基板传送装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种基板传送装置，能够实现稳定且精确的基板传送。该基板传送装置包括：传送框架，在两端部处配备有与驱动部结合的连接框架；以及支撑框架，在上部处放置用于传送的基板，并且，具有结合支撑在所述传送框架上的中央支撑部和从所述中央支撑部向两侧延长形成的自由端部，其中，所述支撑框架包括：第一支撑框架，延长形成为在基板的宽度方向上具有第一长度，并且弯曲形成为在下部方向上凸出地具有预先设定的曲率；以及第二支撑框架，结合到所述第一支撑框架的下部，延长形成为具有比所述第一长度短的第二长度，并且，弯曲形成为具有与所述第一支撑框架的曲率相对应的曲率。

【技术实现步骤摘要】
基板传送装置
本专利技术涉及基板传送装置，详细而言，涉及一种基板传送装置，其可以对在基板传送时因支撑框架的自重和施加到支撑框架的负载而产生的下垂量进行校正来稳定且精确地传送基板。
技术介绍
通常，在显示器、半导体晶片、LCD、光掩模用玻璃等中使用的基板经过多种处理工序。例如，可以执行蚀刻、剥离、清洗、干燥等的单位工序等。在用于基板处理的单位工序等之间，必不可少地使用用于传送基板的基板传送装置。即，使用这样的方式：将从前处理工序生产线排出的基板以水平状态传送，并将其供给到后处理工序生产线，或将其储存在盒等中。另外，基板传送装置考虑到结构的简化和基板的装载和卸载时与周边结构物的干涉等的空间利用，通常采用悬臂(Cantilever)的形式。例如，支撑基板的支撑框架的中央部被固定支撑在驱动部上，而从中央部延长形成的另一端部采取自由端部的形式。此时，基板支撑框架实质上以水平状态设置，以便以水平状态支撑基板。然而，这种结构的基板支撑框架由于自重和基板的负载而在自由端部区域朝下部方向产生下垂现象。当被传送的基板的尺寸变大或支撑本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种基板传送装置，其特征在于，包括：/n传送框架，在两端部处配备有与驱动部结合的连接框架；以及/n支撑框架，在上部放置用于传送的基板，具有结合支撑在所述传送框架上的中央支撑部和从所述中央支撑部向两侧延长形成的自由端部，/n其中，所述支撑框架包括：/n第一支撑框架，延长形成为在基板的宽度方向上具有第一长度，并且，弯曲形成为在下部方向上凸出并具有预先设定的曲率；以及/n第二支撑框架，结合到所述第一支撑框架的下部，延长形成为具有比所述第一长度短的第二长度，并弯曲形成为具有与所述第一支撑框架的曲率相对应的曲率，/n由此防止在基板传送时由于所述支撑框架的自重和施加到所述支撑框架的负载而使所述自由端部...

【技术特征摘要】
20200103 KR 20-2020-00000301.一种基板传送装置，其特征在于，包括：
传送框架，在两端部处配备有与驱动部结合的连接框架；以及
支撑框架，在上部放置用于传送的基板，具有结合支撑在所述传送框架上的中央支撑部和从所述中央支撑部向两侧延长形成的自由端部，
其中，所述支撑框架包括：
第一支撑框架，延长形成为在基板的宽度方向上具有第一长度，并且，弯曲形成为在下部方向上凸出并具有预先设定的曲率；以及
第二支撑框架，结合到所述第一支撑框架的下部，延长形成为具有比所述第一长度短的第二长度，并弯曲形成为具有与所述第一支撑框架的曲率相对应的曲率，
由此防止在基板传送时由于所述支撑框架的自重和施加到所述支撑框架的负载而使所述自由端部的高度下降到比所述中央支撑部的高度低的高度。


2.根据权利要求1所述的基板传送装置，其特征在于，所述支撑框架还包括紧固部件，所述紧固部件结合成在所述第一支撑框架和所述第二支撑框架叠置的状态下使所述第...

【专利技术属性】
技术研发人员：朴庸硕，朴哲岐，
申请(专利权)人：显示器生产服务株式会社，
类型：发明
国别省市：韩国;KR