基板固定装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及一种基板固定装置，包括：操作台部，安装于转轴部并旋转，所述操作台部对基板进行支承且与所述转轴部通电；固定部，沿所述操作台部的圆周方向安装有多个，对所述基板进行固定并与所述基板通电；以及驱动部，在所述操作台部的内部移动并使所述固定部旋转，并且与所述操作台部通电。该基板固定装置能够迅速消除在基板处理过程中产生的静电，从而防止基板不良。基板不良。基板不良。

【技术实现步骤摘要】
基板固定装置


[0001]本专利技术涉及一种基板固定装置，更详细而言，涉及一种能够阻断基板处理过程中产生的静电从而防止基板不良的基板固定装置。

技术介绍

[0002]通常，在半导体装置或液晶显示装置等的制造工序中所使用的基板处理装置设置有枚叶式的处理单元，所述处理单元包括：旋转夹钳，几乎水平支承基板来使其旋转；以及喷嘴，用于向由旋转夹钳进行支承的基板供给处理液。
[0003]而且，用于对基板进行擦洗清洗的处理单元设置有用于对由旋转夹钳进行支承的基板进行擦洗清洗的刷子。
[0004]但是，以往存在如下的问题，即，如果在基板处理过程中在基板产生静电，则引起基板不良。因此，有必要对其进行改善。
[0005]本专利技术的
技术介绍
公开在韩国公开专利公报第2015
‑
0015346号(2015.02.10.公开，专利技术的名称：基板处理装置)。

