一种具有自检测功能的小型磁控溅射镀膜机制造技术

本实用新型专利技术涉及镀膜机领域，尤其为一种具有自检测功能的小型磁控溅射镀膜机，包括箱体，所述箱体右端转动连接有控制柜，所述箱体外侧左端固定连接有气密性检测仪，所述气密性检测仪顶端固定连接有检测管，所述检测管与箱体固定连接，所述箱体内侧右端固定连接有第一电机，所述箱体内侧上端固定连接有固定板，所述第一电机的主轴末端固定连接有螺纹轴，所述螺纹套筒底端固定连接有光学干涉测厚仪，本实用新型专利技术中可通过打开第一电机带动螺纹杆转动，螺纹杆带动螺纹套筒左右移动，通过PLC和工控机自动控制，可实现靶材镀膜厚度的自动检测，通过PLC和工控机可同时对气密性检测仪操控，实现数据自动化记录，使工作十分方便。使工作十分方便。使工作十分方便。

【技术实现步骤摘要】
一种具有自检测功能的小型磁控溅射镀膜机


[0001]本技术涉及镀膜机领域，具体为一种具有自检测功能的小型磁控溅射镀膜机。

技术介绍

[0002]随着我国国民经济的发展，磁控溅射镀膜机在工业中的应用越来越广，各领域对磁控溅射镀膜机的设计提出更严格的要求，虽然我国磁控溅射镀膜机的设计和制造水平近年来有了长足的进步，但在品种和质量上难以参与国际市场的竞争，目前在各种大型玻璃镀膜生产线中，磁控溅射镀膜生产线绝大部分是从国外进口，目前国内主要生产厂家有北京北仪、上海曙光机器厂、广东振华等，国外主要生产厂家有日本新科龙SHINCRON、日本光驰OPTORUN、德国莱宝LeyboldOptics等。
[0003]现有的小型磁控溅射镀膜机不具备高度自动化检测操作，各项数据只能人工进行，给工作带来不便；与其同时，现有的小型磁控溅射镀膜机不具备靶材的上下调节和自由安装的的功能，操作繁琐效率低。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种具有自检测功能的小型磁控溅射镀膜机，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0005]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：
[0006]一种具有自检测功能的小型磁控溅射镀膜机，包括箱体，所述箱体右端转动连接有控制柜，所述箱体外侧左端固定连接有气密性检测仪，所述气密性检测仪顶端固定连接有检测管，所述检测管与箱体固定连接，所述箱体内侧右端固定连接有第一电机，所述箱体内侧上端固定连接有固定板，所述第一电机的主轴末端固定连接有螺纹轴，所述螺纹轴外侧螺旋连接有螺纹套筒，所述螺纹套筒与固定板滑动连接，所述螺纹套筒底端固定连接有光学干涉测厚仪，所述箱体内侧左端固定连接有第二电机，所述第二电机的主轴末端固定连接有蜗杆，所述蜗杆外侧啮合连接有蜗轮，所述蜗轮后端固定连接有水平板，所述水平板上端固定连接有电动伸缩杆，所述电动伸缩杆外侧转动连接有杆件，所述杆件另一端转动连接有卡环，所述卡环内侧滑动连接有靶材。
[0007]优选的，所述控制柜内侧底端固定连接有PLC，所述PLC顶端固定连接有工控机。
[0008]优选的，所述卡环朝向电动伸缩杆一侧设有凹槽，且凹槽厚度等于靶材厚度。
[0009]优选的，所述水平板与箱体滑动连接。
[0010]优选的，所述靶材的个数共有4个。
[0011]与现有技术相比，本技术的有益效果是：
[0012]1、本技术中，通过设置的PLC、工控机、气密性检测仪和光学干涉测厚仪，可通过打开第一电机带动螺纹杆转动，螺纹杆带动螺纹套筒左右移动，通过PLC和工控机自动控制，可实现靶材镀膜厚度的自动检测，通过PLC和工控机可同时对气密性检测仪操控，实现
数据自动化记录，使工作十分方便；
[0013]2、本技术中，通过设置的第二电机、蜗杆、蜗轮、电动伸缩杆和卡环，可通过打开第二电机带动蜗杆旋转，蜗杆带动蜗轮，从而水平板上下运动，电动伸缩杆带动杆件和卡环收缩，可快速进行靶材安装固定，操作简单、效率高。
附图说明
[0014]图1为本技术整体结构示意图；
[0015]图2为本技术图1的A处结构示意图。
