一种带桨进炉装置及其生产工艺制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种带桨进炉装置及其生产工艺,包括传送机构、桨、热炉、托件组件、炉门和石英管，炉门和桨同步移动，桨用于支撑和承载托件组件，所述托件组件装载硅片，传送机构通过驱动桨往返移动控制托件组件输入或输出石英管，本发明专利技术整个工艺过程中桨进出炉只需一次，节省工艺时间，本发明专利技术将桨和产品作为整体，桨把产品带进炉后，无需将产品放下，故无需设置桨上下移动的空间，节省热炉的上下空间，本发明专利技术将桨和产品作为整体，桨把产品带进炉后，无需将产品放下，故无需增加上下运动机构，将整个装置大大简化，节省大量电气控制与机构运动装置，降低成本。降低成本。降低成本。

【技术实现步骤摘要】
一种带桨进炉装置及其生产工艺


[0001]本专利技术属于光伏或半导体领域，涉及一种带桨进炉装置及其生产工艺。

技术介绍

[0002]在光伏半导体行业的化学气相沉积、磷扩散、硼扩散以及氧化工艺过程中，把产品送入炉内，加工完成后，需将产品取出，由于硅片厚度只有0.16mm左右，是高精度的轻薄产品，进出炉的速度需非常缓慢，一般传送机构速度设在5
‑
10mm/s，常规行程有3
‑
4米，单行程需5
‑
10分钟。
[0003]现有技术都是先由桨把产品送入炉内，放好后，再把桨退出来，等产品炉内加工完成后，再打开炉门，桨伸进去把产品取出来，对于桨来说至少是两进两出，约需20
‑
40分钟，时间耗费长，降低了设备的产能，本专利技术有效地解决了这种问题。

技术实现思路

[0004]本专利技术为了克服现有技术的不足，提供一种带桨进炉装置及其生产工艺。
[0005]为了实现上述目的，本专利技术采用以下技术方案：一种带桨进炉装置，其特征在于：包括传送机构、桨、热炉、托件本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种带桨进炉装置,其特征在于：包括传送机构、桨、热炉、托件组件、炉门和石英管，炉门和桨同步移动，桨用于支撑和承载托件组件，所述托件组件装载硅片，传送机构通过驱动桨往返移动控制托件组件输入或输出石英管。2.根据权利要求1的一种带桨进炉装置，其特征在于：所述传送机构包括滑板、固定板和滑轨，滑板固设有与滑轨配合连接的滑块，固定板与滑板固设连接，固定板连接有用于固定炉门的固定组件。3.根据权利要求2的一种带桨进炉装置，其特征在于：所述固定组件包括对称固设于固定板的连接杆，两组连接杆间固设有桨座，桨座下端面固设有两组平行设置的桨筒，桨筒的长度方向与传送机构的滑动方向一致。4.根据权利要求1的一种带桨进炉装置，其特征在于：所述桨由固定部以及支撑部构成，固定部贯穿炉门插入桨筒，桨筒与炉门密封连接，固定部对桨的整体以及桨上的承重进行支撑,桨的长度方向与传送机构的滑动方向一致。5.根据权利要求4的一种带桨进炉装置，其特征在于：所述支撑部用于支撑托件组件，托件组件由石英舟托和石英舟构成，石英舟托承载多组石英舟，石英舟托两侧的端板固设有支撑腔，支撑部伸入支撑腔内，支撑部的上端面与支撑腔上侧面相抵，限制托件组件在桨宽度方向的移动。6.根据权利要求4的一种带桨进炉装置，其特征在于：所述固定部的厚度大于支撑部的厚度，两者平滑连接...

【专利技术属性】
技术研发人员：林佳继，郭永胜，张武，庞爱锁，
申请(专利权)人：深圳市拉普拉斯能源技术有限公司，
类型：发明
国别省市：