一种硅片上料装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开一种硅片上料装置，包括：基座；多块挡板，挡板安装在基座上，且挡板围绕形成上端开口的装配区；两条滑行槽，滑行槽分别设置在装配区相对的两侧面上；滑行单元，滑行单元安装在基座上，且滑行单元与滑行槽相配合；驱动单元，驱动单元安装在所述装配区内，且驱动单元与滑行单元连接带动滑行单元沿着滑行槽来回运动。本实用新型专利技术解决了现有技术中硅片加工效率不高的技术问题。

【技术实现步骤摘要】
一种硅片上料装置
本技术涉及硅片加工生产
，尤其涉及一种硅片上料装置。
技术介绍
硅片在加工前，需要对其进行电性能检测，传统方式是通过人工将一片硅片进行摆放，然后通过设备对硅片进行检测，检测完毕后，设备提醒报警方可再摆放另一片硅片，再人工将硅片取走，这样时间花费较多,工作效率低下。
技术实现思路
本技术的目的是提供一种硅片上料装置，解决了现有技术中硅片加工效率不高的技术问题。本申请实施例公开了一种硅片上料装置，包括：基座；多块挡板，所述挡板安装在所述基座上，且挡板围绕形成上端开口的装配区；两条滑行槽，所述滑行槽分别设置在所述装配区相对的两侧面上；滑行单元，所述滑行单元安装在所述基座上，且滑行单元与所述滑行槽相配合；驱动单元，所述驱动单元安装在所述装配区内，且驱动单元与所述滑行单元连接带动滑行单元沿着滑行槽来回运动。本申请实施例通过驱动单元带动滑行单元来回运动，以此同时完成上料和放料动作，提高工作效率。在上述技术方案的基础上，本申请实施例还可以做如下改进：进一步地，所述滑行单元包括：支撑板，所述支撑板两侧分别设置与所述滑行槽内部；两个U型取料架，所述U型取料架分别安装在支撑板相对的两侧，采用本步的有益效果是通过U型取料架能够完成上料、放料动作。进一步地，所述驱动单元包括：驱动电机，所述驱动电机安装在所述支撑板下方；主动齿轮，所述主动齿轮安装在所述驱动电机的输出端；两根齿条，所述齿条间隔安装在所述基座上；从动齿轮，所述从动齿轮安装在所述支撑板下方，且从动齿轮与所述主动齿轮啮合；传动轴，所述传动轴穿设在所述从动齿轮内部；两个传动齿轮，所述传动齿轮分别安装在所述传动轴的两端，且传动齿轮与所述齿条啮合，采用本步的有益效果是通过驱动电机提供动力，带动滑行单元来回运动。进一步地，所述齿条与所述滑行槽相互平行。进一步地，还包括两个盛料单元，所述盛料单元位于所述装配区内部，且盛料单元安装在所述基座两端。进一步地，所述盛料单元包括：伸缩液压缸，所述伸缩液压缸安装在基座内部，且伸缩液压缸的活塞杆伸出所述基座表面；升降板，所述升降板安装在所述伸缩液压缸的输出端；料架，所述料架安装在所述升降板上，采用本步的有益效果一个盛料单元作为未加工的硅片放置用，另一个作为加工完成后的硅片放置用。本申请实施例中提供的一个或者多个技术方案，至少具有如下技术效果或者优点：1.本申请实施例中的滑行单元有两个U型取料架，能够分别实现取料和放料的过程，这样能够提高工作效率，而盛料单元能够带动升降板上下运动，从而辅助硅片的取料的放料，这样能够代替人工操作，提高工作效率。附图说明为了更清楚地说明本技术具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本技术的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1为本技术具体实施例所述的一种硅片上料装置的俯视图；附图标记：1-基座；2-挡板；3-装配区；4-滑行槽；5-滑行单元；6-驱动单元；7-盛料单元；501-支撑板；502-U型取料架；601-驱动电机；602-主动齿轮；603-齿条；604-从动齿轮；605-传动轴；606-传动齿轮；701-伸缩液压缸；702-升降板；703-料架。具体实施方式下面将结合附图对本技术技术方案的实施例进行详细的描述。以下实施例仅用于更加清楚地说明本技术的技术方案，因此只作为示例，而不能以此来限制本技术的保护范围。需要注意的是，除非另有说明，本申请使用的技术术语或者科学术语应当为本技术所属领域技术人员所理解的通常意义。