技术实现思路

[0006]要解决的技术问题
[0007]本专利技术是为了解决上述技术问题提出的，目的在于提供一种能够阻断基板处理过程中产生的静电从而防止基板不良的基板固定装置。
[0008]解决技术问题的手段
[0009]根据本专利技术的基板固定装置，其特征在于，包括：操作台部，安装于转轴部并旋转，所述操作台部对基板进行支承且与所述转轴部通电；固定部，沿所述操作台部的圆周方向安装有多个，对所述基板进行固定并与所述基板通电；以及驱动部，在所述操作台部的内部移动并使所述固定部旋转，并且与所述操作台部通电。/>[0010]所述操作台部特征在于，包括：中心操作台部，与所述转轴部结合；下部操作台部，与所述中心操作台部结合；以及上部操作台部，与所述下部操作台部结合以覆盖所述下部操作台部的上部；以及支承操作台部，沿所述上部操作台部的圆周方向配置多个，并且供所述基板放置。
[0011]所述固定部特征在于，包括：固定旋转部，以能够旋转的方式安装于所述操作台部，并通过所述驱动部的直线移动而旋转；以及固定夹钳部，在所述固定旋转部的上侧突出，随着所述固定旋转部的旋转与所述基板的边缘紧贴或分离。
[0012]所述驱动部特征在于，包括：驱动调节部，配置于所述转轴部，并且能够调节上下长度；驱动升降部，安装于所述操作台部，并且能够通过所述驱动调节部进行上下移动；驱动旋转部，以能够旋转的方式安装于所述操作台部，并且通过所述驱动升降部的上下移动而旋转；以及驱动连杆部，所述驱动连杆部的两端部与所述驱动旋转部和所述固定部连接，随着所述驱动旋转部进行旋转，推动所述固定部而使所述固定部旋转。
[0013]所述驱动调节部特征在于：包括：调节气缸部，内置于所述转轴部，所述调节气缸部的长度沿着上下方向被拉长或缩短；以及调节销部，在所述调节气缸部的上侧形成为一个以上，通过插入于所述操作台部从而使所述驱动升降部进行上下移动。
[0014]所述驱动升降部特征在于，包括：升降下板部，内置于所述操作台部，通过插入于所述操作台部的所述驱动调节部而朝向上方移动；升降侧板部，从所述升降下板部的内侧朝向上方延伸；升降上板部，从所述升降侧板部朝向侧方延伸并以与所述升降下板部相对的方式配置；以及升降复原部，放置于所述升降下板部，贯通所述升降上板部并弹性支承所述操作台部。
[0015]所述驱动旋转部特征在于，包括：旋转支承部，安装于所述操作台部；旋转轴部，形成于所述旋转支承部；以及旋转变换部，以能够旋转的方式安装于所述旋转轴部，通过所述驱动升降部的上下移动而旋转，所述旋转变换部引导所述驱动连杆部的左右移动。
[0016]所述驱动部特征在于，还包括：驱动保持部，内置于所述操作台部，并且对所述驱动连杆部进行限制，以使所述基板处于夹持状态。
[0017]所述驱动保持部特征在于，包括：保持固定部，安装于所述操作台部，并且以横跨所述驱动连杆部的方式配置；保持旋转部，所述保持旋转部的中心部以能够旋转的方式安装于所述保持固定部，所述保持旋转部的一端与所述驱动连杆部连接；以及保持荷重部，安装于所述保持旋转部的另一端，在所述基板旋转时通过离心力使所述保持旋转部向一个方向进行旋转。
[0018]专利技术的效果
[0019]根据本专利技术的基板固定装置能够迅速消除在基板处理过程中产生的静电，从而防止基板不良。
附图说明
[0020]图1为简要示出根据本专利技术一实施例的基板处理系统的图。
[0021]图2为简要示出根据本专利技术一实施例的传送部的图。
[0022]图3为简要示出根据本专利技术一实施例的等候部的图。
[0023]图4为简要示出根据本专利技术一实施例的带电防止部的图。
[0024]图5为简要示出根据本专利技术一实施例的处理部的图。
[0025]图6为简要示出根据本专利技术一实施例的操作台部的立体图。
[0026]图7为简要示出根据本专利技术一实施例的操作台部的截面图。
[0027]图8为简要示出根据本专利技术一实施例的驱动部的图。
[0028]图9为根据本专利技术一实施例的操作台部和转轴部的分解立体图。
[0029]图10为简要示出根据本专利技术一实施例的转轴部的截面图。
[0030]图11为简要示出根据本专利技术一实施例的基板夹持状态的俯视图。
[0031]图12为简要示出根据本专利技术一实施例的非夹持状态的俯视图。
[0032]附图标记的说明
[0033]10：移送部；11：移送主体部；12：移送工作部；13：移送把持部；20：等候部；21：等候基座部；22：等候托架部；23：等候支承部；30：处理部；40：防带电部；50：腔室部；51：腔室壳体部；52：腔室基座部；60：转轴部；70：操作台部；71：中心操作台部；72：下部操作台部；73：
上部操作台部；74：支承操作台部；80：固定部；81：固定旋转部；82：固定夹钳部；90：驱动部；91：驱动调节部；92：驱动升降部；93：驱动旋转部；94：驱动连杆部；95：驱动保持部。
具体实施方式
[0034]以下，参考附图说明根据本专利技术一实施例的基板固定装置的实施例。在此过程中，为了说明的明确性和便利性，可夸张示出附图中所示的多个线的厚度或结构要素的大小等。并且，后述的多个术语为以将本专利技术中的功能考虑在内的方式进行定义的术语，这可根据使用人员、应用人员的意图或惯例而不同。因此，这些术语应根据本说明书全文内容来定义。
[0035]图1为简要示出本专利技术一实施例的基板处理系统的图。参照图1，本专利技术一实施例的基板处理系统包括移送部10、等候部20以及处理部30。
[0036]多个移送部10向追加工序或之后工序移送基板100。移送部10与基板100通电，并且能够接地。作为一例，移送部10包含能够与基板100通电的材质而构成，移送部10可设置于地面并成为处于接地状态的移送机器人。
[0037]等候部20配置于相邻的传送部10之间。基板100在被传送至下一个传送部10之前在等候部20进行等候。等候部20与基板100通本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种基板处理用通电装置，其特征在于，包括：操作台部，安装于转轴部并旋转，所述操作台部对基板进行支承且与所述转轴部通电；固定部，沿所述操作台部的圆周方向安装有多个，对所述基板进行固定并与所述基板通电；以及驱动部，在所述操作台部的内部移动并使所述固定部旋转，并且与所述操作台部通电。2.根据权利要求1所述的基板处理用通电装置，其特征在于，所述操作台部包括：中心操作台部，与所述转轴部结合；下部操作台部，与所述中心操作台部结合；以及上部操作台部，与所述下部操作台部结合以覆盖所述下部操作台部的上部。3.根据权利要求2所述的基板处理用通电装置，其特征在于，所述操作台部还包括：支承操作台部，沿所述上部操作台部的圆周方向配置有多个，并且供所述基板放置。4.根据权利要求1所述的基板处理用通电装置，其特征在于，所述固定部包括：固定旋转部，以能够旋转的方式安装于所述操作台部，并通过所述驱动部的直线移动而旋转；以及固定夹钳部，在所述固定旋转部的上侧突出，随着所述固定旋转部的旋转与所述基板的边缘紧贴或分离。5.根据权利要求1所述的基板处理用通电装置，其特征在于，所述驱动部包括：驱动调节部，配置于所述转轴部，能够调节所述驱动调节部的上下长度；驱动升降部，安装于所述操作台部，并且能够通过所述驱动调节部进行上下移动；驱动旋转部，以能够旋转的方式安装于所述操作台部，并且通过所述驱动升降部的上下移动而旋转；以及驱动连杆部，所述驱动连杆部的两端部与所述驱动旋转部和所述固定部连接，随着所述驱动旋转部进行旋转，推动所述固定部而使所述固定部旋转。6.根据权利要求5所述的基板处理用通电装置，其特征在于，所述驱动...

【专利技术属性】
技术研发人员：白承大，金成烨，
申请(专利权)人：杰宜斯科技有限公司，
类型：发明
国别省市：