【技术实现步骤摘要】
一种阴极磁过滤真空镀膜设备
[0001]本专利技术涉及真空镀膜设备
,尤其涉及一种阴极磁过滤真空镀膜设备。
技术介绍
[0002]真空镀膜设备在红外光学、磁存贮器件、生物医疗器械、微机电器件、精密模具和耐磨部件以及航空飞行器等领域有重要作用。根据产品性能需求,选取相对于的工艺制备出可满足产品颜色、耐磨性、表面硬度、摩擦系数、韧性、抗腐蚀和抗氧化等作用的膜层。阴极真空弧镀膜设备具有放电稳定、阴极材料蒸发速度快、等离子体离化率高和沉积离子能量高,并可通过在衬底上加负偏压使沉积能量在大范围可调节等优点。然而,在镀膜过程中,阴极材料会产生高密度高电离度的等离子体的同时,会产生许多大颗粒,这些大颗粒会影响涂层的物理、化学性能。目前,国内最佳且最为成功的解决方式是增加90度磁过滤弧形管,但其仅除去了大颗粒中性颗粒和部分低能量低速运动的离子,且沉积速率会受到磁过滤系统的引入而降低,单一的阴极磁过滤真空设备已经无法满足众多领域客户需求。除此之外,长时间工作下,设备弯管内会积累大量中性大颗粒物质,部分颗粒会附着在弯管内,部分颗粒受到粒子 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种阴极磁过滤真空镀膜设备,包括安装机台(1),其特征在于,所述安装机台(1)底端设有阴极磁过滤系统(2),所述阴极磁过滤系统(2)内设有真空腔体(3)、阴极磁控系统(4)、蒸镀系统(9)、电源系统(10)和真空泵组(5)、加热器(7)以及加热管转架组件(6),所述阴极磁过滤系统(2)是由弯管(21)、导流线圈(22)、阴极靶(24)、引弧针(25)以及等离子体档板(23)构成,所述弯管内部有数百个特殊的ф3-5mm凹坑结构(26),所述弯管(21)内部设有多个内部倒钩结构(27),所述等离子档板(23)是一种绝缘陶瓷材料构成的档板,所述等离子档板(23)一端中间区域开设有镂空结构(28),所述镂空结构(28)规格ф45mm-ф100mm,所述镂空结构(28)的镂空范围可根据工艺需求变化,所述等离子档...
【专利技术属性】
技术研发人员:张文录,江鸢飞,
申请(专利权)人:深圳市鑫承诺环保产业股份有限公司,
类型:发明
国别省市:
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。