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本发明公开了一种带桨进炉装置及其生产工艺,包括传送机构、桨、热炉、托件组件、炉门和石英管，炉门和桨同步移动，桨用于支撑和承载托件组件，所述托件组件装载硅片，传送机构通过驱动桨往返移动控制托件组件输入或输出石英管，本发明整个工艺过程中桨进出炉...
该专利属于深圳市拉普拉斯能源技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市拉普拉斯能源技术有限公司授权不得商用。

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