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本实用新型公开一种用于半导体生产设备中的新型推顶结构，包括顶针推顶机构、顶针升降机构、顶针锁紧机构、推顶器底座和固定基座组件；固定基座组件包括第一L形丝孔块，推顶器底座通过第一X轴底座校准螺丝组件和第一Y轴底座校准螺丝组件连接在第一L形丝孔...
该专利属于青岛中科墨云智能有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过青岛中科墨云智能有限公司授权不得商用。

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