本发明专利技术的目的是提供感光性树脂组合物，其能够容易地以高精度和高产量形成图像被膜，该图像被膜即使在等离子体等处理后图案表面也具有高抗水性，并且具有绝缘性，并提供使用这样的正型感光性树脂组合物得到的、适合于各种显示器的膜材料的固化膜。本发明专利技术解决问题的方法是，提供正型感光性树脂组合物，其含有（Ａ）成分：具有能进行热交联反应的官能团、以及进行热固化反应的用于膜固化的官能团，并且数均分子量为２０００～３００００的碱溶性树脂，（Ｂ）成分：数均分子量为１００～２０００的硅氧烷化合物，（Ｃ）成分：１分子中含有２个以上乙烯基醚基的化合物，（Ｄ）成分：１分子中含有２个以上封端异氰酸酯基的化合物，（Ｅ）成分：光产酸剂，（Ｆ）溶剂，并提供使用该组合物得到的固化膜。
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及正型感光性树脂组合物和由其得到的固化膜。更详细地讲， 涉及图案表面具有高防7JC性、并能够在膜中制作可以控制尺寸的空孔的正 型感光性树脂组合物及其固化膜，以及使用该固化膜的各种材料。本专利技术 还涉及即使在UV -臭氧等处理后也能够形成表面具有高防水性和高抗油 性的图像的正型感光性树脂组合物及其固化膜，以及使用该固化膜的各种 材料。上述本专利技术的正型感光性树脂组合物特别适合用作液晶显示元件或EL显示元件中的层间绝缘膜、对应于喷墨方式的遮光材料或隔片材料。
技术介绍
一般在薄膜晶体管(TFT)型液晶显示元件、有机EL (电致发光)元 件等显示器元件中，设置有已形成图案的电极保护膜、平坦化膜、绝缘膜 等。作为形成这些膜的材料，在感光性树脂组合物中，目前正广泛使用那 些具有用于得到所需要图案的工序数少、并且具有充分的平坦性等特征的 感光性树脂组合物。另外，在显示器显示元件的制作工序中，使用喷墨的全色显示皿制 作技术近年来也研究得^^活跃。例如有关液晶显示元件中滤色器的制作， 相对于目前的印刷法、电沉积法、染色法或颜料M法，提出了首先在遮 断光的感光性树脂层中形成规定已被构图的像素的间隔(以下称为边沿)、 再在该边沿所包围的开口部内滴下墨滴的滤色器及其制造方法(例如参照 专利文献l、专利文献2和专利文献3)等。另外在有机EL显示元件中也 提出了首先制作边沿、再同样滴下成为发光层的墨，从而制作有机EL显 示元件的方法(例如参照专利文献4)。然而在喷墨法中滴下,皮边沿包围的墨滴的情况下，为了防止墨滴超过 边沿而溢出至相邻像素的状况，需要在M上保持亲墨性(亲水性)，在 边沿表面保持防7jC性。为了达到上述目的，提出了通过氧气等离子体处理和氟气等离子体处理等连续的等离子体(臭氧)处理，可以在1^L上保持亲水性，并且在边沿 上保持防水性(例如参照专利文献5)，但是工序复杂。另外也提出了在 感光性有机薄膜上配合氟类表面活性剂或氟类聚合物(例如参照专利文献 6)，但是相溶性或添加量等，不仅要考虑感光性还包括涂层性，需要考虑 的方面较多，难以称得上实用。于是对上述这些膜，除了要求防水性之外，还要求低介电常数、耐热 性、耐溶剂性等耐操作性优异，与基底的密合性良好，具有根据使用目的 在各种操作糾下能够形成图像的宽操作范围，还有高感光度和高透明性， 以及显影后的膜不均匀少等各种特性。因此从这样的要求特性方面出发， 作为上述感光性树脂组合物，目前通用含有萘醌二叠氮化物化合物的树脂。可是，在这样的感光性树脂材料的要求特性中，作为特别重要的一个 特性，可列举感光度。提高感光度在显示器元件等工业生产中，可以大幅 度缩短其生产时间，因此在液晶显示器的需要量显著增大的现状下，感光 度成为这种感光性树脂材料所要求的最重要的特性之一。因此，到目前为止，为了感光性树脂材料的高感光度化进行了许多开 发。例如提出了含有碱溶性树脂和特定多羟基化合物及其衍生物中至少一 个的感ii射性树脂组合物(例如参照专利文献7)。另一方面，作为高感光度、高分辨率的感光性材料，目前开发了化学 放大型抗蚀剂。目前作为半导体用抗蚀剂而开发出的化学放大型抗蚀剂， 也能够适应比i线波长短的光源(KrF、 ArF)，能够形成更微细的图像， 但是在膜固化所采用的高温下、还有抗蚀剂剥离液存在下，保护基的结合 部分和醚键的热交联部分容易分解，耐热性和耐化学性显著降低，基本不 可能作为永久膜4吏用(例如参照专利文献8)。另外，为了能够热固化， 即使在化学放大型抗蚀剂中导入环氡基类、氩基塑料类等的交联类，也会因为新发生由于曝光而由抗蚀剂中光产酸剂(PAG)产生的酸的影响，曝 光部分进行交联，与未曝光部分的溶解对比消失等问题，因此向化学放大 型抗蚀剂中导入这样的交联类很困难。专利文献1:特开平10 - 206627号7>才艮专利文献2:特开平11 - 326625号>^才艮专利文献3:特开平2000 - 187111号公报专利文献4:特开平11 - 54270号7>才艮专利文献5:特开2000 - 353594号>^净艮专利文献6:特开平10 - 197715号公报专利文献7:特开平4 - 211255号7>才艮专利文献8:美国专利第5075199号i兌明书
