光阻去除反应腔石英管的安装方法技术

本发明专利技术提供一种光阻去除反应腔石英管的安装方法，其步骤是：①制作一块带有圆柱形凹槽的托盘和一只软滑片；②将石英管的下管口嵌入托盘的凹槽内，将护套套于石英管外壁；③压入上“Ｏ”形密封圈；④通过螺栓把石英管的上盖与石英管的护套连接在一起，并压紧“Ｏ”形密封圈，使石英管上盖、护套及石英管组合于一体；⑤将所组合的整体侧放或悬空，使软滑片从下管口伸进石英管内，用软滑片滑过上盖与上管口之间的间隙，检测间隙是否均匀；⑥压入下“Ｏ”形密封圈；⑦将最终预装好的整组安装于反应室上，连接固定。本发明专利技术设计的托盘凹槽深度ｈ＝Ｈ－Ｓ，模拟安装环境，有效保证石英管上下管口边沿的间隙均匀，避免石英管发生破裂，降低生产成本。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及集成电路制造中光阻去除工艺设备，尤其涉及光阻去除反 应腔石英管的安装方法。
技术介绍
在集成电路制造中，蚀刻工艺完成后，需采用等离子体光阻去除工艺 将残留的光阻去除干净，此方法系利用氧气在等离子体中所产生只自由基(Radical)与光阻(高分子的有机物)发生作用，产生挥发性的气体，再 由真空泵抽走，达到光阻去除的目的。光阻去除设备石英管部位的结构，如图4所示，上"O"形密封圈2 和下"O"形密封圈8正常使用寿命为一年，为满足工艺条件的要求需定 期更换，拆卸更换后再对各部件进行组装，目前安装石英管组件采用纯手 工的方法，安装步骤为①将石英管5置与护套4之内，从石英管的上管 口压入上"O"形密封圈2;②盖上石英管的上盖1，用螺栓把石英管的上 盖1与石英管的护套4连接在一起，锁紧螺栓压紧"O"形密封圈，使石 英管上盖、石英管护套及石英管组合于一体；③从石英管的下管口压入下"O"形密封圈8，将带有上下"0"形密封圈的石英管及护套整体竖直放 置于反应室机台上，同时使石英管的下管口嵌入反应室的凹槽内，并连接 固定。需说明的是，虽然石英管5置与护套4之内，相互之间为间隙配合 可以滑动，但安装后，通过锁紧螺栓压紧上下两"O"形密封圈，且会使 两"O"形密封圈产生一定的变形，从而死死抱紧石英管，使石英管在护 套内不能上下滑动。石英管下管口的下方装有格栅板9，通过螺栓10与反 应室盖子相固定。 石英管上盖与石英管上管口之间的间隙Sl、石英管下管口与格栅板之 间的间隙S2，显然，上述安装方法误差较大，这二个间隙难以保证均匀，会出现Sl较小而S2较大，或出现Sl较大而S2较小。当工艺系统运行时， 反应室的真空负压会使石英管上盖发生变形而挤压石英管上管口，石英管 下管口与格栅板也会发生压迫；另外，应工艺需要开启反应室盖子时各部 件之间的震动也会使石英管管口受到碰挤；总之，间隙的不均勻，易造成 圆筒状石英管的上下管口边沿受到不平衡挤压而破裂，石英管的破裂发生 率高达52.5%, —旦破损需重新更换，每次因破损而重新拆装需花费大约 8hrs，同时石英管碎片会掉落至工艺产品上，对工艺生产带来一定威胁。
技术实现思路
本专利技术的目的是克服现有技术存在的上述不足，提供一种光阻去除反 应腔石英管的安装方法，旨在有效保证石英管上下管口边沿的间隙，降低 石英管的破裂发生率，确保光阻去除工艺的安全进行。本专利技术的目的通过以下技术方案来实现，其特征在于包括以下步骤——① 加工制作模具托盘，托盘中心开有圆柱形凹槽，其凹槽直径# 二20.4士0.2cm，凹槽深度1^1.10士0.01cm，还加工一只厚度1^=0.55±0.05 mm的软滑片；② 模具托盘平放，将石英管竖直放置于模具托盘上、使石英管的下管 口嵌入托盘的凹槽内，将护套套于石英管外壁；③ 从石英管的上管口压入上"O"形密封圈；④ 盖上石英管的上盖，通过螺栓把石英管的上盖与石英管的护套连接 在一起，并通过锁紧螺栓来压紧"0"形密封圈，使石英管上盖、石英管 护套及石英管组合于一体；⑤ 将石英管上盖、石英管护套和石英管所组合的整体侧放或悬空，使 软滑片从石英管下管口伸进石英管内，用软滑片滑过石英管上盖与石英管 上管口之间的间隙，检测间隙是否均匀；若不均匀可将组合的整体重新放 置于模具托盘上，通过调节上盖螺栓使其间隙均匀；⑥ 从石英管的下管口压入下"O"形密封圈；⑦ 将预装好的满足间隙要求的带有上下"0"形密封圈的由石英管上 盖、石英管护套及石英管所组合的整组安装于反应室上并对中，与反应室 盖子连接固定。进一步地，上述的，所述模具托盘 的材质为塑料。再进一步地，上述的，所述软滑片 为塑料制件，表面粗糙度为1.6。本专利技术技术方案的突出的实质性特点和显著的进步主要体现在① 本专利技术模拟安装环境，使安装既精确又便于检査，有效保证石英管 上下管口边沿的间隙均匀，避免石英管发生破裂，确保光阻去除工艺的安 全进行；② 本专利技术技术方案新颖，降低了生产成本，经济效益明显。 