节的底座上，现有的可调节的底座结构，调节精度不高，并且调节范围不好把控，安装固定好后，不易调节。

技术实现思路

[0003]本技术的目的在于提供一种用于半导体生产设备的移动装配式推顶器校准装置，该校准装置的整体的结构更简单新颖，加工安装也更方单，位置调节更准确，实用性高。
[0004]本技术为了实现上述目的，采用的技术解决方案是：
[0005]一种用于半导体生产设备的移动装配式推顶器校准装置，包括推顶器，所述推顶器的下端连接有校准机构，校准机构包括固定块和调节框，固定块内连有第一固定螺钉，调节框通过纵向调节组件和横向调节组件套接在固定块外，调节框的外端部连有第二固定螺钉；
[0006]所述纵向调节组件包括第一压缩弹簧、第一柱头和第一顶紧螺钉，横向调节组件包括第二压缩弹簧、第二柱头和第二顶级螺钉，固定块的左端面上和前端面上分别开设第一盲孔和第二盲孔；
[0007]第一压缩弹簧安装在第一盲孔内并通过第一柱头与调节框的内壁连接，第二压缩弹簧安装在第二盲孔内并通过第二柱头与调节框的内壁连接；
[0008]第一顶紧螺钉穿过调节框后与固定块的右端面相接，第二顶紧螺钉穿过调节框后与固定块的后端面相接。
[0009]优选的，所述校准机构下端连接有移动底板机构，移动底板机构通过第三固定螺钉与半导体生产设备的机体底座连接。
[0010]优选的，所述移动底板机构包括固定支撑板，固定支撑板内开设有四个用于第三固定螺钉连接的第一撑板定位槽孔；
[0011]固定支撑板呈长方形板状，四个第一撑板定位槽孔分别设置在固定支撑板的四个端角处；每个第一撑板定位槽孔两侧的固定支撑板上设置有防滑纹。
[0012]优选的，所述第三固定螺钉包括第三钉头部和第三螺杆部，第三钉头部上端面内开设有内六角凹槽；所述固定支撑板的中部开设有多组用于连接第一固定螺钉连接的第一
螺钉连接孔组；
[0013]第一螺钉连接孔组两侧的固定支撑板上开设有多组用于第二固定螺钉连接的第二螺钉连接孔组。
[0014]优选的，所述固定块呈长方形块状，固定块的右上部和左下部开设有用于第一固定螺钉连接的第一固定块连接孔。
[0015]优选的，所述第一压缩弹簧和第二压缩弹簧均为圆弹簧；第一盲孔的内端面上设置有用于第一压缩弹簧卡接的第一环形卡槽，第二盲孔的内端面上设置有用于第二压缩弹簧卡接的第二环形卡槽。
[0016]优选的，所述第一柱头包括第一圆柱杆部和连接在第一圆柱杆部外端的第一半球头部；第二柱头包括第二圆柱杆部和连接在第二圆柱杆部外端的第二半球头部；第一压缩弹簧的与第一圆柱杆部的内端焊接，第二压缩弹簧的与第二圆柱杆部的内端焊接。
[0017]优选的，所述第一顶紧螺钉包括第一顶紧钉头部和连接在第一顶紧钉头部上的第一顶紧螺杆部；所述第二顶紧螺钉包括第二顶紧钉头部和连接在第二顶紧钉头部上的第二顶紧螺杆部；
[0018]所述调节框的右端面上开设有用于第一顶紧螺杆部连接的第一调节框螺纹孔，调节框的后端面上开设有用于第二顶紧螺杆部连接的第二调节框螺纹孔。
[0019]优选的，所述调节框包括方形框架部和连接在方形框架部两端的耳板部，耳板部内开设有用于第二固定螺钉连接的耳板槽孔。
[0020]本技术的有益效果是：
[0021]上述用于半导体生产设备的移动装配式推顶器校准装置中，推顶器下端连接有新型的校准机构，校准机构内设置有固定块和连接在固定块上的纵向调节组件和横向调节组件，在固定块的侧壁上开设有两盲孔，盲孔内安装高强度的压缩弹簧，外装柱头，该支撑结构实现调节框的稳定安全支撑。调节框侧面有螺丝孔，通过旋入的顶紧螺钉挤压固定块来改变自身位置，或者旋出螺钉改变自身位置，调节框在压缩弹簧的弹力作用下改变自身位置，移动时稳定可靠。
[0022]本技术中还设置有可调节校准机构的移动底板机构，通过调节校准机构在移动底板机构上的安装位置以及移动底板机构自身的安装按位置，来较大幅度的改变调节校准机构的位置。本技术中的用于半导体生产设备的移动装配式推顶器校准装置，整体的结构更简单新颖，加工安装更简单，位置调节更方便准确，实用性高。
