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基板传送装置制造方法及图纸
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文档序号:29146527
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本发明提供一种基板传送装置,能够实现稳定且精确的基板传送。该基板传送装置包括:传送框架,在两端部处配备有与驱动部结合的连接框架;以及支撑框架,在上部处放置用于传送的基板,并且,具有结合支撑在所述传送框架上的中央支撑部和从所述中央支撑部向两侧...
该专利属于显示器生产服务株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过显示器生产服务株式会社授权不得商用。
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