[0016]图中：1-箱体、2-控制柜、3-PLC、4-工控机、5-气密性检测仪、6-检测管、7-第一电机、8-固定板、9-螺纹轴、10-螺纹套筒、11-光学干涉测厚仪、12-第二电机、13-蜗杆、14-蜗轮、15-水平板、16-电动伸缩杆、17-杆件、18-卡环、19-靶材。
具体实施方式
[0017]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0018]请参阅图1-2，本技术提供一种技术方案：
[0019]一种具有自检测功能的小型磁控溅射镀膜机，包括箱体1，箱体1右端转动连接有控制柜2，箱体1外侧左端固定连接有气密性检测仪5，气密性检测仪5顶端固定连接有检测管6，检测管6与箱体1固定连接，箱体1内侧右端固定连接有第一电机7，箱体1内侧上端固定连接有固定板8，第一电机7的主轴末端固定连接有螺纹轴9，螺纹轴9外侧螺旋连接有螺纹套筒10，螺纹套筒10与固定板8滑动连接，螺纹套筒10底端固定连接有光学干涉测厚仪11，箱体1内侧左端固定连接有第二电机12，第二电机12的主轴末端固定连接有蜗杆13，蜗杆13外侧啮合连接有蜗轮14，蜗轮14后端固定连接有水平板15，水平板15上端固定连接有电动伸缩杆16，电动伸缩杆16外侧转动连接有杆件17，杆件17另一端转动连接有卡环18，卡环18内侧滑动连接有靶材19。
[0020]控制柜2内侧底端固定连接有PLC3，PLC3顶端固定连接有工控机4，通过设置的PLC和工控机可实现系统的高度自动化，提高控制精度；卡环18朝向电动伸缩杆16一侧设有凹槽，且凹槽厚度等于靶材厚度，从而保证卡环18对靶材19的固定效果良好；水平板15与箱体1滑动连接，保证了水平板15上下运行的稳定性；靶材19的个数共有4个，可实现多个靶材19的同时加工制作，提高了运行效率。
[0021]工作流程：装置内所有电器均采用外接电源，通过打开第二电机12带动蜗杆13旋转，蜗杆13带动蜗轮14转动，蜗轮14带动水平板15沿着箱体1内侧上下运动，打开电动伸缩杆16带动卡环18上下运动，在杆件17的约束下，两卡环18间可进行松紧调节，从而便于靶材19的安装和拆卸，打开第一电机7，第一电机7带动螺纹轴9转动，螺纹轴9旋转带动螺纹套筒10沿着固定板8左右移动，从而螺纹套筒10上的光学干涉仪11快速对靶材19进行测厚，通过气密性检测仪5和检测管6可对装置内腔室进行准确检测，可通过PLC和工控机提高系统的集成度，实现系统的监视、控制、报警、数据记录、查询等功能，同时具备运行可靠、稳定、操
作方便、控制精度高等优点。
[0022]尽管已经示出和描述了本技术的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本技术的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本技术的范围由所附权利要求及其等同物限定。
本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种具有自检测功能的小型磁控溅射镀膜机，包括箱体(1)，其特征在于：所述箱体(1)右端转动连接有控制柜(2)，所述箱体(1)外侧左端固定连接有气密性检测仪(5)，所述气密性检测仪(5)顶端固定连接有检测管(6)，所述检测管(6)与箱体(1)固定连接，所述箱体(1)内侧右端固定连接有第一电机(7)，所述箱体(1)内侧上端固定连接有固定板(8)，所述第一电机(7)的主轴末端固定连接有螺纹轴(9)，所述螺纹轴(9)外侧螺旋连接有螺纹套筒(10)，所述螺纹套筒(10)与固定板(8)滑动连接，所述螺纹套筒(10)底端固定连接有光学干涉测厚仪(11)，所述箱体(1)内侧左端固定连接有第二电机(12)，所述第二电机(12)的主轴末端固定连接有蜗杆(13)，所述蜗杆(13)外侧啮合连接有蜗轮(14)，所述蜗轮(14)后端固定连接有水平板(15)，所...

【专利技术属性】
技术研发人员：乔建栋，黄坚，常洪兴，徐胜，
申请(专利权)人：杰莱特苏州精密仪器有限公司，
类型：新型
国别省市：