在本申请的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“内”、“外”、“顶”、“底”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。在本申请中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。本申请实施例提供的一种硅片上料装置，解决了现有技术中硅片加工效率低的技术问题。本申请实施例的总体思路如下：本申请实施例通过滑行单元带动硅片朝向硅片加工装置方向运动，待硅片加工装置吸附硅片后进行加工，滑行单元复位，使得滑行单元一侧的U型取料架与硅片料架相对应，另一侧的U型取料架与加工的硅片相对应，待硅片加工完成后，硅片落入另一侧的U型取料架上，滑行单元运动，将未加工的硅片送至加工装置处，另一侧的加工完成的硅片送至端部的料架上。为了更好的理解上述技术方案，下面将结合说明书附图以及具体实施方式对上述技术方案进行详细说明。实施例1如图1所示，本实施例所提供的一种硅片上料装置，包括：基座1；多块挡板2，所述挡板2安装在所述基座1上，且挡板2围绕形成上端开口的装配区3，本申请实施例中的挡板2起到防护作用，将加工区域分隔开，有效避免操作危险；两条滑行槽4，所述滑行槽4分别设置在所述装配区3相对的两侧面上，本申请实施例中的滑行槽4提供滑行轨迹，保证滑行单元能够稳定运动；滑行单元5，所述滑行单元5安装在所述基座1上，且滑行单元5与所述滑行槽4相配合，本申请实施例中的滑行单元5能够完成取料和放料操作，而滑行槽4为水平设置，这样滑行单元5就能够水平运动；驱动单元6，所述驱动单元6安装在所述装配区3内，且驱动单元6与所述滑行单元5连接带动滑行单元5沿着滑行槽4来回运动，本申请实施例中的驱动单元6能够带动滑行单元5来回运动，提供运动动力。具体地，本申请实施例中的所述滑行单元5包括：支撑板501，所述支撑板501两侧分别设置于所述滑行槽4内部，即支撑板501与滑行槽4相配合；两个U型取料架502，所述U型取料架502分别安装在支撑板501相对的两侧；本申请实施例中的U型取料架502有两个，其中一个用于取料，另一个用于在硅片加工完成后，放料。具体地，本申请实施例中的所述驱动单元6包括：驱动电机601，所述驱动电机601安装在所述支撑板501下方；主动齿轮602，所述主动齿轮602安装在所述驱动电机601的输出端；两根齿条603，所述齿条603间隔本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种硅片上料装置，其特征在于，包括：/n基座；/n多块挡板，所述挡板安装在所述基座上，且挡板围绕形成上端开口的装配区；/n两条滑行槽，所述滑行槽分别设置在所述装配区相对的两侧面上；/n滑行单元，所述滑行单元安装在所述基座上，且滑行单元与所述滑行槽相配合；/n驱动单元，所述驱动单元安装在所述装配区内，且驱动单元与所述滑行单元连接带动滑行单元沿着滑行槽来回运动。/n

【技术特征摘要】
1.一种硅片上料装置，其特征在于，包括：
基座；
多块挡板，所述挡板安装在所述基座上，且挡板围绕形成上端开口的装配区；
两条滑行槽，所述滑行槽分别设置在所述装配区相对的两侧面上；
滑行单元，所述滑行单元安装在所述基座上，且滑行单元与所述滑行槽相配合；
驱动单元，所述驱动单元安装在所述装配区内，且驱动单元与所述滑行单元连接带动滑行单元沿着滑行槽来回运动。


2.根据权利要求1所述的一种硅片上料装置，其特征在于，所述滑行单元包括：
支撑板，所述支撑板两侧分别设置于所述滑行槽内部；
两个U型取料架，所述U型取料架分别安装在支撑板相对的两侧。


3.根据权利要求2所述的一种硅片上料装置，其特征在于，所述驱动单元包括：
驱动电机，所述驱动电机安装在所述支撑板下方；
主动齿轮，所述主动齿轮安装在所述驱动电机的输出端；
...

【专利技术属性】
技术研发人员：李欢，
申请(专利权)人：扬州虹扬科技发展有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32