技术实现思路
本专利技术是鉴于上述事实而做出的，其所要解决的课题在于提供一种感 光性树脂组合物，其适合作为用于形成液晶显示元件、有机EL显示元件 等中使用的图案状绝缘性膜的材料，和像素间隔片材料，具体地说，提供 一种正型感光性树脂组合物，其能够容易地以高精度、高产量形成图案， 并即使在UV -臭氧等处理后图案表面也具有高抗水性甚至高抗油性。另外本专利技术的课题在于提供使用这样的正型感光性树脂组合物得到的 固化膜，该固化膜在使用喷墨的^L制作中能够防止墨滴超出边沿而溢出 至相邻的像素，并提供使用这样的固化膜制作的各种元件 材料。本专利技术者们为了解决上述课题进行了深入研究，结果发现了本专利技术。即，本专利技术第1观点为一种正型感光性树脂组合物，含有下述(A) 成分、(B)成分、(C)成分、(D)成分、(E)成分以及(F)溶剂，(A) 成分具有能与(C)成分化合物进行热交M应的官能团，以 及能与(D)成分化合物进行热固化反应的用于膜固化的官能团，并且数 均分子量为2000 ~ 30000的碱溶性树脂，(B) 成分数均分子量为100 ~2000的硅氧烷化合物，(C) 成分l分子中含有2个以上乙烯基醃基的化合物，(D) 成分l分子中含有2个以上封端异氰酸酯基的化合物，(E) 成分光产酸剂，(F) 溶剂。第2观点为第1观点所述的正型感光性树脂组合物，上述能进行热交 M应的官能团为选自羧基和酚性羟基中的至少l种，且上述用于膜固化 的官能团为选自除酚性羟基以外的羟基和具有活性氢的氨基中的至少1 种。第3观点为第1或第2观点所述的正型感光性树脂组合物，其特征在 于，(B)成分为氟改性硅氧烷化合物。第4观点为第1或第2观点所述的正型感光性树脂组合物，其特征在 于，(B)成分是具有式(1)表示的重复单元的硅氧烷化合物，式中，W和I^各自独立地为氢原子、烷基或者苯基，p表示正整数。第5观点为第4观点所述的正型感光性树脂组合物，其特征在于，(B ) 成分为上述式(1)中W和/或W表示氟代烷基的硅氧烷化合物。第6观点为笫1~第5观点任一项所述的正型感光性树脂组合物，其 特征在于，(B)成分为不含有环氧基的硅氧烷化合物。第7观点为笫1~第6观点任一项所述的正型感光性树脂组合物，基 于100质量份(A)成分，含有0.1 ~ 30质量份的(B )成分、1 ~ 80质量 份的(C)成分、1~80质量份的(D)成分和0.5 ~ 80质量份的(E)成 分。第8观点为第1~第7观点任一项所述的正型感光性树脂组合物，在 (B)成分为氟改性的硅氧烷化合物的正型感光性树脂组合物中，基于100 质量份(A)成分还含有0.1 ~ 20质量份作为(G)成分的除(A)成分以 外的氟类碱溶性树脂。第9观点为第1~第8观点任一项所述的正型感光性树脂组合物，基 于100质量份(A)成分还含有0.001 ~ 5质量份的作为(H)成分的胺化 合物。第IO观点为第1~第9观点本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种正型感光性树脂组合物，含有下述（Ａ）成分、（Ｂ）成分、（Ｃ）成分、（Ｄ）成分、（Ｅ）成分以及（Ｆ）溶剂， （Ａ）成分：具有能与（Ｃ）成分化合物进行热交联反应的官能团，以及能与（Ｄ）成分化合物进行热固化反应的用于膜固化的官能团，并且 数均分子量为２０００～３００００的碱溶性树脂， （Ｂ）成分：数均分子量为１００～２０００的硅氧烷化合物， （Ｃ）成分：１分子中含有２个以上乙烯基醚基的化合物， （Ｄ）成分：１分子中含有２个以上封端异氰酸酯基的化合物， （Ｅ）成分：光产酸剂， （Ｆ）溶剂。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...
【专利技术属性】
技术研发人员：畑中真，
申请(专利权)人：日产化学工业株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]
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