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本发明涉及真空镀膜设备技术领域,尤其是一种阴极磁过滤真空镀膜设备,包括安装机台,安装机台底端设有阴极磁过滤系统,阴极磁过滤系统内设有真空腔体、阴极磁控系统、蒸镀系统、电源系统和真空泵组、加热器以及加热管转架组件,阴极磁过滤系统是由弯管、导流...该专利属于深圳市鑫承诺环保产业股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过深圳市鑫承诺环保产业股份有限公司授权不得商用。
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本发明涉及真空镀膜设备技术领域,尤其是一种阴极磁过滤真空镀膜设备,包括安装机台,安装机台底端设有阴极磁过滤系统,阴极磁过滤系统内设有真空腔体、阴极磁控系统、蒸镀系统、电源系统和真空泵组、加热器以及加热管转架组件,阴极磁过滤系统是由弯管、导流...