半导体制品的生产和生产设备及其电子交易系统与方法技术方案

一种半导体制品的电子交易系统，具有：在计算机内构建的与实际制造半导体制品的实际生产线１４具有实质上同样功能的、计算最佳批量进展方法的虚拟生产线１３；通过网络１０将虚拟生产线１３与顾客终端１１连接的连接服务器１２。将从顾客终端１１输入的条件通过连接服务器１２传送到虚拟生产线１３，在传送的条件下实时模拟制品可否在虚拟生产线１３上流动，将模拟结果通过连接服务器１２传送到顾客终端１１，按照模拟的结果进行交易。（*该技术在2021年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及用于通过网络进行半导体制品交易的半导体制品的电子交易方法和系统，以及用于在工厂中进行高效率经营的生产系统、生产方法、生产设备设计系统、生产设备设计方法，生产设备制造方法。
技术介绍
在已往的典型半导体工厂中，以月产数千批的规模生产存储器等通用品。在生产线内存在很多批，工期长，难于预测投放的制品何时出厂。即使在这种状况下，对于通用品，只要使投放的批量符合交货期，而不必予以特别的注意，也不会有太大的问题。另一方面，在SOC(单片系统)时代的半导体工厂中，考虑到根据顾客的要求，主要以月产数百批的规模生产系统LSI。在这种规模的小工厂中(以下称为小型加工厂mini-fab)，必须按使用者的要求投入需要的批量，进行适当的批量进展管理，遵守交货期。并且，必须确定能否按照使用者的要求(规格、数量、交货期、价格等)实际制造该制品。但是，在已往的小型加工厂中，难于进行严密的批量进展管理，也难于正确进行可否按交货期制造该制品的判定。对于系统LSI等的半导体制品，若构建成利用以互连网为主的网络的电子交易系统，则将特别增加商业机会。然而，由于存在上述批量进展管理和制品制造判定的困难，因此进行这种半导体制品的电子交易也是极其困难的。这样，对于已有的半导体工厂，难于正确进行批量进展管理和可否制造该制品的判定，特别是对于SOC时代的小型加工厂，这将是错过商业机会的主要原因。并且，已有的典型半导体工厂中，在各种工序所使用的装置，同一用途的通常有数台到数十台。因此，由于多批在同一种类的装置进行处理，则存在批量流程难于把握的问题。作为把握批量流程的系统，有タイシン公司的称为管理系统的软件。该软件是输入在制品各工序使用的装置和处理时间、装置群等信息，在计算机上虚拟使批量流动，从而进行批量流程的把握和生产线的最佳化，制订生产计划。为了实现生产线的最佳化和生产计划，首先将实际生产线中的批量进展信息、关于装置状态的信息、制品的工序信息等各种信息，传送到在计算机上虚拟构建的虚拟工厂。然后，将这些信息作为输入数据，进行批量的进展预想计算，再将得到的信息作为工作指示，传送到实际生产线。然而，对于月产数千批的大规模生产系统，由于计算机处理能力的限制，实际情况是对各种处理进行简化计算。因此，不一定要进行准确的模拟。作为类似的方法，提出了一种将生产试制系统的信息和实际系统的信息通过共有信息进行相互交流，利用进行模拟的结果管理生产或试制的制造工序的制造管理系统(特开平10-207506号公报)。然而，在该方法中，纳入虚拟工厂的主要是装置模拟和工序模拟、电路、形状、逻辑模拟等，不包含使批量流动的部分，因此存在不能预测批量流程的问题。图1表示用管理系统得到的生产量和工期的计算结果。图中，横轴表示生产线内的批量数(＝Work in ProcessWIP，在制品)，纵轴表示生产量(月平均生产量)和工期。由图可见，当WIP少时生产量大致与WIP成比例，工期为一定值。在这种状态下，不大会发生批量的等待。当WIP变大时，生产量的斜率渐渐变小，最后生产量为一定值。该生产量与妨碍生产流程的装置的处理能力相对应。在该领域。工期与WIP成比例地增加。为了加大生产线的生产率，必须增加生产量，而且缩短工期。为了使工期最短，必须减少等待批量数，在该图中必须使WIP在A附近。然而，生产量过小是不现实的。另一方面，为了使生产量最大，最好增大WIP以便在图的C附近，但工期变长了。因此，在图的B点附近经营是适当的。然而，由于生产装置的保养和故障、到达影响生产流程的装置的制品的波动，如图1中的虚线所示，生产量下降，生产率降低，为了防止生产量下降，必须进行恰当的处理，以便正确预测批量的进展，增加生产量，缩短工期。