附图说明下面结合附图对本专利技术技术方案作进一步说明图l:模具托盘的剖面结构示意图2:软滑片的结构示意图3:石英管组件与模具托盘的预装配示意图4:石英管组件与机台的装配示意图。图中各附图标记的含义见下表。<table>table see original document page 5</column></row><table>附图 标记含义附图 标记含义附图 标记含义4护套5石英管6第II螺栓7反应室8下"O"形密 封圈9格栅板10第III螺栓11模具托盘12软滑片具体实施例方式本专利技术为了有效保证石英管上下管口边沿的间隙均匀，避免石英管受 到挤压而破裂，确保光阻去除工艺的安全进行，提供一种光阻去除反应腔 石英管的安装方法。首先预制一块带有圆柱形凹槽的模具托盘11，如图1所示，凹槽直径#略大于石英管直径，取# =20.4±0.2cm;托盘的材质采用塑料，其硬度 低于石英管硬度。为保证上下管口边沿的均匀间隙S=(S1—S2)/2=0.7±0.1 mm，托盘凹槽深度h-H—S，取h=1.10±0.01cm;还加工一只检测用的软 滑片12，如图2所示，厚度L= 0.55士0.05mm;软滑片为塑料制件，表面 光滑，粗糙度为1.6。预制完成后，模拟安装环境将石英管各组件与模具 托盘进行预装配，如图3所示。预装配后用软滑片12检测间隙是否均匀，继而将预装的整组与反应室盖子连接固定。 具体歩骤为——① 加工制作模具托盘11和软滑片12;② 模具托盘11平放，将石英管5竖直放置于模具托盘上、使石英管 的下管口嵌入托盘的凹槽内，将护套4套于石英管5外壁；③ 从石英管的上管口压入上"O"形密封圈2;④ 盖上石英管的上盖1，通过第I螺栓3将石英管的上盖1与石英管 的护套4连接在一起，通过锁紧第I螺栓3来压紧"O"形密封圈2，使石 英管上盖l、石英管护套4及石英管5组合于一体；⑤ 将石英管上盖1、石英管护套4及石英管5所组合的整体侧放或悬空，使软滑片12从石英管下管口伸进石英管内，用软滑片12滑过石英管上盖与石英管上管口之间的间隙，检测间隙是否均匀；若不均匀可将组合 的整体重新放置于模具托盘上，通过调节第I螺栓3使其间隙均匀；⑥ 从石英管的下管口压入下"O"形密封圈8;⑦ 将预装好的满足间隙要求的带有上下"0"形密封圈的由石英管上 盖、石英管护套及石英管所组合的整组安装于反应室上并对中，通过第II 螺栓6与反应室盖子7连接固定。需说明的是，虽然石英管5置与护套4之内，相互之间为间隙配合可 以滑动，但安装后，通过锁紧螺栓压紧上下两"0"形密封圈，且会使两 "O"形密封圈产生一定的变形，从而死死抱紧石英管，使石英管在护套 内不会丝毫滑动。显然，采用本专利技术技术方案充分保证间隙均匀，石英管上盖与石英管 上管口之间的间隙为S、石英管下管口与格栅板之间的间隙也为S。当工 艺系统运行时，氧气由石英管上盖1的小孔导入到石英管5内，石英管护 套4的外围设有线圈并产生振荡微波，激发02产生等离子体，从格栅板9 的小孔而均匀导进反应室。反应室的真空负压使石英管上盖1所发生的一 定变形，但变形量小于S，因此不会挤压石英管上管口；石本文档来自技高网...

【技术保护点】
光阻去除反应腔石英管的安装方法，其特征在于包括以下步骤：①加工制作模具托盘，托盘中心开有圆柱形凹槽，其凹槽直径∮＝２０．４±０．２ｃｍ，凹槽深度ｈ＝１．１０±０．０１ｃｍ，还加工一只厚度Ｌ＝０．５５±０．０５ｍｍ的软滑片；② 模具托盘平放，将石英管竖直放置于模具托盘上、使石英管的下管口嵌入托盘的凹槽内，将护套套于石英管外壁；③从石英管的上管口压入上“Ｏ”形密封圈；④盖上石英管的上盖，通过螺栓把石英管的上盖与石英管的护套连接在一起，并通过锁紧螺栓来 压紧“Ｏ”形密封圈，使石英管上盖、石英管护套及石英管组合于一体；⑤将石英管上盖、石英管护套及石英管所组合的整体侧放或悬空，使软滑片从石英管下管口伸进石英管内，用软滑片滑过石英管上盖与石英管上管口之间的间隙，检测间隙是否均匀；若不均匀 ，将组合的整体重新放置于模具托盘上，通过调节上盖螺栓使其间隙均匀；⑥从石英管的下管口压入下“Ｏ”形密封圈；⑦将预装好的满足间隙要求的带有上下“Ｏ”形密封圈的由石英管上盖、石英管护套及石英管所组合的整组安装于反应室上并对中，与 反应室盖子连接固定。...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：周世峰，陆盛强，吕东海，
申请(专利权)人：和舰科技苏州有限公司，
类型：发明
国别省市：32[中国|江苏]