一种用于半导体加工设备的炉门结构制造技术

本发明专利技术公开了一种用于半导体加工设备的炉门结构，包括炉体本体、炉门，炉门上设置电极结构，电极结构包括电极柱、电极主体和绝缘材料，电极柱与电极主体连接，绝缘材料覆盖电极柱侧面；电极柱的一端与电极主体连接；电极柱另一端裸露，扩大接触面积；炉体本体采用圆柱形或者长方体，炉体本体采用金属材质，电极柱裸露的一端呈圆弧球面；炉门上设置调整结构，其包括调整装置本体、设置在调整装置本体上的旋钮件，调整装置本体与炉门通过旋钮件连接；本发明专利技术提供了一种结构简单、电极机构设计合理、且于炉门完美结合实现石墨舟片纵向放置，并能快速调节炉门达到具有良好密封效果的半导体的加工设备的一种用于半导体加工设备的炉门结构。炉门结构。炉门结构。

【技术实现步骤摘要】
一种用于半导体加工设备的炉门结构
[0001]此专利是申请号为：2019106920611，专利名称为半导体的加工设备的分案


[0002]本专利技术涉及半导体或光伏材料加工领域，更具体的说，它涉及一种半导体的加工设备。

技术介绍

[0003]半导体或光伏材料广泛应用于电子、新能源等行业，半导体和光伏材料通常都需要经过化学处理才能够应用到产品上，CVD技术是其中的一种处理方式，CVD即化学气相沉积，CVD技术目前已经广泛用于半导体或光伏材料加工，常见的加工设备有PECVD、LPCVD、APCVD等，除了CVD之外还有扩散工艺，例如磷扩散、硼扩散等，都可以采用气体扩散的方式来对原材料进行加工，目前行业内已有不少相关的设备，可以针对具体的加工需求来选择相应的设备进行加工，半导体或光伏材料的加工，通常是将片状材料送入炉中在一定温度和压力的条件下进行反应来实现，在对半导体或者光伏材料加工的过程中，通常采用一些装置来装载或移动待加工的、加工中的或者加工后的材料，行业内通常把这种装载或者移动的装置称为舟、石墨舟、小舟或者花篮。r/>[0004]目本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于半导体加工设备的炉门结构，其特征在于：包括炉体本体、炉门，炉门上设置电极结构，电极结构包括电极柱、电极主体和绝缘材料，电极柱与电极主体连接，绝缘材料覆盖电极柱侧面；电极柱的一端与电极主体连接；电极柱另一端裸露，扩大接触面积；炉体本体采用圆柱形或者长方体，炉体本体采用金属材质，电极柱裸露的一端呈圆弧球面；炉门上设置调整结构，其包括调整装置本体、设置在调整装置本体上的旋钮件，调整装置本体与炉门通过旋钮件连接；调整装置本体的轴向与旋钮件的轴向是非平行关系；炉门中心设置连接部与调整装置本体连接，连接部上设置与旋钮件匹配的通孔；调整装置本体靠近炉门中心的一端设置连接孔，连接孔靠近炉门的一侧，连接孔直径最大；或者连接孔越远离炉门的一侧，连接孔的直径最大；调整装置远离炉门中心的一端设置控制调整装置本体转动的旋件；调整装置本体整体采用长方体；所述炉门中心的连接部整体呈圆柱形，所述炉门中心的连接部远离炉门的一端设置导角；炉门上设置热电偶；调整装置本体的另一端与升降模块连接，实现炉门的升降控制；升降模块包括滑轨、气缸和固定件，固定件连接调整装置本体，气缸连接固定件，固定件设置在滑轨上。2.根据权利要求1所述的一种用...

【专利技术属性】
技术研发人员：林佳继，徐栋，刘群，朱太荣，林依婷，
申请(专利权)人：深圳市拉普拉斯能源技术有限公司，
类型：发明
国别省市：