但是，对于上述大规模生产系统，由于计算机处理能力的限制，要简化各种处理，不能精确计算，因此难于严密预测批量的进展。另一方面，在某个装置处理批量时会产生几个选择枝。例如，在可同时处理多个批量的分批装置中，当1批量为等待批量时，必须进行应立即处理该批量或应等待其他批量到来的选择。当某装置中优先度较低的批量是等待批量，而且预想优先度较高的批量会在某时间后到来时，必须进行应该先处理该优先度较低的批量或者等待应先处理优先度较高的批量的选择。此外，在引入连续工序时(例如，前处理→氧化或CVD)→后处理，24小时以内)，应以哪种定时开始处理，也是存在的问题。从上述多个选择枝中选择其中适当1个的方法，根据状况可以为各种各样的。然而，在上述管理系统中，应专心规定选择哪种选择枝的规则，在该条件下进行批量进展的计算。因此，当上述选择枝产生时，在管理系统中不可能进行该计算，这也是应解决的大问题。这样，已往为了实现半导体生产线的最佳化和生产计划，必须模拟实际生产线上的各种处理，然而由于计算机处理能力的限制，实际情况是对各种处理进行简化计算，因此难于进行正确的模拟。严密预测批量的进展也是困难的。从多个选择枝中选择最适当1个的方法是根据情况变化的，用已有方法难于选择最适当的1个。
技术实现思路
本专利技术的目的是提供一种可以正确进行批量进展管理和可否制造该制品的判定、并可扩展商业机会的半导体制品的电子交易方法及系统。本专利技术的另一目的是提供可以正确模拟实际生产线上的各种处理，在比较小规模的工厂中也可以进行高效率经营的生产系统、生产方法、生产设备设计系统、生产设备设计方法、生产设备制造方法。为了解决上述课题，本专利技术采用下述构成。本专利技术是进行半导体制品的制造销售的从业者和购入半导体制品的购入者进行交易的半导体制品的电子交易方法，其特征是将购入者或其代理者使用的顾客终端与通过在计算机上对制造半导体制品的实际生产线的生产工序进行模拟的虚拟生产线连接，实时模拟购入者所希望的制品按购入者所希望的条件在虚拟生产线上流动的情况，以便判定是否可按购入者希望的条件制造该制品。另外的本专利技术是进行半导体制品的制造销售的从业者和购入半导体制品的购入者利用网络进行交易的半导体制品的电子交易方法，其特征是具有将在计算机上对制造半导体制品的实际生产线的生产工序进行模拟的虚拟生产线与购入者或其代理者使用的顾客终端通过网络进行连接的步骤；从上述顾客终端输入购入者应购入的制品及所希望的条件并传送到上述虚拟生产线的步骤；根据输入到上述虚拟生产线的制品及条件，按购入者所希望的条件实时模拟在该虚拟生产线上制品流动情况的步骤；将在该虚拟生产线上模拟的结果传送到上述顾客终端的步骤；对于上述模拟结果，从上述顾客终端回答可否做成生意的步骤；若生意成立，从上述虚拟生产线向上述实际生产线发出制造半导体制品的指示的步骤。另一个本专利技术是购入半导体制品的购入者利用网络与进行半导体制品的制造销售的从业者进行交易的半导体制品的电子交易方法，其特征是具有对于在计算机上模拟制造半导体制品的实际生产线的生产的虚拟生产线，通过网络连接购入者或其代理者使用的顾客终端的步骤；从上述顾客终端输入应购入的制品及其条件的步骤；根据上述输入的制品及条件，在上述顾客终端接收按购入者所希望的条件实时模拟在该虚拟生产线上制品流动情况的结果的步骤；对于上述接收的模拟结果，从顾客终端回答是否购入半导体制品的步骤。另一个本专利技术是进行半导体制品的制造销售的从业者利用网络与购入半导体制品的购入者进行交本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种进行半导体制品的制造销售的从业者和购入半导体制品的购入者进行交易的电子交易方法，其特征是该方法包含：将购入者或其代理者使用的顾客终端与通过在计算机上模拟进行半导体制品制造的实际生产线的生产工序构建的虚拟生产线连接，从上述顾客终端 接收购入者所希望制品的购入者所希望的条件，按照购入者所希望条件实时模拟上述购入者所希望制品在虚拟生产线的流动情况，判定可否按照购入者所希望条件制造该制品。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：光武邦宽，奥村胜弥，
申请(专利权)人：株式会社东芝，
类型：发明
国别省市：JP[日本]