附图说明
[0023]为了清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0024]图1是校准机构和移动底板机构结构位置示意图。
[0025]图2是校准机构、纵向调节组件和横向调节组件结构位置示意图。
[0026]图3是推顶器结构位置示意图。
具体实施方式
[0027]本技术提供了一种用于半导体生产设备的移动装配式推顶器校准装置，为使本技术的目的、技术方案及效果更加清楚、明确，以下对本技术进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅用以解释本技术，并不用于限定本技术。
[0028]下面结合附图对本技术进行详细说明：
[0029]结合图1至图3，一种用于半导体生产设备的移动装配式推顶器校准装置，包括推顶器1，推顶器1下端连接有校准机构，校准机构包括固定块2和调节框3，固定块2通过第一固定螺钉定位。调节框3通过纵向调节组件5和横向调节组件6套接在固定块2外，调节框3外端部通过第二固定螺钉41定位。
[0030]纵向调节组件5包括第一压缩弹簧51、第一柱头52和第一顶紧螺钉53，横向调节组件6包括第二压缩弹簧61、第二柱头62和第二顶级螺钉63，固定块2的左端面上和前端面上分别开设第一盲孔21和第二盲孔22，第一压缩弹簧51安装在第一盲孔21内并通过第一柱头52与调节框3的内壁连接，第二压缩弹簧61安装在第二盲孔22内并通过第二柱头62与调节框3的内壁连接。
[0031]第一顶紧螺钉53穿过调节框3后与固定块2的右端面相接，第二顶紧螺钉63穿过调节框3后与固定块2的后端面相接。
[0032]校准机构下端连接有移动底板机构7，移动底板机构7通过第三固定螺钉42与半导体生产设备的机体底座连接。移动底板机构7包括固定支撑板71，固定支撑板71内开设有四个用于第三固定螺钉42连接的第一撑板定位槽孔72。...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于半导体生产设备的移动装配式推顶器校准装置，包括推顶器，其特征在于，所述推顶器的下端连接有校准机构，校准机构包括固定块和调节框，固定块内连有第一固定螺钉，调节框通过纵向调节组件和横向调节组件套接在固定块外，调节框的外端部连有第二固定螺钉；所述纵向调节组件包括第一压缩弹簧、第一柱头和第一顶紧螺钉，横向调节组件包括第二压缩弹簧、第二柱头和第二顶级螺钉，固定块的左端面上和前端面上分别开设第一盲孔和第二盲孔；第一压缩弹簧安装在第一盲孔内并通过第一柱头与调节框的内壁连接，第二压缩弹簧安装在第二盲孔内并通过第二柱头与调节框的内壁连接；第一顶紧螺钉穿过调节框后与固定块的右端面相接，第二顶紧螺钉穿过调节框后与固定块的后端面相接。2.根据权利要求1所述的一种用于半导体生产设备的移动装配式推顶器校准装置，其特征在于，所述校准机构下端连接有移动底板机构，移动底板机构通过第三固定螺钉与半导体生产设备的机体底座连接。3.根据权利要求2所述的一种用于半导体生产设备的移动装配式推顶器校准装置，其特征在于，所述移动底板机构包括固定支撑板，固定支撑板内开设有四个用于第三固定螺钉连接的第一撑板定位槽孔；固定支撑板呈长方形板状，四个第一撑板定位槽孔分别设置在固定支撑板的四个端角处；每个第一撑板定位槽孔两侧的固定支撑板上设置有防滑纹。4.根据权利要求3所述的一种用于半导体生产设备的移动装配式推顶器校准装置，其特征在于，所述第三固定螺钉包括第三钉头部和第三螺杆部，第三钉头部上端面内开设有内六角凹槽；所述固定支撑板的中部开设有多组用于连接第一固定螺钉连接的第一螺钉连接孔组；第一螺钉连接孔组...

【专利技术属性】
技术研发人员：崔培豹，王振海，王耀荣，盛沙，生鲁江，
申请(专利权)人：青岛中科墨云智能有限公司，
类型：新型
国别省市：