【技术实现步骤摘要】
一种芯片加工用晶圆精确定位装置
本技术涉及晶圆精确定位装置领域,特别涉及一种芯片加工用晶圆精确定位装置。
技术介绍
晶圆是用于制作硅半导体积体电路所用的一种硅晶片,其以硅作为原材料,在对于其进行加工的过程中,需要对于其进行精确的定位,现有公开专利CN209868385U中的晶圆精确定位装置,在使用过程中存在弊端,对于晶圆的摆放不是很好,且固定不是很全面,其次,对于晶圆进行加工的时候,不能对于它进行升高台面,为此,我们提出一种芯片加工用晶圆精确定位装置。
技术实现思路
本技术的主要目的在于提供一种芯片加工用晶圆精确定位装置,可以有效解决
技术介绍
中的问题。为实现上述目的,本技术采取的技术方案为:一种芯片加工用晶圆精确定位装置,包括定位装架,所述定位装架的内端设置有操作台,所述操作台的前端外表面设置有下齿槽,所述下齿槽的上端内表面设置有齿轮,所述齿轮的外端对应下齿槽的上端设置有上滑槽,所述上滑槽的外端对应齿轮的前端设置有把手,所述把手的后端对应齿轮的中央设置有转轴,所述转轴的后端对应操作台的内端设置有限位块,所述限位块的外端设置有滑动底板,所述滑动底板的外端设置有滑动槽,所述滑动槽的上端对应滑动底板的上端设置有固定卡板,所述操作台的中央上表面设置有阻力盘,所述阻力盘的中央设置有固定孔,所述固定孔的内端设置有固定螺丝,所述固定螺丝的下端对应阻力盘的下端设置有固定杆,所述固定杆的中央设置有贯穿孔,所述贯穿孔的内端设置有连接轴,所述阻力盘的下端设置有上底座,所述上底座的外端设置有下底座,所述下底座 ...
【技术保护点】
1.一种芯片加工用晶圆精确定位装置,包括定位装架(1),其特征在于:所述定位装架(1)的内端设置有操作台(2),所述操作台(2)的前端外表面设置有下齿槽(4),所述下齿槽(4)的上端内表面设置有齿轮(5),所述齿轮(5)的外端对应下齿槽(4)的上端设置有上滑槽(3),所述上滑槽(3)的外端对应齿轮(5)的前端设置有把手(7),所述把手(7)的后端对应齿轮(5)的中央设置有转轴(6),所述转轴(6)的后端对应操作台(2)的内端设置有限位块(8),所述限位块(8)的外端设置有滑动底板(9),所述滑动底板(9)的外端设置有滑动槽(10),所述滑动槽(10)的上端对应滑动底板(9)的上端设置有固定卡板(11),所述操作台(2)的中央上表面设置有阻力盘(15),所述阻力盘(15)的中央设置有固定孔(13),所述固定孔(13)的内端设置有固定螺丝(14),所述固定螺丝(14)的下端对应阻力盘(15)的下端设置有固定杆(19),所述固定杆(19)的中央设置有贯穿孔(17),所述贯穿孔(17)的内端设置有连接轴(16),所述阻力盘(15)的下端设置有上底座(12),所述上底座(12)的外端设置有下底座 ...
【技术特征摘要】
1.一种芯片加工用晶圆精确定位装置,包括定位装架(1),其特征在于:所述定位装架(1)的内端设置有操作台(2),所述操作台(2)的前端外表面设置有下齿槽(4),所述下齿槽(4)的上端内表面设置有齿轮(5),所述齿轮(5)的外端对应下齿槽(4)的上端设置有上滑槽(3),所述上滑槽(3)的外端对应齿轮(5)的前端设置有把手(7),所述把手(7)的后端对应齿轮(5)的中央设置有转轴(6),所述转轴(6)的后端对应操作台(2)的内端设置有限位块(8),所述限位块(8)的外端设置有滑动底板(9),所述滑动底板(9)的外端设置有滑动槽(10),所述滑动槽(10)的上端对应滑动底板(9)的上端设置有固定卡板(11),所述操作台(2)的中央上表面设置有阻力盘(15),所述阻力盘(15)的中央设置有固定孔(13),所述固定孔(13)的内端设置有固定螺丝(14),所述固定螺丝(14)的下端对应阻力盘(15)的下端设置有固定杆(19),所述固定杆(19)的中央设置有贯穿孔(17),所述贯穿孔(17)的内端设置有连接轴(16),所述阻力盘(15)的下端设置有上底座(12),所述上底座(12)的外端设置有下底座(18),所述下底座(18)的内端对应定位装架(1)的上端设置有旋转电机(21),所述旋转电机(21)的上端设置有旋转杆(20)。
2.根据权利要求1所述的一种芯片加工用晶圆精确定位装置,其特征在于:所述定位装架(1)的内端与操作台(2)之间固定连接,且操作台(2)的长度和高度均为定位装架(1)的长度和高度的一半,所述下齿槽(4)内嵌于操作台(2)的前端外表面,且下齿槽(4)关于操作台(2)前端外表面呈水平方向上的垂直镜像分布。
3.根据权利要求2所述的一种芯片加工用晶圆精确定位装置,其特征在于:所述下齿槽(4)的上端内表面与齿轮(5)之间啮合连接,且下齿槽(4)与上滑槽(3)之间关于垂直方向上的平移位置分布,所述齿轮(5)通过转轴(6)与把手(7)之间活...
【专利技术属性】
技术研发人员:任晓伟,
申请(专利权)人:复汉海志江苏科技有限公司,
类型:新型
国别省市:江苏;32
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